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[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]カバーフレーム配線(正面中央)⑤[/WorkName] [Parts]1,ザガネクミコミナベコネジ,ばね座金+小型丸座金組込み十字穴付きなべ小ねじ M4×8-4.8 E2U,1 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,150㎜,,2 28,+ドライバー,No.2,,1 [/Tool]
[Words]3. モニター電源FGを①にて架台に締結する 1. 束線ケーブルを引き上げ引き回す ■2.コネクタを接続する モニターに接続する [/Words]
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47200
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]カバーフレーム配線(正面中央)⑥[/WorkName] [Parts]1,WASHER,NYSW4,3 2,十字穴付きトラス小ねじ,十字穴付きトラス小ねじ M4×8-4.8 A2J (3価),4 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,150㎜,,3 28,インシュロック,200㎜,,4 29,+ドライバー,No.2,,1 [/Tool]
[Words]1. フレームに③を①②にて取付け、コネクタを接続する 2. SWコネクタを接続する [/Words]
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47201
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]カバーフレーム配線(上流仮置き)[/WorkName] [Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,150㎜,,4 [/Tool]
[Words]1. 上流側非常停止スイッチからの配線を本体側コネクタに接続する [/Words]
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47202
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]カバーフレーム配線[/WorkName] [Parts]1,ケーブル,1S201R-S201R/S202R,1 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,150㎜,,18 [/Tool]
[Words]1. フレームに①を引き回し接続する [/Words]
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47203
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]カバーフレーム配線(ICストッカー)①_IC供給有り[/WorkName] [Parts]1,ケーブル,ICTR2R-S312/S313P,1 [/Parts][Tool]26,+ドライバー,No.2,,1 27,トルクドライバー,No.2,70cN・m,1 [/Tool]
[Words]■1. 安全SWに①を締結する 2. フレームに①を引き回し接続する IC供給有りの場合実施する [/Words]
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47204
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]カバーフレーム配線(ICストッカー)②_IC供給有り[/WorkName] [Parts]1,ケーブル,CN5K010/CN15K010-S01004/S01005,1 [/Parts]
[Words]2. ①を基板まで引き回し接続する 1. ①SWをブラケットに取付、架台下に引き回す IC供給有りの場合実施する [/Words]
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47205
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]カバーフレーム配線(ICストッカー)③_IC供給有り[/WorkName] [/Parts][Tool]26,+ドライバー,No.2,,1 27,トルクドライバー,No.2,80cN・m,1 [/Tool]
[Words]1. ①アースストラップ配線を上流ブラケット端子台まで引き回す ■2. 端子台に丸端子を締結する IC供給有りの場合実施する [/Words]
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47206
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]穴カバー取付[/WorkName] [Parts]16,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M4×8-10.9 A2J (3価),16 17,平座金,平座金 みがき丸 4 10H A2J (3価),16 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. 各開口部に⑥⑦⑧を⑯⑰で取付る [/Words]
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47207
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]電空レギュレータ配線[/WorkName] [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,100㎜,黒,2 [/Tool]
[Words]1. 電空レギュレータの配線をする [/Words]
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47208
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]HEPA(OP)配線①[/WorkName] [Parts]1,ケーブル,BKbG10720-E1aG10720,1 2,ケーブル,BKbG10721-E1aG10721,1 3,ケーブル,BKbG10723-E1aG10723,1 4,ラベル端末処理,<91A>HEPA Fan(A+M+P+Mount Transfer) EMC,1 6,フェライトコア,ZCAT3035-1330,6 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,+ドライバー,No.2,,1 28,トルクドライバー,No.2,140cN・m,3 29,トルクドライバー,No.2,60cN・m,1 [/Tool]
[Words]HEPA(OP)がある場合実施する ■1. HEPAケーブルA,M,P用と①②③を接続する ■2. ⑥に④を貼付け後取付け固定する 1ターン [/Words]
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47209
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]HEPA(OP)配線⑥[/WorkName] [/Parts][Tool]26,+ドライバー,No.2,,1 27,トルクドライバー,No.2,140cN・m,1 28,トルクドライバー,No.2,60cN・m,1 [/Tool]
[Words]HEPA(OP)がある場合実施する ■1. HEPAケーブル移載用を接続する [/Words]
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47210
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]HEPA(OP)配線③[/WorkName] [Parts]2,ザガネクミコミナベコネジ,ばね座金+小型丸座金組込み十字穴付きなべ小ねじ M4×8-4.8 E2U,4 [/Parts][Tool]26,+ドライバー,No.2,,1 27,トルクドライバー,No.2,180cN・m,1 28,レンチ,3㎜,,1 [/Tool]
