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like 1

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[ "Introduction" ]

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[ "Because", "of", "their", "unique", "properties", ",", "such", "as", "high", "hardness", ",", "good", "corrosion", "resistance", ",", "and", "excellent", "chemical", "stability", ",", "SiC", "materials", "are", "widely", "used", "for", "tribological", "applications", "in", "extreme", "conditions", "[", "1", "]", "." ]

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[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-MAT+U-MAT", "L-MAT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-CITE", "I-CITE", "L-CITE", "O" ]

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[ "However", ",", "the", "friction", "and", "wear", "coefficients", "of", "SiC", "materials", "are", "unacceptably", "high", "in", "unlubricated", "conditions", "[", "2", "]", "." ]

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[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-MAT+U-MAT", "L-MAT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-CITE", "I-CITE", "L-CITE", "O" ]

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[ "To", "improve", "the", "tribological", "properties", ",", "carbon", "coatings", "such", "as", "diamond", "and", "diamond", "like", "carbon", "(", "DLC", ")", ",", "are", "usually", "coated", "on", "such", "materials", "using", "chemical", "vapor", "deposition", "(", "CVD", ")", "process", "[", "3", "-", "5", "]", "." ]

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[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-MAT", "U-FORM", "O", "O", "U-MAT", "O", "B-MAT", "I-MAT", "L-MAT+U-MAT", "O", "U-MAT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-CITE", "I-CITE", "I-CITE", "I-CITE", "L-CITE", "O" ]

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[ "Although", "the", "CVD", "process", "is", "well", "established", ",", "the", "search", "for", "new", "methods", "for", "depositing", "carbon", "films", "continues", "." ]

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[ "A", "promising", "method", "for", "coating", "carbon", "films", "on", "SiC", "termed", "the", "\"", "carbide", "-", "derived", "carbon", "\"", "or", "CDC", "process", "is", "greatly", "attractive", "in", "recent", "years", "[", "6", "]", "." ]

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[ "O", "O", "O", "O", "O", "U-MAT", "U-FORM", "O", "U-MAT", "O", "O", "O", "B-SAMPLE", "I-SAMPLE", "I-SAMPLE", "L-SAMPLE+U-MAT", "O", "O", "U-SAMPLE", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-CITE", "I-CITE", "L-CITE", "O" ]

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[ "In", "this", "method", ",", "SiC", "is", "treated", "in", "a", "chlorine", "-", "containing", "gas", "mixture", "at", "high", "temperature", ",", "and", "the", "Si", "atoms", "preferentially", "react", "with", "Cl2", "and", "leave", "the", "system", "in", "the", "form", "of", "SiCl4", "[", "7", "]", "." ]

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[ "O", "O", "O", "O", "U-MAT", "O", "O", "O", "O", "U-MAT", "O", "O", "U-FORM+U-MAT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-MAT", "U-FORM", "O", "O", "O", "U-MAT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-MAT", "B-CITE", "I-CITE", "L-CITE", "O" ]

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[ "The", "left", "carbon", "atoms", "rearrange", "themselves", "and", "form", "a", "smooth", "carbon", "film", "that", "is", "intimately", "bonded", "to", "the", "underlying", "SiC", "substrate", "." ]

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[ "Compared", "with", "CVD", "process", ",", "the", "CDC", "process", "can", "easily", "produce", "a", "thick", "carbon", "layer", "(", "above", "100", "um", ")", "at", "a", "high", "rate", "[", "6,7", "]", "." ]

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[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-SAMPLE", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-MAT", "U-FORM", "O", "B-VALUE+B-RANGE", "I-VALUE+I-RANGE+U-NUM", "L-VALUE+L-RANGE+U-UNIT", "O", "O", "O", "O", "O", "B-CITE", "I-CITE", "L-CITE", "O" ]

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[ "The", "CDC", "with", "unique", "nanostructure", "possesses", "many", "attractive", "physical", ",", "mechanical", ",", "and", "tribological", "properties", "." ]

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[ "In", "particular", ",", "it", "is", "reported", "in", "recent", "studies", "that", "the", "CDC", "coating", "can", "afford", "very", "low", "friction", "and", "wear", "to", "improve", "the", "tribological", "performance", "of", "the", "carbides", "." ]

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[ "Specifically", ",", "this", "coating", "can", "provide", "a", "friction", "coefficient", "of", "0.03", "-", "0.3", "and", "wear", "rate", "of", "10", "-", "9", "-", "10", "-", "7mm3", "/", "N", "·", "m", "depending", "on", "the", "chlorination", "process", "and", "friction", "test", "conditions", "[", "8", "-", "10", "]", "." ]

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[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-VALUE+B-RANGE+U-NUM", "I-VALUE+I-RANGE", "L-VALUE+L-RANGE+U-NUM", "O", "O", "O", "O", "B-VALUE+B-RANGE+B-NUM", "I-VALUE+I-RANGE+I-NUM", "I-VALUE+I-RANGE+L-NUM", "I-VALUE+I-RANGE", "I-VALUE+I-RANGE+B-NUM", "I-VALUE+L-RANGE+L-NUM", "I-VALUE", "I-VALUE+B-UNIT", "I-VALUE+I-UNIT", "I-VALUE+I-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-CITE", "I-CITE", "I-CITE", "I-CITE", "L-CITE", "O" ]

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[ "Surprisingly", ",", "the", "CDC", "coating", "with", "high", "porosity", "(", "i.e", ".", ">", "57.2", "%", "for", "β", "-", "SiC", "[", "11", "]", ")", "shows", "excellent", "tribological", "properties", "under", "dry", "friction", "condition", "." ]

{ "text": [ ">57.2%", ">57.2", "57.2", "%", "[11]" ], "id": [ 63810, 63819, 63828, 63837, 63846 ], "value": [ "VALUE", "RANGE", "NUM", "UNIT", "CITE" ], "begin": [ "54", "54", "55", "59", "71" ], "end": [ "60", "59", "59", "60", "75" ], "tokenIndices": [ [ 11, 13 ], [ 11, 12 ], [ 12, 12 ], [ 13, 13 ], [ 18, 20 ] ] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-VALUE+B-RANGE", "I-VALUE+L-RANGE+U-NUM", "L-VALUE+U-UNIT", "O", "O", "O", "O", "B-CITE", "I-CITE", "L-CITE", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "However", ",", "unpublished", "studies", "in", "our", "group", "confirm", "that", "the", "CDC", "coating", "is", "helpless", "in", "lubricating", "for", "SiC", "materials", "under", "some", "conditions", ",", "including", "high", "temperature", "(", "i.e", ".", "at", "300", "°", "C", ")", ",", "water", "or", "oil", "lubrication", "and", "high", "load", "." ]

{ "text": [ "CDC", "coating", "SiC materials", "SiC", "300°C", "300", "°C", "water", "oil" ], "id": [ 63855, 63864, 63873, 63882, 63891, 63900, 63909, 63918, 63927 ], "value": [ "SAMPLE", "FORM", "MAT", "MAT", "VALUE", "NUM", "UNIT", "MAT", "MAT" ], "begin": [ "59", "63", "102", "102", "175", "175", "178", "183", "192" ], "end": [ "62", "70", "115", "105", "180", "178", "180", "188", "195" ], "tokenIndices": [ [ 10, 10 ], [ 11, 11 ], [ 17, 18 ], [ 17, 17 ], [ 30, 32 ], [ 30, 30 ], [ 31, 32 ], [ 35, 35 ], [ 37, 37 ] ] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-SAMPLE", "U-FORM", "O", "O", "O", "O", "O", "B-MAT+U-MAT", "L-MAT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "O", "U-MAT", "O", "U-MAT", "O", "O", "O", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 63855 ], "ne_id_dep": [ 63864 ], "label": [ "hasForm" ] }

[ "The", "lubrication", "failure", "is", "attributed", "to", "the", "high", "porosity", "and", "the", "low", "strength", "of", "CDC", "coating", "." ]

{ "text": [ "CDC", "coating" ], "id": [ 63936, 63945 ], "value": [ "SAMPLE", "FORM" ], "begin": [ "83", "87" ], "end": [ "86", "94" ], "tokenIndices": [ [ 14, 14 ], [ 15, 15 ] ] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-SAMPLE", "U-FORM", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 63936 ], "ne_id_dep": [ 63945 ], "label": [ "hasForm" ] }

[ "Further", "surface", "modification", "to", "improve", "the", "density", "and", "strength", "of", "CDC", "coating", "is", "urgent", "for", "extensive", "tribology", "application", "." ]

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[ "Both", "the", "CDC", "process", "and", "CVD", "deposition", "were", "carried", "out", "in", "a", "tube", "furnace", "in", "turn", "." ]

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[ "The", "CDC", "process", "was", "described", "in", "detail", "elsewhere", "[", "7", "]", "." ]

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{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "In", "our", "experiments", ",", "the", "CDC", "layer", "was", "fabricated", "by", "chlorination", "of", "SiC", "in", "a", "gas", "mixture", "(", "Cl2", "at", "a", "flow", "speed", "of", "2", "mlmin", "-", "1", "+", "Ar", "at", "a", "flow", "speed", "of", "98", "mlmin", "-", "1", ")", "at", "1000", "°", "C", "for", "10", "min", "." ]