[Words]■1. アース線を②でアース板に取付ける HEPA(OP)が有る場合実施する 2. ドライバーユニットを固定する アース版取付け後 ドライバーユニットを再度固定する [/Words]
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47211
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]トレイストッカー部ドッキング配線_IC供給有り[/WorkName] [Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,150㎜,黒,1 28,インシュロック,200㎜,黒,3 [/Tool]
[Words]IC供給有りの場合実施する 1. トレイストッカーケーブルを架台内部に引き回し、IO基板コネクタに接続する 2. トレイストッカーケーブルと仮圧着移載ケーブルを整線する トレイストッカー 150mm ICTR中継ブラケット [/Words]
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47212
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]IC供給テーブル部ドッキング配線③_IC供給有り[/WorkName] [Parts]1,ザガネクミコミナベコネジ,ばね座金+小型丸座金組込み十字穴付きなべ小ねじ M4×8-4.8 E2U,3 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,150㎜,黒,12 28,+ドライバー,No.2,,1 29,トルクドライバー,No.2,120cN・m,1 30,トルクドライバー,No.2,160cN・m,1 [/Tool]
[Words]IC供給有りの場合実施する ■1. モーターPE端子をドライバーに締結、FG端子を架台に①で締結する 2. モーター・エンコーダー線をドライバーに接続、整線する [/Words]
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47213
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]IC供給テーブル部ドッキング配線②_IC供給有り[/WorkName] [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,150㎜,黒,2 [/Tool]
[Words]IC供給有りの場合実施する 1. 中継ブラケット、IO基板コネクタ、D1500にケーブルコネクタを接続する [/Words]
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47214
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]IC供給テーブル部ドッキング配線①[/WorkName] [Parts]16,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M4×8-10.9 A2J (3価),2 17,平座金,平座金 みがき丸 4 10H A2J (3価),2 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. IC供給テーブルのケーブルを架台内側に引き込み引き廻す IC供給有りの場合実施 なしの場合2.のカバー取付のみ行う 2. ①を⑯⑰で取付け ICTブラケットへ ITY・ITVドライバーへ [/Words]
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47215
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]Aパネルテーブル配線②[/WorkName]
[Words]1. ATB中継ブラケット・D1500コネクタにケーブルコネクタを接続する ATB中継ブラケット [/Words]
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47216
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]Aパネルテーブル配線③(A1)[/WorkName] [Parts]1,ザガネクミコミナベコネジ,ばね座金+小型丸座金組込み十字穴付きなべ小ねじ M4×8-4.8 E2U,3 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,150㎜,,12 28,+ドライバー,No.2,,1 29,トルクドライバー,No.2,120cN・m,1 30,トルクドライバー,No.2,160cN・m,1 [/Tool]
[Words]■1. モーターPE端子をドライバーに締結、FG端子を架台に①で締結する 2. モーター・エンコーダー線をドライバーに接続、整線する [/Words]
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47217
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]Aパネルテーブル フェライトコア取付①[/WorkName] [Parts]6,フェライトコア,ZCAT3035-1330,3 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,100㎜,,3 [/Tool]
[Words]■1. モータードライバーパワー配線にフェライトコア取付 ■2. ㉖で架台のマウントにフェライトコア取付 [/Words]
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47218
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]Aパネルテーブル フェライトコア取付②[/WorkName] [Parts]6,フェライトコア,ZCAT3035-1330,1 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,100㎜,,1 [/Tool]
[Words]■1. モータードライバーパワー配線に⑥フェライトコア取付 ■2. ㉖で架台のマウントにフェライトコア取付 ※R105:ARX軸モーターパワー線"XBK4116R"に「1ターン]で取り付けられていること。 [/Words]
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47219
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]Aパネルテーブル配線④(A2)[/WorkName] [Parts]1,ザガネクミコミナベコネジ,ばね座金+小型丸座金組込み十字穴付きなべ小ねじ M4×8-4.8 E2U,3 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,150㎜,,12 28,+ドライバー,No.2,,1 29,トルクドライバー,No.2,120cN・m,1 30,トルクドライバー,No.2,160cN・m,1 [/Tool]
[Words]■1. モーターPE端子をドライバーに締結、FG端子を架台に①で締結する 2. モーター・エンコーダー線をドライバーに接続、整線する [/Words]
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47220
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]Aパネルテーブル フェライトコア取付③[/WorkName] [Parts]6,フェライトコア,ZCAT3035-1330,3 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,100㎜,,3 [/Tool]
[Words]■1. モータードライバーパワー配線に⑥フェライトコア取付 ■2. ㉖で架台のマウントにフェライトコア取付 [/Words]
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47221