{ "text": [ "CDC", "layer", "SiC", "gas", "Cl2", "2mlmin-1", "2", "mlmin-1", "Ar", "98mlmin-1", "98", "mlmin-1", "1000°C", "1000", "°C", "10min", "10", "min" ], "id": [ 64854, 64863, 64872, 64881, 64890, 64899, 64908, 64917, 64926, 64935, 64944, 64953, 64962, 64971, 64980, 64989, 64998, 65007 ], "value": [ "MAT", "FORM", "MAT", "MAT", "MAT", "VALUE", "NUM", "UNIT", "MAT", "VALUE", "NUM", "UNIT", "VALUE", "NUM", "UNIT", "VALUE", "NUM", "UNIT" ], "begin": [ "24", "28", "68", "77", "90", "113", "113", "114", "122", "144", "144", "146", "158", "158", "162", "169", "169", "171" ], "end": [ "27", "33", "71", "80", "93", "121", "114", "121", "124", "153", "146", "153", "164", "162", "164", "174", "171", "174" ], "tokenIndices": [ [ 5, 5 ], [ 6, 6 ], [ 12, 12 ], [ 15, 15 ], [ 18, 18 ], [ 24, 27 ], [ 24, 24 ], [ 25, 27 ], [ 29, 29 ], [ 35, 38 ], [ 35, 35 ], [ 36, 38 ], [ 41, 43 ], [ 41, 41 ], [ 42, 43 ], [ 45, 46 ], [ 45, 45 ], [ 46, 46 ] ] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "U-MAT", "U-FORM", "O", "O", "O", "O", "O", "U-MAT", "O", "O", "U-MAT", "O", "O", "U-MAT", "O", "O", "O", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "I-VALUE+I-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "U-MAT", "O", "O", "O", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "I-VALUE+I-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "B-VALUE+U-NUM", "L-VALUE+U-UNIT", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 64854 ], "ne_id_dep": [ 64863 ], "label": [ "hasForm" ] }

[ "The", "Si", "was", "preferred", "to", "react", "with", "Cl2", "and", "removed", "away", "in", "the", "form", "of", "volatile", "SiCl4", "." ]

{ "text": [ "Si", "Cl2", "SiCl4" ], "id": [ 65016, 65025, 65034 ], "value": [ "MAT", "MAT", "MAT" ], "begin": [ "4", "35", "80" ], "end": [ "6", "38", "85" ], "tokenIndices": [ [ 1, 1 ], [ 7, 7 ], [ 16, 16 ] ] }

[ "O", "U-MAT", "O", "O", "O", "O", "O", "U-MAT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-MAT", "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "The", "surface", "of", "SiC", "was", "converted", "into", "CDC", "and", "the", "shape", "of", "the", "sample", "stayed", "unchanged", ",", "as", "demonstrated", "in", "Fig", ".", "1", "." ]

{ "text": [ "SiC", "CDC" ], "id": [ 65043, 65052 ], "value": [ "MAT", "SAMPLE" ], "begin": [ "15", "38" ], "end": [ "18", "41" ], "tokenIndices": [ [ 3, 3 ], [ 7, 7 ] ] }

[ "O", "O", "O", "U-MAT", "O", "O", "O", "U-SAMPLE", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "Once", "the", "CDC", "process", "was", "finished", ",", "the", "Cl2", "flow", "was", "stopped", "immediately", "." ]

{ "text": [ "CDC", "Cl2" ], "id": [ 65061, 65070 ], "value": [ "SAMPLE", "MAT" ], "begin": [ "9", "39" ], "end": [ "12", "42" ], "tokenIndices": [ [ 2, 2 ], [ 8, 8 ] ] }

[ "O", "O", "U-SAMPLE", "O", "O", "O", "O", "O", "U-MAT", "O", "O", "O", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "Subsequently", ",", "the", "CCl4", "was", "evaporated", "at", "60", "°", "C", "[", "14", "]", "and", "introduced", "into", "reaction", "region", "with", "50", "mlmin", "-", "1", "Ar", "flow", "." ]

{ "text": [ "CCl4", "60°C", "60", "°C", "[14]", "14", "50mlmin-1", "50", "mlmin-1", "Ar" ], "id": [ 65079, 65088, 65097, 65106, 65115, 65124, 65133, 65142, 65151, 65160 ], "value": [ "MAT", "VALUE", "NUM", "UNIT", "CITE", "NUM", "VALUE", "NUM", "UNIT", "MAT" ], "begin": [ "18", "41", "41", "43", "46", "47", "92", "92", "94", "102" ], "end": [ "22", "45", "43", "45", "50", "49", "101", "94", "101", "104" ], "tokenIndices": [ [ 3, 3 ], [ 7, 9 ], [ 7, 7 ], [ 8, 9 ], [ 10, 12 ], [ 11, 11 ], [ 19, 22 ], [ 19, 19 ], [ 20, 22 ], [ 23, 23 ] ] }

[ "O", "O", "O", "U-MAT", "O", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "B-CITE", "I-CITE+U-NUM", "L-CITE", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "I-VALUE+I-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "U-MAT", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "The", "carbon", "derived", "from", "pyrolyzing", "of", "CCl4", "at", "1000", "°", "C", "nucleated", "and", "grew", "on", "top", "of", "CDC", "layer", "to", "form", "the", "CVD", "layer", "." ]

{ "text": [ "carbon", "CCl4", "1000°C", "1000", "°C", "CDC", "layer", "CVD", "layer" ], "id": [ 65169, 65178, 65187, 65196, 65205, 65214, 65223, 65232, 65241 ], "value": [ "MAT", "MAT", "VALUE", "NUM", "UNIT", "SAMPLE", "FORM", "SAMPLE", "FORM" ], "begin": [ "4", "38", "46", "46", "50", "82", "86", "104", "108" ], "end": [ "10", "42", "52", "50", "52", "85", "91", "107", "113" ], "tokenIndices": [ [ 1, 1 ], [ 6, 6 ], [ 8, 10 ], [ 8, 8 ], [ 9, 10 ], [ 17, 17 ], [ 18, 18 ], [ 22, 22 ], [ 23, 23 ] ] }

[ "O", "U-MAT", "O", "O", "O", "O", "U-MAT", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-SAMPLE", "U-FORM", "O", "O", "O", "U-SAMPLE", "U-FORM", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 65214, 65232 ], "ne_id_dep": [ 65223, 65241 ], "label": [ "hasForm", "hasForm" ] }

[ "The", "duration", "for", "CVD", "deposition", "was", "2", "h", "." ]

{ "text": [ "CVD", "2h", "2", "h" ], "id": [ 65250, 65259, 65268, 65277 ], "value": [ "SAMPLE", "VALUE", "NUM", "UNIT" ], "begin": [ "17", "36", "36", "37" ], "end": [ "20", "38", "37", "38" ], "tokenIndices": [ [ 3, 3 ], [ 6, 7 ], [ 6, 6 ], [ 7, 7 ] ] }

[ "O", "O", "O", "U-SAMPLE", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "L-VALUE+U-UNIT", "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "The", "two", "principal", "chemical", "reactions", "taking", "place", "in", "the", "process", "included", "(", "1", ")", "SiC", "+", "2", "Cl2", "→", "SiCl4", "+", "C", "which", "is", "thermodynamically", "allowed", ",", "with", "a", "Gibbs", "energy", "of", "∆", "G", "=", "-", "434.1kJ", "/", "mol", "at", "1000", "°", "C", ",", "and", "(", "2", ")", "CCl4", "→", "C", "+", "Cl2", "which", "is", "also", "thermodynamically", "allowed", ",", "with", "a", "Gibbs", "energy", "of", "∆", "G", "=", "-", "36.672kJ", "/", "mol", "at", "1000", "°", "C", "." ]

{ "text": [ "SiC", "Cl2", "SiCl4", "C", "-434.1kJ/mol", "-434.1", "kJ/mol", "1000°C", "1000", "°C", "CCl4", "C", "Cl2", "-36.672kJ/mol", "-36.672", "kJ/mol", "1000°C", "1000", "°C" ], "id": [ 65286, 65295, 65304, 65313, 65322, 65331, 65340, 65349, 65358, 65367, 65376, 65385, 65394, 65403, 65412, 65421, 65430, 65439, 65448 ], "value": [ "MAT", "MAT", "MAT", "MAT", "VALUE", "NUM", "UNIT", "VALUE", "NUM", "UNIT", "MAT", "MAT", "MAT", "VALUE", "NUM", "UNIT", "VALUE", "NUM", "UNIT" ], "begin": [ "76", "81", "85", "91", "154", "154", "160", "170", "170", "174", "184", "189", "191", "261", "261", "268", "278", "278", "282" ], "end": [ "79", "84", "90", "92", "166", "160", "166", "176", "174", "176", "188", "190", "194", "274", "268", "274", "284", "282", "284" ], "tokenIndices": [ [ 14, 14 ], [ 17, 17 ], [ 19, 19 ], [ 21, 21 ], [ 35, 38 ], [ 35, 35 ], [ 37, 38 ], [ 40, 42 ], [ 40, 40 ], [ 41, 42 ], [ 48, 48 ], [ 50, 50 ], [ 52, 52 ], [ 67, 70 ], [ 67, 67 ], [ 69, 70 ], [ 72, 74 ], [ 72, 72 ], [ 73, 74 ] ] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-MAT", "O", "O", "U-MAT", "O", "U-MAT", "O", "U-MAT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE", "I-VALUE+B-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "O", "O", "O", "O", "U-MAT", "O", "U-MAT", "O", "U-MAT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE", "I-VALUE+B-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "The", "carbon", "produced", "by", "reaction", "(", "1", ")", "formed", "the", "CDC", "layer", ",", "while", "reaction", "(", "2", ")", "formed", "the", "CVD", "layer", "." ]

{ "text": [ "carbon", "CDC", "layer", "CVD", "layer" ], "id": [ 65457, 65466, 65475, 65484, 65493 ], "value": [ "MAT", "SAMPLE", "FORM", "SAMPLE", "FORM" ], "begin": [ "4", "47", "51", "88", "92" ], "end": [ "10", "50", "56", "91", "97" ], "tokenIndices": [ [ 1, 1 ], [ 10, 10 ], [ 11, 11 ], [ 20, 20 ], [ 21, 21 ] ] }

[ "O", "U-MAT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-SAMPLE", "U-FORM", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-SAMPLE", "U-FORM", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 65466, 65484 ], "ne_id_dep": [ 65475, 65493 ], "label": [ "hasForm", "hasForm" ] }