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]Aパネルテーブル配線⑤(A2)[/WorkName] [Parts]1,ザガネクミコミナベコネジ,ばね座金+小型丸座金組込み十字穴付きなべ小ねじ M4×8-4.8 E2U,3 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,150㎜,,10 28,+ドライバー,No.2,,1 29,トルクドライバー,No.2,120cN・m,1 30,トルクドライバー,No.2,160cN・m,1 [/Tool]
[Words]■1. モーターPE端子をドライバーに締結、FG端子を架台に①で締結する 2. モーター・エンコーダー線をドライバーに接続、整線する [/Words]
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47222
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]Aパネルテーブル フェライトコア取付④[/WorkName] [Parts]1,フェライトコア,ZCAT3035-1330,1 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,100㎜,,1 [/Tool]
[Words]■1. モータードライバーパワー配線に⑥フェライトコア取付 ■2. ㉖で架台のマウントにフェライトコア取付 [/Words]
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47223
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]MLX SMX フェライトコア取付[/WorkName] [Parts]6,フェライトコア,ZCAT3035-1330,1 11,フェライトコア,ZCAT3035-1330,1 12,フェライトコア,E04SR401938,1 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,100㎜,,3 [/Tool]
[Words]■2. ㉖で架台のマウントにフェライトコア取付 ■1. モータードライバーパワー配線に⑥⑪⑫フェライトコア取付 [/Words]
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47224
[UnitName]ドッキングユニット_P1 (逆流れ)(001-013)[/UnitName] [WorkName]逆流れ 本体組立①[/WorkName] [Parts]1,架台,,1 2,アジャストボルト部,,6 [/Parts][Tool]26,スパナ,46㎜,,1 27,水準器,0.02㎜/目盛,,2 28,リフト,,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に②を取付 正面 片側で0.06mm以下/1000 mm [/Words]
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47225
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]Mパネルテーブル配線①[/WorkName] [Parts]16,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M4×8-10.9 A2J (3価),2 17,平座金,平座金 みがき丸 4 10H A2J (3価),2 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 [/Tool]
[Words]MTB中継ブラケットへ 1. M1・M2テーブルのケーブルを架台下面へ引き込み引き回す ドライバーへ ドライバーへ 2. ①を⑯⑰にて取付ける [/Words]
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47226
[UnitName]ドッキングユニット_P1 (逆流れ)(001-013)[/UnitName] [WorkName]逆流れ 本体組立⑯(前面ガスケット取付)[/WorkName] [Parts]2,ガスケット,30TS 8-2(AZD5) L=490,2 3,ガスケット,30TS 8-2(AZD5) L=376,4 4,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=494,1 5,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=392,4 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 [/Tool]
[Words]正面 1. ①に②③④⑤を貼付 [/Words]
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47227
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]Mパネルテーブル配線②[/WorkName]
[Words]1. MTB中継ブラケット・D1500コネクタにケーブルコネクタを接続する MTB中継ブラケット [/Words]
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47228
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]Mパネルテーブル配線③(M1)[/WorkName] [Parts]1,ザガネクミコミナベコネジ,ばね座金+小型丸座金組込み十字穴付きなべ小ねじ M4×8-4.8 E2U,3 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,150㎜,,12 28,+ドライバー,No.2,,1 29,トルクドライバー,No.2,120cN・m,1 30,トルクドライバー,No.2,160cN・m,1 [/Tool]
[Words]■1. モーターPE端子をドライバーに締結、FG端子を架台に①で締結する 2. モーター・エンコーダー線をドライバーに接続、整線する [/Words]
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47229
[UnitName]ドッキングユニット_P1 (逆流れ)(001-013)[/UnitName] [WorkName]逆流れ 本体組立⑮[/WorkName] [Parts]2,ハツキザガネ,歯付き座金 6 外歯形 鋼 ユニクロ白 (3価),12 16,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M6×16-10.9 A2J (3価),12 [/Parts][Tool]26,レンチ,5㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に⑥を②⑯で取付 各面の段差が無いように調整し締結する [/Words]
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47230
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]Mパネルテーブル フェライトコア取付①[/WorkName] [Parts]6,フェライトコア,ZCAT3035-1330,3 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,100㎜,,3 [/Tool]
[Words]■1. ①モータードライバーパワー配線に⑥フェライトコア取付 ■2. ㉖で架台のマウントにフェライトコア取付 [/Words]
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47231
[UnitName]ドッキングユニット_P1 (逆流れ)(001-013)[/UnitName] [WorkName]逆流れ 本体組立⑭(上面)[/WorkName] [Parts]16,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M4×10-10.9 A2J (3価),14 17,平座金,平座金 みがき丸 4 10H A2J (3価),14 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に②を⑯⑰で取付(5個) 2. 1、完成品に③を⑯⑰で取付(2個) N004スペーサー無し N004スペーサー有り N004スペーサー有 [/Words]
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47232
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]HEPA(OP)配線④[/WorkName] [/Parts]
[Words]HEPA(OP)がある時に実施する 1. HEPAの配線をする [/Words]
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47233
[UnitName]ドッキングユニット_P1 (逆流れ)(001-013)[/UnitName] [WorkName]逆流れ 本体組立⑬(左側面ガスケット取付)[/WorkName] [Parts]2,ガスケット,20TS 10-10(AZD) L=1000,7 [/Parts][Tool]26,スケール,1000㎜,,1 27,はさみ,,,1 [/Tool]
[Words]1. ①のSDX軸配線3本配管3本をFT4に㉗で固定 配線1本にフェライトコアを1個固定 3. 1.完成品をブラケット上のFT4に俵積みして㉗で固定 ■2. ⑥付属のフェライトコアを所定の配線(モーター線、エンコーダー線、信号線)に㉖で固定 [/Words]
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47234
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]Mパネルテーブル配線④(A2)[/WorkName] [Parts]1,ザガネクミコミナベコネジ,ばね座金+小型丸座金組込み十字穴付きなべ小ねじ M4×8-4.8 E2U,3 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,150㎜,,12 28,+ドライバー,No.2,,1 29,トルクドライバー,No.2,120cN・m,1 30,トルクドライバー,No.2,160cN・m,1 [/Tool]
[Words]■1. モーターPE端子をドライバーに締結、FG端子を架台に①で締結する 2. モーター・エンコーダー線をドライバーに接続、整線する [/Words]
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47235
[UnitName]ドッキングユニット_P1 (逆流れ)(001-013)[/UnitName] [WorkName]逆流れ 本体組立⑫(後面ガスケット取付)[/WorkName] [Parts]2,ブラケット,,2 3,ガスケット,30TS 8-2(AZD5) L=490,2 4,ガスケット,30TS 8-2(AZD5) L=376,4 5,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=494,1 6,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=473,1 7,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=215,1 8,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=135,1 9,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=553,1 16,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M4×10-10.9 A2J (3価),4 17,平座金,平座金 みがき丸 4 10H A2J (3価),4 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 27,レンチ,3㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①のSP1X軸配線3本配管3本をFT4に㉗で固定 ■2. ⑥付属のフェライトコアを所定の配線(モーター線、エンコーダー線、信号線)に㉖で固定 3. 1.完成品をブラケット上のFT4に⑥を俵積みして㉗で固定 [/Words]
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47236
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]ACFドッキング配線①[/WorkName] [Parts]16,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M4×8-10.9 A2J (3価),2 17,平座金,平座金 みがき丸 4 10H A2J (3価),2 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 [/Tool]
[Words]ACFユニット後面 1. ACFユニット載せ込み完了後、ケーブルを架台内部に引き込む 2. 束線からの配線(カメラ、イオナイザーアース)をACFユニットに配線する 3. ①を⑯⑰で取付ける [/Words]
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47237
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]ACFドッキング配線②[/WorkName] [Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,200㎜,,5 28,-ドライバー,No.2,,1 29,+ドライバー,No.2,,1 30,トルクドライバー,No.2,0.61~0.63N・m,1 [/Tool]
[Words]1. カメラコネクタを接続する 3. カメラ、イオナイザーアース線を整線、結束する ACFユニット後面 接続確認 ■2. イオナイザーアース端子を付属ねじで接続する 接続・締付トルク確認 [/Words]
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47238
[UnitName]ドッキングユニット_P1 (逆流れ)(001-013)[/UnitName] [WorkName]逆流れ 本体組立⑪(前面ガスケット取付)[/WorkName] [Parts]2,ガスケット,30TS 8-2(AZD5) L=490,2 3,ガスケット,30TS 8-2(AZD5) L=376,4 4,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=494,1 5,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=392,4 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 [/Tool]
[Words]上面 1. ①に⑥を⑳で取付 2. 1.完成品のケーブルベアを㉑㉒㉓で取付 矢視 [/Words]
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47239
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]ACFドッキング配線③[/WorkName] [Parts]1,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M2.5×10-10.9 A2J (3価),2 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,150㎜,,3 28,インシュロック,200㎜,,2 29,レンチ,2㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ACFユニット載せ込み完了後、ケーブルを架台内に引き込む 2. IO基板コネクタ、ブラケットコネクタにACFケーブルコネクタを接続する 3. 熱電対コネクタを接続後、①にてブラケットに取付ける [/Words]
information_extraction
47240
[UnitName]ドッキングユニット_P1 (逆流れ)(001-013)[/UnitName] [WorkName]逆流れ 本体組立⑩[/WorkName] [Parts]2,ハツキザガネ,歯付き座金 6 外歯形 鋼 ユニクロ白 (3価),12 16,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M6×16-10.9 A2J (3価),12 [/Parts][Tool]26,レンチ,5㎜,,1 [/Tool]