[ "As", "a", "result", ",", "the", "dual", "-", "layer", "carbon", "film", "composed", "of", "sub", "-", "layer", "of", "CDC", "and", "top", "layer", "of", "CVD", "carbon", "was", "synthesized", "." ]

{ "text": [ "dual-layer", "carbon", "film", "CDC", "CVD carbon" ], "id": [ 65502, 65511, 65520, 65529, 65538 ], "value": [ "FORM", "MAT", "FORM", "SAMPLE", "SAMPLE" ], "begin": [ "17", "28", "35", "65", "86" ], "end": [ "27", "34", "39", "68", "96" ], "tokenIndices": [ [ 5, 7 ], [ 8, 8 ], [ 9, 9 ], [ 16, 16 ], [ 21, 22 ] ] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "B-FORM", "I-FORM", "L-FORM", "U-MAT", "U-FORM", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-SAMPLE", "O", "O", "O", "O", "B-SAMPLE", "L-SAMPLE", "O", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 65511, 65511 ], "ne_id_dep": [ 65502, 65520 ], "label": [ "hasForm", "hasForm" ] }

[ "Moreover", ",", "single", "CDC", "film", "was", "also", "synthesized", "for", "comparison", "." ]

{ "text": [ "CDC", "film" ], "id": [ 65547, 65565 ], "value": [ "SAMPLE", "FORM" ], "begin": [ "17", "21" ], "end": [ "20", "25" ], "tokenIndices": [ [ 3, 3 ], [ 4, 4 ] ] }

[ "O", "O", "O", "U-SAMPLE", "U-FORM", "O", "O", "O", "O", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 65547 ], "ne_id_dep": [ 65565 ], "label": [ "hasForm" ] }

[ "The", "process", "parameters", "were", "the", "same", "to", "those", "in", "CDC", "process", "for", "dual", "-", "layer", "film", "preparation", "." ]

{ "text": [ "CDC", "dual-layer", "film" ], "id": [ 65574, 65583, 65592 ], "value": [ "MAT", "MAT", "FORM" ], "begin": [ "49", "65", "76" ], "end": [ "52", "75", "80" ], "tokenIndices": [ [ 9, 9 ], [ 12, 14 ], [ 15, 15 ] ] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-MAT", "O", "O", "B-MAT", "I-MAT", "L-MAT", "U-FORM", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 65583 ], "ne_id_dep": [ 65592 ], "label": [ "hasForm" ] }

[ "Characterization" ]

{ "text": [], "id": [], "value": [], "begin": [], "end": [], "tokenIndices": [] }

[ "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "Raman", "spectroscopy", "is", "a", "standard", "non", "-", "destructive", "analysis", "tool", "for", "characterization", "of", "various", "carbon", "materials", "." ]

{ "text": [ "carbon materials", "carbon" ], "id": [ 65601, 65610 ], "value": [ "MAT", "MAT" ], "begin": [ "95", "95" ], "end": [ "111", "101" ], "tokenIndices": [ [ 14, 15 ], [ 14, 14 ] ] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-MAT+U-MAT", "L-MAT", "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "The", "CDC", "and", "the", "dual", "-", "layer", "films", "were", "studied", "on", "a", "Horiba", "HR800", "Raman", "system", "with", "an", "Ar", "laser", "excitation", "wavelength", "of", "532", "nm", "." ]

{ "text": [ "CDC", "dual-layer", "films", "were studied", "Horiba HR800", "Raman", "Ar", "laser excitation wavelength", "532nm", "532", "nm" ], "id": [ 65619, 65628, 65637, 65646, 65655, 65664, 65673, 65682, 65691, 65700, 65709 ], "value": [ "MAT", "MAT", "FORM", "MEASUREMENT", "INSTRUMENT", "TECHNIQUE", "MAT", "PROPERTY", "VALUE", "NUM", "UNIT" ], "begin": [ "4", "16", "27", "33", "51", "64", "85", "88", "119", "119", "122" ], "end": [ "7", "26", "32", "45", "63", "69", "87", "115", "124", "122", "124" ], "tokenIndices": [ [ 1, 1 ], [ 4, 6 ], [ 7, 7 ], [ 8, 9 ], [ 12, 13 ], [ 14, 14 ], [ 18, 18 ], [ 19, 21 ], [ 23, 24 ], [ 23, 23 ], [ 24, 24 ] ] }

[ "O", "U-MAT", "O", "O", "B-MAT", "I-MAT", "L-MAT", "U-FORM", "B-MEASUREMENT", "L-MEASUREMENT", "O", "O", "B-INSTRUMENT", "L-INSTRUMENT", "U-TECHNIQUE", "O", "O", "O", "U-MAT", "B-PROPERTY", "I-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "B-VALUE+U-NUM", "L-VALUE+U-UNIT", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 65646, 65646, 65628, 65619, 65646, 65646, 65646, 65646, 65682 ], "ne_id_dep": [ 65619, 65628, 65637, 65637, 65655, 65673, 65691, 65682, 65691 ], "label": [ "conditionSampleFeatures", "conditionSampleFeatures", "hasForm", "hasForm", "conditionInstrument", "conditionInstrument", "conditionPropertyValue", "conditionProperty", "propertyValue" ] }

[ "This", "system", "is", "also", "equipped", "with", "a", "charge", "couple", "device", "(", "CCD", ")", "detector", "and", "an", "optical", "imaging", "for", "focusing", "the", "laser", "at", "a", "micro", "-", "region", "." ]

{ "text": [ "is also equipped", "charge couple device (CCD) detector", "optical imaging" ], "id": [ 65718, 65727, 65736 ], "value": [ "MEASUREMENT", "INSTRUMENT", "INSTRUMENT" ], "begin": [ "12", "36", "79" ], "end": [ "28", "71", "94" ], "tokenIndices": [ [ 2, 4 ], [ 7, 13 ], [ 16, 17 ] ] }

[ "O", "O", "B-MEASUREMENT", "I-MEASUREMENT", "L-MEASUREMENT", "O", "O", "B-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "L-INSTRUMENT", "O", "O", "B-INSTRUMENT", "L-INSTRUMENT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 65718, 65718 ], "ne_id_dep": [ 65727, 65736 ], "label": [ "conditionInstrument", "conditionInstrument" ] }

[ "The", "Raman", "spectra", "were", "collected", "in", "the", "range", "between", "600", "and", "2000", "cm", "-", "1", "for", "60", "s", "." ]

{ "text": [ "Raman spectra", "were collected", "between 600 and 2000cm-1", "between 600 and 2000", "600", "2000", "cm-1", "60s", "60", "s" ], "id": [ 65745, 65754, 65763, 65772, 65781, 65790, 65799, 65808, 65817, 65826 ], "value": [ "PROPERTY", "MEASUREMENT", "VALUE", "RANGE", "NUM", "NUM", "UNIT", "VALUE", "NUM", "UNIT" ], "begin": [ "4", "18", "46", "46", "54", "62", "66", "75", "75", "77" ], "end": [ "17", "32", "70", "66", "57", "66", "70", "78", "77", "78" ], "tokenIndices": [ [ 1, 2 ], [ 3, 4 ], [ 8, 14 ], [ 8, 11 ], [ 9, 9 ], [ 11, 11 ], [ 12, 14 ], [ 16, 17 ], [ 16, 16 ], [ 17, 17 ] ] }

[ "O", "B-PROPERTY", "L-PROPERTY", "B-MEASUREMENT", "L-MEASUREMENT", "O", "O", "O", "B-VALUE+B-RANGE", "I-VALUE+I-RANGE+U-NUM", "I-VALUE+I-RANGE", "I-VALUE+L-RANGE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "I-VALUE+I-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "B-VALUE+U-NUM", "L-VALUE+U-UNIT", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 65754, 65754, 65745, 65754 ], "ne_id_dep": [ 65763, 65745, 65763, 65808 ], "label": [ "measuresPropertyValue", "measuresProperty", "propertyValue", "conditionEnvironment" ] }

[ "X", "-", "ray", "photoelectron", "spectroscopy", "(", "XPS", ")", "was", "used", "to", "analyze", "the", "surface", "composition", "and", "chemical", "nature", "of", "the", "CDC", "layer", "and", "the", "dual", "-", "layer", "film", "." ]

{ "text": [ "X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)", "was used", "surface composition", "chemical nature", "CDC", "layer", "dual-layer", "film" ], "id": [ 65835, 65844, 65853, 65862, 65871, 65880, 65889, 65898 ], "value": [ "TECHNIQUE", "MEASUREMENT", "PROPERTY", "PROPERTY", "SAMPLE", "FORM", "SAMPLE", "FORM" ], "begin": [ "0", "39", "63", "87", "110", "114", "128", "139" ], "end": [ "38", "47", "82", "102", "113", "119", "138", "143" ], "tokenIndices": [ [ 0, 7 ], [ 8, 9 ], [ 13, 14 ], [ 16, 17 ], [ 20, 20 ], [ 21, 21 ], [ 24, 26 ], [ 27, 27 ] ] }

[ "B-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "L-TECHNIQUE", "B-MEASUREMENT", "L-MEASUREMENT", "O", "O", "O", "B-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "B-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "O", "U-SAMPLE", "U-FORM", "O", "O", "B-SAMPLE", "I-SAMPLE", "L-SAMPLE", "U-FORM", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 65844, 65844, 65844, 65844, 65871, 65844 ], "ne_id_dep": [ 65835, 65853, 65862, 65871, 65880, 65889 ], "label": [ "usesTechnique", "measuresProperty", "measuresProperty", "conditionSampleFeatures", "hasForm", "conditionSampleFeatures" ] }

[ "The", "XPS", "measurement", "was", "performed", "on", "PHI", "-", "5702", "multifunctional", "photoelectron", "spectrometer", ",", "using", "Al", "-", "Ka", "X", "-", "ray", "(", "250", "W", ")", "as", "the", "excitation", "source", "." ]

{ "text": [ "XPS", "was performed", "PHI-5702 multifunctional photoelectron spectrometer", "Al-Ka X-ray", "250W", "250", "W" ], "id": [ 65907, 65916, 65934, 65943, 65952, 65961, 65970 ], "value": [ "TECHNIQUE", "MEASUREMENT", "INSTRUMENT", "INSTRUMENT", "VALUE", "NUM", "UNIT" ], "begin": [ "4", "20", "37", "96", "109", "109", "112" ], "end": [ "7", "33", "88", "107", "113", "112", "113" ], "tokenIndices": [ [ 1, 1 ], [ 3, 4 ], [ 6, 11 ], [ 14, 19 ], [ 21, 22 ], [ 21, 21 ], [ 22, 22 ] ] }

[ "O", "U-TECHNIQUE", "O", "B-MEASUREMENT", "L-MEASUREMENT", "O", "B-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "L-INSTRUMENT", "O", "O", "B-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "L-INSTRUMENT", "O", "B-VALUE+U-NUM", "L-VALUE+U-UNIT", "O", "O", "O", "O", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 65916, 65916, 65916, 65916 ], "ne_id_dep": [ 65907, 65952, 65934, 65943 ], "label": [ "usesTechnique", "conditionPropertyValue", "conditionInstrument", "conditionInstrument" ] }

[ "No", "pre", "-", "treatment", "on", "the", "samples", "was", "conducted", "." ]

{ "text": [], "id": [], "value": [], "begin": [], "end": [], "tokenIndices": [] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "Survey", "spectra", "with", "energy", "step", "of", "0.4", "eV", "and", "core", "level", "photoelectron", "lines", "C", "1s", ",", "O", "1s", ",", "Cl", "2p", "and", "Si", "2p", "with", "energy", "step", "of", "0.125", "eV", "were", "recorded", "." ]

{ "text": [ "Survey spectra", "energy step", "0.4eV", "0.4", "eV", "core level photoelectron lines C1s, O1s, Cl2p and Si2p", "C", "O", "Cl", "Si", "energy step", "0.125eV", "0.125", "eV", "recorded" ], "id": [ 65988, 65997, 66006, 66015, 66024, 66033, 66042, 66051, 66060, 66069, 66078, 66087, 66096, 66105, 66114 ], "value": [ "PROPERTY", "PROPERTY", "VALUE", "NUM", "UNIT", "PROPERTY", "MAT", "MAT", "MAT", "MAT", "PROPERTY", "VALUE", "NUM", "UNIT", "MEASUREMENT" ], "begin": [ "0", "20", "35", "35", "38", "45", "76", "81", "86", "95", "105", "120", "120", "125", "133" ], "end": [ "14", "31", "40", "38", "40", "99", "77", "82", "88", "97", "116", "127", "125", "127", "141" ], "tokenIndices": [ [ 0, 1 ], [ 3, 4 ], [ 6, 7 ], [ 6, 6 ], [ 7, 7 ], [ 9, 23 ], [ 13, 13 ], [ 16, 16 ], [ 19, 19 ], [ 22, 22 ], [ 25, 26 ], [ 28, 29 ], [ 28, 28 ], [ 29, 29 ], [ 31, 31 ] ] }

[ "B-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "B-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "B-VALUE+U-NUM", "L-VALUE+U-UNIT", "O", "B-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY+U-MAT", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY+U-MAT", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY+U-MAT", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY+U-MAT", "L-PROPERTY", "O", "B-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "B-VALUE+U-NUM", "L-VALUE+U-UNIT", "O", "U-MEASUREMENT", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 66114, 66114, 66114, 65997, 66114, 66114, 66114, 66078 ], "ne_id_dep": [ 65988, 66006, 65997, 66006, 66033, 66087, 66078, 66087 ], "label": [ "measuresProperty", "conditionPropertyValue", "conditionProperty", "propertyValue", "measuresProperty", "conditionPropertyValue", "conditionProperty", "propertyValue" ] }

[ "In", "order", "to", "investigate", "the", "surface", "topography", "evolvement", ",", "atomic", "force", "microscopy", "(", "AFM", ")", "was", "carried", "out", "with", "a", "Nanoscope", "IIIA", "Multimode", "apparatus", "(", "Veeco", "Instruments", ")", "under", "ambient", "conditions", "(", "relative", "humidity", "~", "45", "%", ",", "temperature", "~", "26", "-", "28", "°", "C", ")", "." ]

{ "text": [ "surface topography evolvement", "atomic force microscopy (AFM)", "was carried out", "Nanoscope IIIA Multimode apparatus (Veeco Instruments)", "ambient conditions", "relative humidity", "45%", "45", "%", "temperature", "26-28°C", "26-28", "26", "28", "°C" ], "id": [ 66123, 66132, 66141, 66150, 66159, 66168, 66177, 66186, 66195, 66204, 66213, 66222, 66231, 66240, 66249 ], "value": [ "PROPERTY", "TECHNIQUE", "MEASUREMENT", "INSTRUMENT", "PROPERTY", "PROPERTY", "VALUE", "NUM", "UNIT", "PROPERTY", "VALUE", "RANGE", "NUM", "NUM", "UNIT" ], "begin": [ "28", "59", "89", "112", "173", "193", "212", "212", "214", "217", "230", "230", "230", "233", "235" ], "end": [ "57", "88", "104", "166", "191", "210", "215", "214", "215", "228", "237", "235", "232", "235", "237" ], "tokenIndices": [ [ 5, 7 ], [ 9, 14 ], [ 15, 17 ], [ 20, 27 ], [ 29, 30 ], [ 32, 33 ], [ 35, 36 ], [ 35, 35 ], [ 36, 36 ], [ 38, 38 ], [ 40, 44 ], [ 40, 42 ], [ 40, 40 ], [ 42, 42 ], [ 43, 44 ] ] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "B-PROPERTY", "I-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "B-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "L-TECHNIQUE", "B-MEASUREMENT", "I-MEASUREMENT", "L-MEASUREMENT", "O", "O", "B-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "L-INSTRUMENT", "O", "B-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "B-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "B-VALUE+U-NUM", "L-VALUE+U-UNIT", "O", "U-PROPERTY", "O", "B-VALUE+B-RANGE+U-NUM", "I-VALUE+I-RANGE", "I-VALUE+L-RANGE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 66141, 66141, 66141, 66141, 66141, 66141, 66168, 66141, 66141, 66204 ], "ne_id_dep": [ 66123, 66132, 66150, 66159, 66177, 66168, 66177, 66213, 66204, 66213 ], "label": [ "measuresProperty", "usesTechnique", "conditionInstrument", "conditionProperty", "conditionPropertyValue", "conditionProperty", "propertyValue", "conditionPropertyValue", "conditionProperty", "propertyValue" ] }

[ "AFM", "was", "performed", "in", "the", "tapping", "mode", "using", "rectangular", "silicon", "cantilevers", "with", "spring", "constant", "of", "~", "40", "Nm", "-", "1", "and", "typical", "resonance", "frequencies", "between", "250", "and", "300", "kHz", "." ]

{ "text": [ "AFM", "was performed", "tapping mode", "silicon cantilevers", "silicon", "spring constant", "40Nm-1", "40", "Nm-1", "resonance frequencies", "between 250 and 300kHz", "between 250 and 300", "250", "300", "kHz" ], "id": [ 66258, 66267, 66276, 66285, 66294, 66303, 66312, 66321, 66330, 66339, 66348, 66357, 66366, 66375, 66384 ], "value": [ "TECHNIQUE", "MEASUREMENT", "TECHNIQUE", "INSTRUMENT", "MAT", "PROPERTY", "VALUE", "NUM", "UNIT", "PROPERTY", "VALUE", "RANGE", "NUM", "NUM", "UNIT" ], "begin": [ "0", "4", "25", "56", "56", "81", "101", "101", "103", "120", "142", "142", "150", "158", "161" ], "end": [ "3", "17", "37", "75", "63", "96", "107", "103", "107", "141", "164", "161", "153", "161", "164" ], "tokenIndices": [ [ 0, 0 ], [ 1, 2 ], [ 5, 6 ], [ 9, 10 ], [ 9, 9 ], [ 12, 13 ], [ 16, 19 ], [ 16, 16 ], [ 17, 19 ], [ 22, 23 ], [ 24, 28 ], [ 24, 27 ], [ 25, 25 ], [ 27, 27 ], [ 28, 28 ] ] }

[ "U-TECHNIQUE", "B-MEASUREMENT", "L-MEASUREMENT", "O", "O", "B-TECHNIQUE", "L-TECHNIQUE", "O", "O", "B-INSTRUMENT+U-MAT", "L-INSTRUMENT", "O", "B-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "I-VALUE+I-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "O", "B-PROPERTY", "L-PROPERTY", "B-VALUE+B-RANGE", "I-VALUE+I-RANGE+U-NUM", "I-VALUE+I-RANGE", "I-VALUE+L-RANGE+U-NUM", "L-VALUE+U-UNIT", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 66267, 66267, 66267, 66267, 66267, 66303, 66267, 66267, 66339 ], "ne_id_dep": [ 66258, 66276, 66285, 66312, 66303, 66312, 66348, 66339, 66348 ], "label": [ "usesTechnique", "usesTechnique", "conditionInstrument", "conditionPropertyValue", "conditionProperty", "propertyValue", "conditionPropertyValue", "conditionProperty", "propertyValue" ] }

[ "Field", "emission", "scanning", "electronic", "microscopy", "(", "FESEM", ",", "JSM", "-", "6701F", ")", "was", "also", "employed", "to", "observe", "the", "surface", "microstructure", "." ]