[Words]上面 2. 1完成品に⑧を取付け 3. 2.完成品に⑥⑦を㉑㉒で取付 1. ①に⑳を取付 略図、茶色丸枠の架台上面に取付 略図、茶色、黄色丸枠部分に取付 [/Words]
information_extraction
47241
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]ACFドッキング配線④[/WorkName] [Parts]1,ザガネクミコミナベコネジ,ばね座金+小型丸座金組込み十字穴付きなべ小ねじ M4×8-4.8 E2U,4 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,100㎜,,15 28,インシュロック,150㎜,,2 29,+ドライバー,No.2,,1 30,トルクドライバー,No.2,120cN・m,1 31,トルクドライバー,No.2,160cN・m,1 [/Tool]
[Words]■1. モーターPE端子をドライバーに締結、FG端子を架台に①で締結する 2. モーター・エンコーダー線をドライバーに接続、整線する AHRX軸K4131 AHLX軸K4130 ARF軸K4104 ALF軸K4103 [/Words]
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47242
[UnitName]ドッキングユニット_P1 (逆流れ)(001-013)[/UnitName] [WorkName]逆流れ 本体組立⑨(上面)[/WorkName] [Parts]16,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M4×10-10.9 A2J (3価),14 17,平座金,平座金 みがき丸 4 10H A2J (3価),14 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 [/Tool]
[Words]上面 1. ①に⑥搬送部を⑳㉑で取付ける 隙間:0.01㎜以下 基準ピンに⑥を押し当て隙間のないように取付 [/Words]
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47243
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]本体ドッキング配線[/WorkName] [Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,100㎜,,2 [/Tool]
[Words]1. 本認識部載せ込み完了後、ケーブルを架台内部に引き込む ■2. モーターのコネクタを接続する L,Rカメラケ-ブルに取付け 本認識部 [/Words]
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47244
[UnitName]ドッキングユニット_P1 (逆流れ)(001-013)[/UnitName] [WorkName]逆流れ 本体組立⑧(フェライトコア取付)[/WorkName] [/Parts][Tool]26,インシュロック,150㎜,黒,6 27,インシュロック,300㎜,黒,3 28,ニッパ,,,1 [/Tool]
[Words]フェライトコア 1. 配線3本配管3本をFT4に㉖で固定 ■2. 付属のフェライトコアを所定の配線(モーター線、エンコーダー線、信号線)に㉖で固定 配線1本に⑥を2個固定 ⑥を配線に㉖で固定 3. 1.完成品をブラケット上のFT4に⑥を俵積みして㉗で固定  [/Words]
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47245
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]仮圧移載部ドッキング配線①[/WorkName] [Parts]16,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M4×8-10.9 A2J (3価),2 17,平座金,平座金 みがき丸 4 10H A2J (3価),2 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. 仮圧移載部を載せ込み完了後、ケーブルを架台内部に引き込む 2. ①を⑯⑰で取付ける 仮圧着移載部 [/Words]
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47246
[UnitName]ドッキングユニット_P1 (逆流れ)(001-013)[/UnitName] [WorkName]逆流れ 本体組立⑦(搬送部ドッキング)[/WorkName] [Parts]16,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M6×16-10.9 A2J (3価),12 20,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M4×10-10.9 A2J (3価),4 21,平座金,平座金 小形丸 4 10H A2J (3価),4 22,ばね座金,ばね座金 2号 4 S A2J (3価),4 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 27,レンチ,5㎜,,1 [/Tool]
[Words]上面 矢視 1. ①に⑥を⑳で取付 2. 1.完成品のケーブルベアを㉑㉒㉓で取付 [/Words]
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47247
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]仮圧移載部ドッキング配線②[/WorkName] [Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,150㎜,黒,3 [/Tool]
[Words]1. ICTR中継ブラケットコネクタにケーブルコネクタを接続、整線する ICTR中継ブラケット [/Words]
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47248
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]仮圧移載部ドッキング配線③[/WorkName] [Parts]1,ザガネクミコミナベコネジ,ばね座金+小型丸座金組込み十字穴付きなべ小ねじ M4×8-4.8 E2U,3 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,100㎜,,2 28,インシュロック,150㎜,,2 29,+ドライバー,No.2,,1 30,トルクドライバー,No.2,120cN・m,1 31,トルクドライバー,No.2,160cN・m,1 [/Tool]
[Words]■1. モーターPE端子をドライバーに締結、FG端子を架台に①で締結する IH軸K4108 ITY軸K4110 ITV軸K4111 2. モーター・エンコーダー線をドライバーに接続、整線する [/Words]
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47249
[UnitName]ドッキングユニット_P1 (逆流れ)(001-013)[/UnitName] [WorkName]逆流れ 本体組立⑥(搬送部ドッキング)[/WorkName] [Parts]7,SPACER,ASF-427E,3 20,六角穴付き止めねじ,六角穴付き止めねじ くぼみ先 M4×12-45H A2J (3価),3 21,平座金,平座金 みがき丸 4 10H A2J (3価),10 22,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M4×10-10.9 A2J (3価),7 [/Parts][Tool]26,レンチ,2㎜,,1 27,レンチ,3㎜,,1 28,スパナ,7㎜,,1 [/Tool]
[Words]上面 1. ①に⑳を取付 2. 1.完成品に⑥を⑦㉑㉒で取付 [/Words]
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47250