{ "text": [ "Field emission scanning electronic microscopy (FESEM", "JSM-6701F", "was also employed", "surface microstructure" ], "id": [ 66393, 66402, 66411, 66420 ], "value": [ "TECHNIQUE", "INSTRUMENT", "MEASUREMENT", "PROPERTY" ], "begin": [ "0", "54", "65", "98" ], "end": [ "52", "63", "82", "120" ], "tokenIndices": [ [ 0, 6 ], [ 8, 10 ], [ 12, 14 ], [ 18, 19 ] ] }

[ "B-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "L-TECHNIQUE", "O", "B-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "L-INSTRUMENT", "O", "B-MEASUREMENT", "I-MEASUREMENT", "L-MEASUREMENT", "O", "O", "O", "B-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 66411, 66411, 66411 ], "ne_id_dep": [ 66393, 66402, 66420 ], "label": [ "usesTechnique", "conditionInstrument", "measuresProperty" ] }

[ "Friction", "test" ]

{ "text": [], "id": [], "value": [], "begin": [], "end": [], "tokenIndices": [] }

[ "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "Friction", "and", "wear", "behaviors", "of", "SiC", ",", "CDC", "layer", "and", "dual", "-", "layer", "film", "were", "contrastively", "studied", "on", "a", "UMT", "-", "2MT", "tribo", "-", "meter", "(", "CETR", ",", "USA", ")", "with", "a", "ball", "-", "on", "-", "disk", "configuration", "in", "ambient", "conditions", "(", "temperature", "of", "27", "°", "C", "and", "relative", "humidity", "of", "45", "%", ")", "." ]

{ "text": [ "Friction", "wear behaviors", "SiC", "CDC", "layer", "dual-layer", "film", "were contrastively studied", "UMT-2MT tribo-meter (CETR, USA)", "ball-on-disk configuration", "ambient conditions", "temperature", "27°C", "27", "°C", "relative humidity", "45%", "45", "%" ], "id": [ 66429, 66438, 66447, 66456, 66465, 66474, 66483, 66492, 66501, 66510, 66519, 66528, 66537, 66546, 66555, 66564, 66573, 66582, 66591 ], "value": [ "PROPERTY", "PROPERTY", "MAT", "SAMPLE", "FORM", "SAMPLE", "FORM", "MEASUREMENT", "INSTRUMENT", "TECHNIQUE", "PROPERTY", "PROPERTY", "VALUE", "NUM", "UNIT", "PROPERTY", "VALUE", "NUM", "UNIT" ], "begin": [ "0", "13", "31", "36", "40", "50", "61", "66", "98", "137", "167", "187", "202", "202", "204", "211", "232", "232", "234" ], "end": [ "8", "27", "34", "39", "45", "60", "65", "92", "129", "163", "185", "198", "206", "204", "206", "228", "235", "234", "235" ], "tokenIndices": [ [ 0, 0 ], [ 2, 3 ], [ 5, 5 ], [ 7, 7 ], [ 8, 8 ], [ 10, 12 ], [ 13, 13 ], [ 14, 16 ], [ 19, 29 ], [ 32, 37 ], [ 39, 40 ], [ 42, 42 ], [ 44, 46 ], [ 44, 44 ], [ 45, 46 ], [ 48, 49 ], [ 51, 52 ], [ 51, 51 ], [ 52, 52 ] ] }

[ "U-PROPERTY", "O", "B-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "U-MAT", "O", "U-SAMPLE", "U-FORM", "O", "B-SAMPLE", "I-SAMPLE", "L-SAMPLE", "U-FORM", "B-MEASUREMENT", "I-MEASUREMENT", "L-MEASUREMENT", "O", "O", "B-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "L-INSTRUMENT", "O", "O", "B-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "L-TECHNIQUE", "O", "B-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "U-PROPERTY", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "B-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "B-VALUE+U-NUM", "L-VALUE+U-UNIT", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 66492, 66492, 66492, 66492, 66456, 66492, 66474, 66492, 66492, 66492, 66492, 66492, 66528, 66492, 66492, 66564 ], "ne_id_dep": [ 66429, 66438, 66447, 66456, 66465, 66474, 66483, 66501, 66510, 66519, 66537, 66528, 66537, 66573, 66564, 66573 ], "label": [ "measuresProperty", "measuresProperty", "conditionSampleFeatures", "conditionSampleFeatures", "hasForm", "conditionSampleFeatures", "hasForm", "conditionInstrument", "usesTechnique", "conditionProperty", "conditionPropertyValue", "conditionProperty", "propertyValue", "conditionPropertyValue", "conditionProperty", "propertyValue" ] }

[ "The", "Si3N4", "and", "steel", "balls", "with", "diameter", "of", "3", "mm", "made", "oscillating", "movement", "(", "5", "mm", "in", "amplitude", ")", "on", "the", "top", "of", "the", "samples", "for", "30", "min", "." ]

{ "text": [ "Si3N4", "steel", "balls", "diameter", "3mm", "3", "mm", "made", "5mm", "5", "mm", "amplitude", "30min", "30", "min" ], "id": [ 66600, 66609, 66618, 66627, 66636, 66645, 66654, 66663, 66672, 66681, 66690, 66699, 66708, 66717, 66726 ], "value": [ "MAT", "MAT", "FORM", "PROPERTY", "VALUE", "NUM", "UNIT", "MEASUREMENT", "VALUE", "NUM", "UNIT", "PROPERTY", "VALUE", "NUM", "UNIT" ], "begin": [ "4", "14", "20", "31", "43", "43", "44", "47", "74", "74", "75", "81", "122", "122", "124" ], "end": [ "9", "19", "25", "39", "46", "44", "46", "51", "77", "75", "77", "90", "127", "124", "127" ], "tokenIndices": [ [ 1, 1 ], [ 3, 3 ], [ 4, 4 ], [ 6, 6 ], [ 8, 9 ], [ 8, 8 ], [ 9, 9 ], [ 10, 10 ], [ 14, 15 ], [ 14, 14 ], [ 15, 15 ], [ 17, 17 ], [ 26, 27 ], [ 26, 26 ], [ 27, 27 ] ] }

[ "O", "U-MAT", "O", "U-MAT", "U-FORM", "O", "U-PROPERTY", "O", "B-VALUE+U-NUM", "L-VALUE+U-UNIT", "U-MEASUREMENT", "O", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "L-VALUE+U-UNIT", "O", "U-PROPERTY", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "L-VALUE+U-UNIT", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 66663, 66663, 66609, 66600, 66663, 66663, 66627, 66699, 66663, 66663, 66663 ], "ne_id_dep": [ 66600, 66609, 66618, 66618, 66636, 66627, 66636, 66672, 66672, 66699, 66708 ], "label": [ "conditionEnvironment", "conditionEnvironment", "hasForm", "hasForm", "conditionPropertyValue", "conditionProperty", "propertyValue", "propertyValue", "conditionPropertyValue", "conditionProperty", "conditionEnvironment" ] }

[ "The", "test", "conditions", "were", "1", "N", "in", "load", "and", "20", "mms", "-", "1", "in", "sliding", "speed", "." ]

{ "text": [ "were", "1N", "1", "N", "load", "20mms-1", "20", "mms-1", "sliding speed" ], "id": [ 66735, 66744, 66753, 66762, 66771, 66780, 66789, 66798, 66807 ], "value": [ "MEASUREMENT", "VALUE", "NUM", "UNIT", "PROPERTY", "VALUE", "NUM", "UNIT", "PROPERTY" ], "begin": [ "20", "25", "25", "26", "31", "40", "40", "42", "51" ], "end": [ "24", "27", "26", "27", "35", "47", "42", "47", "64" ], "tokenIndices": [ [ 3, 3 ], [ 4, 5 ], [ 4, 4 ], [ 5, 5 ], [ 7, 7 ], [ 9, 12 ], [ 9, 9 ], [ 10, 12 ], [ 14, 15 ] ] }

[ "O", "O", "O", "U-MEASUREMENT", "B-VALUE+U-NUM", "L-VALUE+U-UNIT", "O", "U-PROPERTY", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "I-VALUE+I-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "B-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 66771, 66735, 66735, 66807, 66735, 66735 ], "ne_id_dep": [ 66744, 66744, 66771, 66780, 66780, 66807 ], "label": [ "propertyValue", "conditionPropertyValue", "conditionProperty", "propertyValue", "conditionPropertyValue", "conditionProperty" ] }

[ "The", "friction", "coefficients", "were", "recorded", "by", "the", "tribo", "-", "meter", "." ]

{ "text": [ "friction coefficients", "were recorded", "tribo-meter" ], "id": [ 66816, 66825, 66834 ], "value": [ "PROPERTY", "MEASUREMENT", "INSTRUMENT" ], "begin": [ "4", "26", "47" ], "end": [ "25", "39", "58" ], "tokenIndices": [ [ 1, 2 ], [ 3, 4 ], [ 7, 9 ] ] }

[ "O", "B-PROPERTY", "L-PROPERTY", "B-MEASUREMENT", "L-MEASUREMENT", "O", "O", "B-INSTRUMENT", "I-INSTRUMENT", "L-INSTRUMENT", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 66825, 66825 ], "ne_id_dep": [ 66816, 66834 ], "label": [ "measuresProperty", "conditionInstrument" ] }

[ "Results", "and", "discussion" ]

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[ "O", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "Raman", "spectrum" ]

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[ "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "For", "the", "perfectly", "ordered", "graphite", ",", "the", "first", "-", "order", "Raman", "spectrum", "recorded", "in", "the", "near", "-", "infrared", "and", "visible", "light", "regimes", "shows", "only", "one", "peak", "around", "1580", "cm", "-", "1", ",", "whereas", "disordered", "amorphous", "carbon", "generally", "exhibits", "two", "peaks", ":", "the", "so", "-", "called", "G", "-", "band", "at", "~", "1580", "cm", "-", "1and", "the", "so", "-", "called", "D", "-", "band", "(", "disorder", "induced", "(", "D", ")", ")", "at", "~", "1350", "cm", "-", "1", ",", "which", "is", "associated", "with", "the", "double", "-", "resonance", "Raman", "mechanism", "[", "15", "]", "." ]

{ "text": [ "perfectly ordered", "graphite", "Raman spectrum", "recorded", "1580cm-1", "1580", "cm-1", "amorphous", "carbon", "G-band", "1580cm-1", "1580", "cm-1", "D-band", "1350cm-1", "1350", "cm-1", "[15]" ], "id": [ 66843, 66852, 66861, 66870, 66879, 66888, 66897, 66906, 66915, 66924, 66933, 66942, 66951, 66960, 66969, 66978, 66987, 66996 ], "value": [ "FORM", "MAT", "TECHNIQUE", "MEASUREMENT", "VALUE", "NUM", "UNIT", "FORM", "MAT", "PROPERTY", "VALUE", "NUM", "UNIT", "PROPERTY", "VALUE", "NUM", "UNIT", "CITE" ], "begin": [ "8", "26", "52", "67", "150", "150", "154", "179", "189", "240", "251", "251", "255", "277", "311", "311", "315", "383" ], "end": [ "25", "34", "66", "75", "158", "154", "158", "188", "195", "246", "259", "255", "259", "283", "319", "315", "319", "387" ], "tokenIndices": [ [ 2, 3 ], [ 4, 4 ], [ 10, 11 ], [ 12, 12 ], [ 27, 30 ], [ 27, 27 ], [ 28, 30 ], [ 34, 34 ], [ 35, 35 ], [ 45, 47 ], [ 50, 52 ], [ 50, 50 ], [ 51, 52 ], [ 58, 60 ], [ 70, 73 ], [ 70, 70 ], [ 71, 73 ], [ 85, 87 ] ] }

[ "O", "O", "B-FORM", "L-FORM", "U-MAT", "O", "O", "O", "O", "O", "B-TECHNIQUE", "L-TECHNIQUE", "U-MEASUREMENT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "I-VALUE+I-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "O", "O", "U-FORM", "U-MAT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-PROPERTY", "I-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "O", "O", "O", "O", "B-PROPERTY", "I-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "I-VALUE+I-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-CITE", "I-CITE", "L-CITE", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 66852, 66870, 66870, 66924, 66915, 66870, 66870, 66870, 66870, 66924, 66870, 66870, 66960, 66870 ], "ne_id_dep": [ 66843, 66852, 66861, 66879, 66906, 66915, 66879, 66933, 66924, 66933, 66969, 66960, 66969, 66996 ], "label": [ "hasForm", "conditionSampleFeatures", "usesTechnique", "propertyValue", "hasForm", "conditionSampleFeatures", "measuresPropertyValue", "measuresPropertyValue", "measuresProperty", "propertyValue", "measuresPropertyValue", "measuresProperty", "propertyValue", "takenFrom" ] }

[ "The", "positions", "of", "D", "-", "and", "G", "-", "bands", ",", "their", "relative", "intensity", "ratio", "(", "ID", "/", "IG", ")", ",", "and", "their", "full", "widths", "at", "half", "maximum", "(", "FWHM", ")", "can", "be", "used", "to", "study", "the", "structural", "information", "of", "the", "carbon", "materials", "." ]

{ "text": [ "carbon" ], "id": [ 67005 ], "value": [ "MAT" ], "begin": [ "173" ], "end": [ "179" ], "tokenIndices": [ [ 40, 40 ] ] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-MAT", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "Fig", ".", "2", "presents", "the", "Raman", "spectra", "of", "SiC", "substrate", ",", "CDC", "layer", ",", "and", "dual", "-", "layer", "film", "to", "investigate", "the", "structure", "evolvement", "." ]

{ "text": [ "presents", "Raman spectra", "SiC", "substrate", "CDC", "layer", "dual-layer", "film", "structure evolvement" ], "id": [ 67014, 67023, 67032, 67041, 67050, 67059, 67068, 67077, 67086 ], "value": [ "MEASUREMENT", "TECHNIQUE", "MAT", "FORM", "SAMPLE", "FORM", "SAMPLE", "FORM", "PROPERTY" ], "begin": [ "7", "20", "37", "41", "52", "56", "67", "78", "102" ], "end": [ "15", "33", "40", "50", "55", "61", "77", "82", "122" ], "tokenIndices": [ [ 3, 3 ], [ 5, 6 ], [ 8, 8 ], [ 9, 9 ], [ 11, 11 ], [ 12, 12 ], [ 15, 17 ], [ 18, 18 ], [ 22, 23 ] ] }

[ "O", "O", "O", "U-MEASUREMENT", "O", "B-TECHNIQUE", "L-TECHNIQUE", "O", "U-MAT", "U-FORM", "O", "U-SAMPLE", "U-FORM", "O", "O", "B-SAMPLE", "I-SAMPLE", "L-SAMPLE", "U-FORM", "O", "O", "O", "B-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 67014, 67014, 67032, 67014, 67050, 67014, 67014 ], "ne_id_dep": [ 67023, 67032, 67041, 67050, 67059, 67068, 67086 ], "label": [ "usesTechnique", "conditionSampleFeatures", "hasForm", "conditionSampleFeatures", "hasForm", "conditionSampleFeatures", "measuresProperty" ] }

[ "The", "Raman", "spectrum", "of", "SiC", "has", "several", "peaks", "in", "the", "range", "of", "800", "-", "2000", "cm", "-", "1", "." ]

{ "text": [ "Raman spectrum", "SiC", "has", "peaks", "800-2000cm-1", "800-2000", "800", "2000", "cm-1" ], "id": [ 67095, 67104, 67113, 67122, 67131, 67140, 67149, 67158, 67167 ], "value": [ "TECHNIQUE", "MAT", "MEASUREMENT", "PROPERTY", "VALUE", "RANGE", "NUM", "NUM", "UNIT" ], "begin": [ "4", "22", "26", "38", "60", "60", "60", "64", "68" ], "end": [ "18", "25", "29", "43", "72", "68", "63", "68", "72" ], "tokenIndices": [ [ 1, 2 ], [ 4, 4 ], [ 5, 5 ], [ 7, 7 ], [ 12, 17 ], [ 12, 14 ], [ 12, 12 ], [ 14, 14 ], [ 15, 17 ] ] }

[ "O", "B-TECHNIQUE", "L-TECHNIQUE", "O", "U-MAT", "U-MEASUREMENT", "O", "U-PROPERTY", "O", "O", "O", "O", "B-VALUE+B-RANGE+U-NUM", "I-VALUE+I-RANGE", "I-VALUE+L-RANGE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "I-VALUE+I-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 67113, 67113, 67113, 67113, 67122 ], "ne_id_dep": [ 67095, 67104, 67131, 67122, 67131 ], "label": [ "usesTechnique", "conditionSampleFeatures", "measuresPropertyValue", "measuresProperty", "propertyValue" ] }

[ "The", "strongest", "peak", "~", "968", "cm", "-", "1", "is", "the", "longitudinal", "(", "LO", ")", "optical", "phonon", "of", "SiC", ",", "while", "the", "peak", "~", "782", "cm", "-", "1", "is", "the", "transversal", "optical", "(", "TO", ")", "phonon", "." ]

{ "text": [ "968cm-1", "968", "cm-1", "is", "longitudinal (LO) optical phonon", "SiC", "782cm-1", "782", "cm-1", "transversal optical (TO) phonon" ], "id": [ 67176, 67185, 67194, 67203, 67212, 67221, 67230, 67239, 67248, 67257 ], "value": [ "VALUE", "NUM", "UNIT", "MEASUREMENT", "PROPERTY", "MAT", "VALUE", "NUM", "UNIT", "PROPERTY" ], "begin": [ "20", "20", "23", "28", "35", "71", "92", "92", "95", "107" ], "end": [ "27", "23", "27", "30", "67", "74", "99", "95", "99", "138" ], "tokenIndices": [ [ 4, 7 ], [ 4, 4 ], [ 5, 7 ], [ 8, 8 ], [ 10, 15 ], [ 17, 17 ], [ 23, 26 ], [ 23, 23 ], [ 24, 26 ], [ 29, 34 ] ] }

[ "O", "O", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "I-VALUE+I-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "U-MEASUREMENT", "O", "B-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "U-MAT", "O", "O", "O", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "I-VALUE+I-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "O", "B-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 67212, 67203, 67203, 67203, 67257, 67212 ], "ne_id_dep": [ 67176, 67176, 67212, 67221, 67230, 67257 ], "label": [ "propertyValue", "measuresPropertyValue", "measuresProperty", "conditionSampleFeatures", "propertyValue", "measuresProperty" ] }

[ "The", "positions", "of", "D", "-", "and", "G", "-", "bands", "for", "CDC", "layer", "situate", "at", "~", "1337", "cm", "-", "1", "and", "~", "1606", "cm", "-", "1", ",", "respectively", ",", "being", "different", "from", "the", "specific", "values", "for", "graphite", "(", "~", "1350", "cm", "-", "1", "and", "~", "1580", "cm", "-", "1", ")", "." ]

{ "text": [ "D", "G-bands", "CDC", "situate", "1337cm-1", "1337", "cm-1", "1606cm-1", "1606", "cm-1", "graphite", "1350cm-1", "1350", "cm-1", "1580cm-1", "1580", "cm-1" ], "id": [ 67266, 67275, 67284, 67293, 67302, 67311, 67320, 67329, 67338, 67347, 67356, 67365, 67374, 67383, 67392, 67401, 67410 ], "value": [ "PROPERTY", "PROPERTY", "SAMPLE", "MEASUREMENT", "VALUE", "NUM", "UNIT", "VALUE", "NUM", "UNIT", "MAT", "VALUE", "NUM", "UNIT", "VALUE", "NUM", "UNIT" ], "begin": [ "17", "24", "36", "46", "58", "58", "62", "72", "72", "76", "141", "152", "152", "156", "166", "166", "170" ], "end": [ "18", "31", "39", "53", "66", "62", "66", "80", "76", "80", "149", "160", "156", "160", "174", "170", "174" ], "tokenIndices": [ [ 3, 3 ], [ 6, 8 ], [ 10, 10 ], [ 12, 12 ], [ 15, 18 ], [ 15, 15 ], [ 16, 18 ], [ 21, 24 ], [ 21, 21 ], [ 22, 24 ], [ 35, 35 ], [ 38, 41 ], [ 38, 38 ], [ 39, 41 ], [ 44, 47 ], [ 44, 44 ], [ 45, 47 ] ] }