[UnitName]ドッキングユニット_P1 (逆流れ)(001-013)[/UnitName] [WorkName]逆流れ 本体組立⑤(搬送部ドッキング)[/WorkName] [/Parts][Tool]26,レンチ,5㎜,,1 27,シックネスゲージ,0.01㎜,,1 [/Tool]
[Words]上面 1. ①に⑥搬送部を⑳㉑で取付ける 隙間:0.01㎜以下 基準ピンに⑥を押し当て隙間のないように取付 [/Words]
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47251
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]仮圧着部ドッキング配線①[/WorkName] [Parts]16,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M4×8-10.9 A2J (3価),2 17,平座金,平座金 みがき丸 4 10H A2J (3価),2 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 [/Tool]
[Words]2. ①を⑯⑰で取付ける 1. 仮圧着部載せ込み完了後、ケーブルを架台内部に引き込む [/Words]
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47252
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]仮圧着ドッキング配線②[/WorkName] [Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,150㎜,,4 28,-ドライバー,No.2,,1 [/Tool]
[Words]1. 束線からのカメラケーブルを引き回し接続する ドライバー側へ [/Words]
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47253
[UnitName]ドッキングユニット_P1 (逆流れ)(001-013)[/UnitName] [WorkName]逆流れ 本体組立④(XYテーブルドッキング)[/WorkName] [/Parts][Tool]26,レンチ,6㎜,,1 27,シックネスゲージ,0.01㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に⑥を載せて⑳で固定 PINに当付け(㉗で確認する) 隙間:0.01㎜以下 ⑥テーブルユニットはベースプレートのみ描いています [/Words]
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47254
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]仮圧着部ドッキング配線③[/WorkName] [Parts]1,ケーブル,CN2K009/CN7K009/CN12K009-MMU1P,1 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,100㎜,,1 28,インシュロック,200㎜,,2 29,-ドライバー,No.2,,1 [/Tool]
[Words]1. MMU中継ブラケットにカメラコネクタ(MMU3P,MMU4P)を接続する 2. ①コネクタ(MMU1P)を中継ブラケットに挿し込みIO基板コネクタに接続する 3. 仮圧着ケーブルコネクタを各コネクタに接続、整線する [/Words]
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47255
[UnitName]ドッキングユニット_P1 (逆流れ)(001-013)[/UnitName] [WorkName]逆流れ 本体組立③(本圧着ドッキング)[/WorkName] [Parts]7,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M12×40-10.9 A2J (3価),8 [/Parts][Tool]26,レンチ,10㎜,,1 27,シックネスゲージ,0.01㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に⑥を載せて⑦で固定 PINに当付け(㉗で確認する) 隙間:0.01㎜以下 [/Words]
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47256
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]仮圧着部ドッキング配線④[/WorkName] [Parts]1,ザガネクミコミナベコネジ,ばね座金+小型丸座金組込み十字穴付きなべ小ねじ M4×8-4.8 E2U,2 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,150㎜,,10 28,+ドライバー,No.1,,1 29,+ドライバー,No.2,,1 30,トルクドライバー,No.2,120cN・m,1 31,トルクドライバー,No.2,160cN・m,1 [/Tool]
[Words]■1. モーターPE端子をドライバーに締結、FG端子を架台に①で締結する 2. モーター・エンコーダー・信号線線をドライバーに接続、整線する MTY軸K4107 MHV軸K4106 MH軸K4105 [/Words]
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47257
[UnitName]ドッキングユニット_P1 (逆流れ)(001-013)[/UnitName] [WorkName]逆流れ 本体組立②(上面)[/WorkName] [Parts]2,PIN,MMS6-15,6 6,PIN,MMS6-15,10 11,PIN,MMS6-15,9 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 27,ハンマー,,鉄,1 [/Tool]
[Words]ピン圧入詳細青丸枠は共通部 ②を6本黒丸枠は1軸仕様、2軸仕様共用 ⑥or⑪を3本茶丸枠は1軸仕様 ⑥を7本黄丸枠は2軸仕様 ⑪を6本 1. ①に②⑥又は②⑪を圧入 出代 5mm 仕様(1軸仕様/2軸仕様)に準じて圧入する [/Words]
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47258
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]仮圧着部ドッキング配線⑤[/WorkName] [Parts]1,ザガネクミコミナベコネジ,ばね座金+小型丸座金組込み十字穴付きなべ小ねじ M4×8-4.8 E2U,2 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,100㎜,,4 28,+ドライバー,No.2,,1 29,トルクドライバー,No.2,180cN・m,1 [/Tool]
[Words]■1. イオナイザーPE端子をアースプレートに①で締結、整線する [/Words]
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47259
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]Mパネルテーブル フェライトコア取付②[/WorkName] [Parts]6,フェライトコア,ZCAT3035-1330,3 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,100㎜,,3 [/Tool]
[Words]■1. ①モータードライバーパワー配線に⑥フェライトコア取付 ■2. ㉖で架台のマウントにフェライトコア取付 [/Words]
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47260