[ "O", "O", "O", "U-PROPERTY", "O", "O", "B-PROPERTY", "I-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "U-SAMPLE", "O", "U-MEASUREMENT", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "I-VALUE+I-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "I-VALUE+I-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-MAT", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "I-VALUE+I-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "I-VALUE+I-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 67293, 67293, 67293, 67293, 67293, 67293, 67293, 67266, 67275, 67293, 67266, 67275 ], "ne_id_dep": [ 67302, 67365, 67266, 67329, 67392, 67275, 67284, 67302, 67329, 67356, 67365, 67392 ], "label": [ "measuresPropertyValue", "measuresPropertyValue", "measuresProperty", "measuresPropertyValue", "measuresPropertyValue", "measuresProperty", "conditionSampleFeatures", "propertyValue", "propertyValue", "conditionSampleFeatures", "propertyValue", "propertyValue" ] }

[ "Moreover", ",", "the", "D", "-", "and", "G", "-", "bands", "for", "CDC", "layer", "are", "greatly", "broadened", "and", "cannot", "be", "fitted", "with", "two", "Gaussians", "profiles", "." ]

{ "text": [ "CDC" ], "id": [ 67419 ], "value": [ "SAMPLE" ], "begin": [ "33" ], "end": [ "36" ], "tokenIndices": [ [ 10, 10 ] ] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-SAMPLE", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "As", "we", "know", ",", "the", "G", "-", "peak", "appears", "due", "to", "the", "in", "-", "plane", "bond", "-", "stretching", "motion", "of", "pairs", "of", "sp2", "bonded", "C", "atoms", "in", "graphitic", "compounds", "whatever", "is", "their", "stacking", "order", "or", "their", "crystallite", "size", "." ]

{ "text": [ "C", "atoms", "graphitic compounds" ], "id": [ 67437, 67446, 67455 ], "value": [ "MAT", "FORM", "MAT" ], "begin": [ "97", "99", "108" ], "end": [ "98", "104", "127" ], "tokenIndices": [ [ 24, 24 ], [ 25, 25 ], [ 27, 28 ] ] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-MAT", "U-FORM", "O", "B-MAT", "L-MAT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 67437 ], "ne_id_dep": [ 67446 ], "label": [ "hasForm" ] }

[ "The", "broadening", "and", "shifting", "to", "high", "wavenumbers", "of", "the", "G", "-", "band", "can", "be", "interpreted", "as", "an", "increase", "in", "bond", "angle", "disorder", "or", "the", "ultrasmall", "crystal", "size", "[", "16", "]", "." ]

{ "text": [ "[16]" ], "id": [ 67464 ], "value": [ "CITE" ], "begin": [ "150" ], "end": [ "154" ], "tokenIndices": [ [ 27, 29 ] ] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-CITE", "I-CITE", "L-CITE", "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "Alternatively", ",", "the", "internal", "stress", "induced", "by", "the", "nonuniformity", "of", "the", "crystalline", "structure", "and", "the", "mismatch", "between", "CDC", "and", "SiC", "substrate", "leads", "to", "peak", "broadening", "and", "up", "-", "shifting", "in", "Raman", "spectrum", "of", "CDC", "layer", "[", "17", "]", "." ]

{ "text": [ "crystalline", "CDC", "SiC", "CDC", "layer", "[17]" ], "id": [ 67473, 67482, 67491, 67500, 67509, 67518 ], "value": [ "FORM", "SAMPLE", "MAT", "SAMPLE", "FORM", "CITE" ], "begin": [ "71", "118", "126", "202", "206", "212" ], "end": [ "82", "121", "129", "205", "211", "216" ], "tokenIndices": [ [ 11, 11 ], [ 17, 17 ], [ 19, 19 ], [ 33, 33 ], [ 34, 34 ], [ 35, 37 ] ] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-FORM", "O", "O", "O", "O", "O", "U-SAMPLE", "O", "U-MAT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-SAMPLE", "U-FORM", "B-CITE", "I-CITE", "L-CITE", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 67500 ], "ne_id_dep": [ 67509 ], "label": [ "hasForm" ] }

[ "Unfortunately", ",", "the", "origin", "of", "the", "D", "-", "band", "shifting", "toward", "smaller", "wavenumbers", "is", "unclear", "." ]

{ "text": [], "id": [], "value": [], "begin": [], "end": [], "tokenIndices": [] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "However", ",", "the", "presence", "of", "broad", "D", "-", "band", "further", "demonstrates", "the", "disorder", "structure", "." ]

{ "text": [], "id": [], "value": [], "begin": [], "end": [], "tokenIndices": [] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "Its", "large", "FWHM", "implies", "a", "large", "distribution", "of", "sp2", "bonded", "clusters", "with", "different", "ring", "sizes", "in", "the", "CDC", "layer", "[", "18", "]", "." ]

{ "text": [ "clusters", "[18]" ], "id": [ 67527, 67536 ], "value": [ "FORM", "CITE" ], "begin": [ "58", "110" ], "end": [ "66", "114" ], "tokenIndices": [ [ 10, 10 ], [ 19, 21 ] ] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-FORM", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-CITE", "I-CITE", "L-CITE", "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "2", "+", "2", "Gaussian", "profiles", "can", "be", "used", "to", "fit", "the", "Raman", "spectrum", "[", "17", "]", "to", "calculate", "the", "integrated", "intensity", "ratio", "of", "D", "-", "and", "G", "-", "bands", "(", "ID", "/", "IG", "≈", "1.70", ")", "." ]

{ "text": [ "2+2 Gaussian profiles", "can be used", "[17]", "integrated intensity ratio of D- and G-bands (ID/IG", "1.70", "1.70" ], "id": [ 67545, 67554, 67563, 67572, 67590, 67581 ], "value": [ "TECHNIQUE", "MEASUREMENT", "CITE", "PROPERTY", "NUM", "VALUE" ], "begin": [ "0", "22", "60", "82", "135", "135" ], "end": [ "21", "33", "64", "133", "139", "139" ], "tokenIndices": [ [ 0, 4 ], [ 5, 7 ], [ 13, 15 ], [ 19, 32 ], [ 34, 34 ], [ 34, 34 ] ] }

[ "B-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "L-TECHNIQUE", "B-MEASUREMENT", "I-MEASUREMENT", "L-MEASUREMENT", "O", "O", "O", "O", "O", "B-CITE", "I-CITE", "L-CITE", "O", "O", "O", "B-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "U-NUM+U-VALUE", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 67554, 67554, 67554, 67554, 67572 ], "ne_id_dep": [ 67545, 67563, 67581, 67572, 67581 ], "label": [ "usesTechnique", "takenFrom", "measuresPropertyValue", "measuresProperty", "propertyValue" ] }

[ "According", "to", "the", "Tuinstra", "and", "Koenig", "(", "TK", ")", "equation", "[", "19,20", "]", ",", "the", "in", "-", "plane", "correlation", "length", "(", "La", ")", "or", "the", "average", "size", "of", "the", "graphite", "sheets", "in", "the", "CDC", "layer", "is", "estimated", "to", "be", "about", "2.92", "nm", "." ]

{ "text": [ "[19,20]", "in-plane correlation length (La)", "average size of the graphite sheets", "CDC", "layer", "is estimated", "2.92nm", "2.92", "nm" ], "id": [ 67599, 67608, 67617, 67626, 67635, 67644, 67653, 67662, 67671 ], "value": [ "CITE", "PROPERTY", "PROPERTY", "SAMPLE", "FORM", "MEASUREMENT", "VALUE", "NUM", "UNIT" ], "begin": [ "51", "64", "104", "147", "151", "157", "182", "182", "186" ], "end": [ "58", "96", "139", "150", "156", "169", "188", "186", "188" ], "tokenIndices": [ [ 10, 12 ], [ 15, 22 ], [ 25, 30 ], [ 33, 33 ], [ 34, 34 ], [ 35, 36 ], [ 40, 41 ], [ 40, 40 ], [ 41, 41 ] ] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-CITE", "I-CITE", "L-CITE", "O", "O", "B-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "O", "B-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "O", "U-SAMPLE", "U-FORM", "B-MEASUREMENT", "L-MEASUREMENT", "O", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "L-VALUE+U-UNIT", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 67644, 67644, 67644, 67644, 67644, 67644, 67626, 67608, 67617 ], "ne_id_dep": [ 67599, 67653, 67608, 67653, 67617, 67626, 67635, 67653, 67653 ], "label": [ "takenFrom", "measuresPropertyValue", "measuresProperty", "measuresPropertyValue", "measuresProperty", "conditionSampleFeatures", "hasForm", "propertyValue", "propertyValue" ] }

[ "The", "Raman", "features", "of", "the", "CVD", "layer", "are", "similar", "to", "that", "of", "the", "CDC", "layer", ",", "although", "the", "position", "of", "D", "-", "band", "shifts", "to", "the", "higher", "wavenumber", "at", "~", "1354", "cm", "-", "1", "." ]

{ "text": [ "Raman", "CVD", "layer", "D-band", "shifts", "1354cm-1", "1354", "cm-1" ], "id": [ 67680, 67689, 67698, 67707, 67716, 67725, 67734, 67743 ], "value": [ "TECHNIQUE", "SAMPLE", "FORM", "PROPERTY", "MEASUREMENT", "VALUE", "NUM", "UNIT" ], "begin": [ "4", "26", "30", "99", "106", "142", "142", "146" ], "end": [ "9", "29", "35", "105", "112", "150", "146", "150" ], "tokenIndices": [ [ 1, 1 ], [ 5, 5 ], [ 6, 6 ], [ 20, 22 ], [ 23, 23 ], [ 30, 33 ], [ 30, 30 ], [ 31, 33 ] ] }

[ "O", "U-TECHNIQUE", "O", "O", "O", "U-SAMPLE", "U-FORM", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-PROPERTY", "I-PROPERTY", "L-PROPERTY", "U-MEASUREMENT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-VALUE+U-NUM", "I-VALUE+B-UNIT", "I-VALUE+I-UNIT", "L-VALUE+L-UNIT", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 67716, 67716, 67689, 67716, 67716, 67707 ], "ne_id_dep": [ 67680, 67689, 67698, 67725, 67707, 67725 ], "label": [ "usesTechnique", "conditionSampleFeatures", "hasForm", "measuresPropertyValue", "measuresProperty", "propertyValue" ] }

[ "Since", "the", "CVD", "carbon", "nucleates", "and", "grows", "on", "the", "top", "of", "CDC", "layer", ",", "top", "layer", "may", "copy", "the", "structure", "of", "CDC", "layer", "in", "some", "extent", "and", "therefore", "their", "Raman", "feature", "is", "similar", "." ]

{ "text": [ "CVD", "carbon", "CDC", "layer", "CDC", "layer" ], "id": [ 67752, 67761, 67770, 67779, 67788, 67797 ], "value": [ "SAMPLE", "MAT", "SAMPLE", "FORM", "SAMPLE", "FORM" ], "begin": [ "10", "14", "55", "59", "102", "106" ], "end": [ "13", "20", "58", "64", "105", "111" ], "tokenIndices": [ [ 2, 2 ], [ 3, 3 ], [ 11, 11 ], [ 12, 12 ], [ 21, 21 ], [ 22, 22 ] ] }

[ "O", "O", "U-SAMPLE", "U-MAT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-SAMPLE", "U-FORM", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-SAMPLE", "U-FORM", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 67761, 67770, 67788 ], "ne_id_dep": [ 67752, 67779, 67797 ], "label": [ "usedAs", "hasForm", "hasForm" ] }

[ "The", "up", "-", "shifted", "D", "-", "band", "of", "CVD", "layer", "may", "be", "attributed", "to", "the", "increased", "size", "of", "the", "graphite", "microcrystalline", "." ]

{ "text": [ "layer", "graphite", "microcrystalline" ], "id": [ 67806, 67815, 67824 ], "value": [ "FORM", "MAT", "FORM" ], "begin": [ "29", "82", "91" ], "end": [ "34", "90", "107" ], "tokenIndices": [ [ 9, 9 ], [ 19, 19 ], [ 20, 20 ] ] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-FORM", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-MAT", "U-FORM", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 67815 ], "ne_id_dep": [ 67824 ], "label": [ "hasForm" ] }

[ "It", "is", "also", "necessary", "to", "note", "that", "the", "densification", "of", "the", "CVD", "layer", "and", "the", "reduced", "internal", "stress", "may", "lead", "to", "the", "difference", "in", "Raman", "spectrum", "." ]

{ "text": [ "CVD", "layer" ], "id": [ 67833, 67842 ], "value": [ "SAMPLE", "FORM" ], "begin": [ "59", "63" ], "end": [ "62", "68" ], "tokenIndices": [ [ 11, 11 ], [ 12, 12 ] ] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "U-SAMPLE", "U-FORM", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 67833 ], "ne_id_dep": [ 67842 ], "label": [ "hasForm" ] }

[ "The", "Raman", "spectrum", "of", "the", "CVD", "layer", "was", "also", "fitted", "with", "2", "+", "2", "Gaussian", "mode", "." ]

{ "text": [ "Raman spectrum", "CVD", "layer", "was also fitted", "2+2 Gaussian mode" ], "id": [ 67851, 67860, 67869, 67878, 67887 ], "value": [ "TECHNIQUE", "SAMPLE", "FORM", "MEASUREMENT", "TECHNIQUE" ], "begin": [ "4", "26", "30", "36", "57" ], "end": [ "18", "29", "35", "51", "74" ], "tokenIndices": [ [ 1, 2 ], [ 5, 5 ], [ 6, 6 ], [ 7, 9 ], [ 11, 15 ] ] }

[ "O", "B-TECHNIQUE", "L-TECHNIQUE", "O", "O", "U-SAMPLE", "U-FORM", "B-MEASUREMENT", "I-MEASUREMENT", "L-MEASUREMENT", "O", "B-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "I-TECHNIQUE", "L-TECHNIQUE", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 67878, 67878, 67860, 67878 ], "ne_id_dep": [ 67851, 67860, 67869, 67887 ], "label": [ "usesTechnique", "conditionSampleFeatures", "hasForm", "usesTechnique" ] }

[ "The", "integrated", "intensity", "ratio", "(", "ID", "/", "IG", ")", "reduces", "to", "1.32", ",", "corresponding", "to", "an", "increased", "La", "of", "3.75", "nm", "compared", "to", "CDC", "layer", "." ]

{ "text": [ "integrated intensity ratio (ID/IG)", "reduces", "1.32", "1.32", "La", "3.75nm", "3.75", "nm", "CDC", "layer" ], "id": [ 67896, 67905, 67923, 67914, 67932, 67941, 67950, 67959, 67968, 67977 ], "value": [ "PROPERTY", "MEASUREMENT", "NUM", "VALUE", "PROPERTY", "VALUE", "NUM", "UNIT", "SAMPLE", "FORM" ], "begin": [ "4", "39", "50", "50", "86", "92", "92", "96", "111", "115" ], "end": [ "38", "46", "54", "54", "88", "98", "96", "98", "114", "120" ], "tokenIndices": [ [ 1, 8 ], [ 9, 9 ], [ 11, 11 ], [ 11, 11 ], [ 17, 17 ], [ 19, 20 ], [ 19, 19 ], [ 20, 20 ], [ 23, 23 ], [ 24, 24 ] ] }

[ "O", "B-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "I-PROPERTY", "L-PROPERTY", "U-MEASUREMENT", "O", "U-NUM+U-VALUE", "O", "O", "O", "O", "O", "U-PROPERTY", "O", "B-VALUE+U-NUM", "L-VALUE+U-UNIT", "O", "O", "U-SAMPLE", "U-FORM", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 67905, 67905, 67896, 67905, 67905, 67932, 67968 ], "ne_id_dep": [ 67914, 67896, 67914, 67941, 67932, 67941, 67977 ], "label": [ "measuresPropertyValue", "measuresProperty", "propertyValue", "measuresPropertyValue", "measuresProperty", "propertyValue", "hasForm" ] }

[ "XPS", "analysis" ]

{ "text": [], "id": [], "value": [], "begin": [], "end": [], "tokenIndices": [] }

[ "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }

[ "The", "XPS", "measurements", "were", "carried", "out", "aiming", "to", "determine", "the", "surface", "composition", "and", "chemical", "nature", "for", "SiC", ",", "CDC", "layer", "and", "dual", "-", "layer", "film", ",", "as", "demonstrated", "in", "Fig", ".", "3", "." ]

{ "text": [ "XPS", "were carried out", "surface composition", "chemical nature", "SiC", "CDC", "layer", "dual-layer", "film" ], "id": [ 67986, 67995, 68004, 68013, 68022, 68031, 68040, 68049, 68058 ], "value": [ "TECHNIQUE", "MEASUREMENT", "PROPERTY", "PROPERTY", "MAT", "SAMPLE", "FORM", "SAMPLE", "FORM" ], "begin": [ "4", "21", "62", "86", "106", "111", "115", "125", "136" ], "end": [ "7", "37", "81", "101", "109", "114", "120", "135", "140" ], "tokenIndices": [ [ 1, 1 ], [ 3, 5 ], [ 10, 11 ], [ 13, 14 ], [ 16, 16 ], [ 18, 18 ], [ 19, 19 ], [ 21, 23 ], [ 24, 24 ] ] }

[ "O", "U-TECHNIQUE", "O", "B-MEASUREMENT", "I-MEASUREMENT", "L-MEASUREMENT", "O", "O", "O", "O", "B-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "B-PROPERTY", "L-PROPERTY", "O", "U-MAT", "O", "U-SAMPLE", "U-FORM", "O", "B-SAMPLE", "I-SAMPLE", "L-SAMPLE", "U-FORM", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O" ]

{ "ne_id_gov": [ 67995, 67995, 67995, 67995, 67995, 68031, 67995, 68049 ], "ne_id_dep": [ 67986, 68004, 68013, 68022, 68031, 68040, 68049, 68058 ], "label": [ "usesTechnique", "measuresProperty", "measuresProperty", "conditionSampleFeatures", "conditionSampleFeatures", "hasForm", "conditionSampleFeatures", "hasForm" ] }

[ "It", "is", "mentioned", "that", "oxidizing", "of", "silicon", "carbide", "surface", "can", "easily", "take", "place", "even", "at", "room", "temperature", "[", "21", "]", "." ]

{ "text": [ "silicon carbide", "silicon", "[21]" ], "id": [ 68067, 68076, 68085 ], "value": [ "MAT", "MAT", "CITE" ], "begin": [ "34", "34", "105" ], "end": [ "49", "41", "109" ], "tokenIndices": [ [ 6, 7 ], [ 6, 6 ], [ 17, 19 ] ] }

[ "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-MAT+U-MAT", "L-MAT", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "O", "B-CITE", "I-CITE", "L-CITE", "O" ]

{ "ne_id_gov": [], "ne_id_dep": [], "label": [] }