[UnitName]ドッキングユニット_P1 (逆流れ)(001-013)[/UnitName] [WorkName]逆流れ 本体組立⑰(後面ガスケット取付)[/WorkName] [Parts]2,ブラケット,,2 3,ガスケット,30TS 8-2(AZD5) L=490,2 4,ガスケット,30TS 8-2(AZD5) L=376,4 5,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=494,1 6,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=473,1 7,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=215,1 8,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=135,1 9,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=553,1 16,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M4×10-10.9 A2J (3価),4 17,平座金,平座金 みがき丸 4 10H A2J (3価),4 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 27,レンチ,3㎜,,1 [/Tool]
[Words]後面 1. ①に②を⑯⑰で取付(2個) 2. 1、完成品に③④⑤⑥⑦⑧⑨を貼付 [/Words]
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47261
[UnitName]ドッキング配線_AM (逆流れ)(001-062)[/UnitName] [WorkName]HEPA(OP)配線⑤[/WorkName] [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,150㎜,,5 [/Tool]
[Words]HEPA(OP)がある時に実施する ■1. HEPA配線を接続し整線する [/Words]
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47262
[UnitName]ドッキングユニット_P1 (逆流れ)(001-013)[/UnitName] [WorkName]逆流れ 本体組立⑱(左側面ガスケット取付)[/WorkName] [Parts]2,ガスケット,20TS 10-10(AZD) L=1000,7 [/Parts][Tool]26,スケール,1000㎜,,1 27,はさみ,,,1 [/Tool]
[Words]左側面 1. ②を指定の長さにカットする 1000mm 4本841mm 1本440mm 2本345mm 1本 2. ①にカットした②を貼付する [/Words]
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47263
[UnitName]ドッキングカバー部・周辺部_P1(1軸・2軸共通) (逆流れ)(001-011)[/UnitName] [WorkName]本加圧シート廃棄部取付け①[/WorkName] [/Parts][Tool]26,レンチ,5㎜,,1 [/Tool]
[Words] ボルト M6×12(2P) ボルト M6×25(1P) 厚肉座金 M6(3P) 付属ボルトで取付ける M6×25,厚肉座金M6 M6×12,厚肉座金M6 1. ①に⑥を付属ボルトで取付ける 設備後側 1軸・2軸共通 [/Words]
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47264
[UnitName]ドッキングカバー部・周辺部_P1(1軸・2軸共通) (逆流れ)(001-011)[/UnitName] [WorkName]本加圧シート廃棄部取付け②[/WorkName] [/Parts][Tool]26,レンチ,5㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に⑥を取付ける ボルト M6×12 厚肉座金 M6 各4個 付属ボルトで取付ける M6×12,厚肉座金M6 M6×12,厚肉座金M6 設備後側 上面図 1軸・2軸共通 [/Words]
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47265
[UnitName]ドッキングカバー部・周辺部_P1(1軸・2軸共通) (逆流れ)(001-011)[/UnitName] [WorkName]前面カバー取付①[/WorkName] [Parts]11,十字穴付きトラス小ねじ,十字穴付きトラス小ねじ M4×8-4.8 A2J (3価),22 12,WASHER,NYSW4,18 [/Parts][Tool]26,+トルクドライバー,No.2,120cN・m,1 27,+トルクドライバー,No.2,160cN・m,1 [/Tool]
[Words]1. ①に⑥⑦⑧⑨を⑪⑫取付ける 塗装無し面:導通確保の為⑫無し 1軸・2軸共通(2軸仕様の場合はMTKA046412AAより) [/Words]
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47266
[UnitName]ドッキングカバー部・周辺部_P1(1軸・2軸共通) (逆流れ)(001-011)[/UnitName] [WorkName]後面カバー取付①[/WorkName] [Parts]11,十字穴付きトラス小ねじ,十字穴付きトラス小ねじ M4×8-4.8 A2J (3価),20 12,WASHER,NYSW4,17 [/Parts][Tool]26,+トルクドライバー,No.2,120cN・m,1 27,+トルクドライバー,No.2,160cN・m,1 [/Tool]
[Words]1. ①に⑥⑦⑧を⑪⑫で取付ける 塗装無し面:導通確保の為⑫無し 1軸・2軸共通(2軸仕様の場合はMTKA046412AAより) [/Words]
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47267
[UnitName]ドッキングカバー部・周辺部_P1(1軸・2軸共通) (逆流れ)(001-011)[/UnitName] [WorkName]右側面カバー取付(2軸仕様の場合)[/WorkName] [Parts]11,十字穴付きトラス小ねじ,十字穴付きトラス小ねじ M4×8-4.8 A2J (3価),9 12,WASHER,NYSW4,8 [/Parts][Tool]26,トルクドライバー,No.2,160cN・m,1 [/Tool]
[Words]1. ①に⑥を⑪⑫取付ける 塗装無し面:導通確保の為⑫無し 2軸仕様の場合実施する [/Words]
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47268
[UnitName]ドッキングカバー部・周辺部_P1(1軸・2軸共通) (逆流れ)(001-011)[/UnitName] [WorkName]前面カバー取付②[/WorkName] [Parts]11,十字穴付きトラス小ねじ,十字穴付きトラス小ねじ M4×8-4.8 A2J (3価),10 12,WASHER,NYSW4,10 [/Parts][Tool]26,トルクドライバー,No.2,160cN・m,1 [/Tool]
[Words]1. ①に⑥を⑪⑫取付ける 1軸・2軸共通(2軸仕様の場合はMTKA046412AAより) [/Words]
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47269
[UnitName]ドッキングカバー部・周辺部_P1(1軸・2軸共通) (逆流れ)(001-011)[/UnitName] [WorkName]後面カバー取付②[/WorkName] [Parts]11,十字穴付きトラス小ねじ,十字穴付きトラス小ねじ M4×10-4.8 A2J (3価),25 12,WASHER,NYSW4,25 [/Parts][Tool]26,トルクドライバー,No.2,160cN・m,1 [/Tool]
[Words]1. ①に⑥⑦を⑪⑫で取付ける 1軸・2軸共通(2軸仕様の場合はMTKA046412AAより) [/Words]
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47270
[UnitName]ドッキングカバー部・周辺部_P1(1軸・2軸共通) (逆流れ)(001-011)[/UnitName] [WorkName]後面メンテナンスカバー取付[/WorkName] [/Parts][Tool]26,トルクドライバー,No.2,160cN・m,1 [/Tool]
[Words]1. ①に⑥を取付ける 取付け済のボルトで取付ける 1軸・2軸共通(2軸仕様の場合はMTKA046412AAより) [/Words]
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47271
[UnitName]ドッキングカバー部・周辺部_P1(1軸・2軸共通) (逆流れ)(001-011)[/UnitName] [WorkName]仮置きカバー(R)取付①[/WorkName] [Parts]11,十字穴付きトラス小ねじ,十字穴付きトラス小ねじ M4×10-4.8 A2J (3価),14 12,WASHER,NYSW4,13 [/Parts][Tool]26,トルクドライバー,No.2,160cN・m,1 [/Tool]
[Words]1. ①に⑥⑦を⑪⑫で取付ける 塗装無し面:導通確保の為⑫無し 2軸仕様で仮置きユニットを取付時に実施する [/Words]
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47272
[UnitName]ドッキングカバー部・周辺部_P1(1軸・2軸共通) (逆流れ)(001-011)[/UnitName] [WorkName]仮置きカバー(R)取付②[/WorkName] [Parts]11,十字穴付きトラス小ねじ,十字穴付きトラス小ねじ M4×10-4.8 A2J (3価),22 12,WASHER,NYSW4,22 [/Parts][Tool]26,トルクドライバー,No.2,160cN・m,1 [/Tool]
[Words]1. ①に⑥⑦を⑪⑫で取付ける 2軸仕様で仮置きユニットを取付時に実施する [/Words]
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47273
[UnitName]ドッキングカバー部・周辺部_P1(1軸・2軸共通) (逆流れ)(001-011)[/UnitName] [WorkName]仮置きカバー(R)取付③[/WorkName] [Parts]11,カバー,SPA[焼付け塗装 W-13(G50) 白 NF-371-320 関西ペイント],1 12,十字穴付きトラス小ねじ,十字穴付きトラス小ねじ M4×10-4.8 A2J (3価),14 13,WASHER,NYSW4,15 [/Parts][Tool]26,トルクドライバー,No.2,160cN・m,1 [/Tool]
[Words]1. ①に⑥⑪を⑫⑬で取付ける 塗装無し面:導通確保の為⑬無し 2軸仕様で仮置きユニットを取付時に実施する [/Words]
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47274
[UnitName]本体組立銘板_P2 (逆流れ)(001-005)[/UnitName] [WorkName]銘板貼付け①[/WorkName] [Parts]1,ラベル,,1 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 27,アルコール・ウエス,,,1 [/Tool]
[Words]2. ①を貼付ける 1. 貼り付け面を清掃する [/Words]
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47275
[UnitName]本体組立銘板_P2 (逆流れ)(001-005)[/UnitName] [WorkName]銘板貼付け②[/WorkName] [Parts]1,ラベル,,1 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 27,アルコール・ウエス,,,1 [/Tool]
[Words]1. 貼り付け面を清掃する 2. ①を貼付ける タップ左端 タップ中央 [/Words]
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47276
[UnitName]本体組立銘板_P2 (逆流れ)(001-005)[/UnitName] [WorkName]銘板貼付け③[/WorkName] [Parts]1,ラベル,,1 2,LABEL,,12 [/Parts][Tool]26,スケール,600㎜,,1 27,アルコール・ウエス,,,1 [/Tool]
[Words]1. 貼り付け面を清掃する 2. ①・②を貼付ける [/Words]
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47277
[UnitName]本体組立銘板_P2 (逆流れ)(001-005)[/UnitName] [WorkName]銘板貼付け④[/WorkName] [Parts]1,ラベル,,1 [/Parts][Tool]26,スケール,300㎜,,1 27,アルコール・ウエス,,,1 [/Tool]
[Words]1. 貼り付け面を清掃する 2. ①を貼付ける [/Words]
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47278
[UnitName]本体組立銘板_P2 (逆流れ)(001-005)[/UnitName] [WorkName]銘板貼付け⑥[/WorkName] [Parts]1,ラベル,,1 [/Parts][Tool]26,スケール,1000㎜,,1 27,アルコール・ウエス,,,1 [/Tool]
[Words]1. 貼り付け面を清掃する 2. ①を貼付ける [/Words]
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47279
[UnitName]ドッキングユニット_AM (逆流れ)(H1工程)(001-039)[/UnitName] [WorkName]架台レベル出し[/WorkName] [Parts]1,架台,,1 [/Parts][Tool]26,スパナ,46㎜,,2 27,水準器,0.02㎜/目盛,,4 [/Tool]
[Words]0.06mm以下 1. ①のレベルを出す ※アジャストボルト3,6,10の3本を主としてレベル出しを行う [/Words]
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47280
[UnitName]ドッキングユニット_AM (逆流れ)(H1工程)(001-039)[/UnitName] [WorkName]仮圧着バックアップ平面平行確認[/WorkName] [Tool]26,レンチ,2.5㎜,,1 27,てこ式ダイヤルゲージ,2/1000,,1 [/Tool]
[Words]1. 仮圧着バックアップベースの平面平行を確認する 平面度:20μm以下 平行度:0.2mm以内 [/Words]
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47281
[UnitName]ドッキングユニット_AM (逆流れ)(H1工程)(001-039)[/UnitName] [WorkName]仮圧着バックアップ出しろ測定[/WorkName] [Tool]26,レンチ,2.5㎜,,1 27,てこ式ダイヤルゲージ,1/100,,1 [/Tool]
[Words]1. 仮圧着ツールとバックアップベースの出代を確認する ①XY軸にスタンドを固定し、Z軸を動かし測定②測定箇所は、各ツール・バックアップステージ前面の中央※ツール前面に対し、バックアップ前面が出ている状態 出代量:-0.10~-0.30mm [/Words]
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47282
[UnitName]ドッキングユニット_AM (逆流れ)(H1工程)(001-039)[/UnitName] [WorkName]搬送ユニット取付け[/WorkName] [/Parts][Tool]26,レンチ,5㎜,,1 [/Tool]
[Words]テーブルの配管配線が完了している事 ボルト M6×16 20ヶ所 搬送ユニット A側 M側 A側 M側 1. 搬送ユニットを付属ボルトで取付ける クリーンベアを汚さないよう取り扱いに注意すること マグネット注意 [/Words]
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47283
[UnitName]ドッキングユニット_AM (逆流れ)(H1工程)(001-039)[/UnitName] [WorkName]カバーフレーム取付け[/WorkName] [Parts]2,ハツキザガネ,歯付き座金 6 外歯形 鋼 ユニクロ白 (3価),14 16,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M6×16-10.9 A2J (3価),14 [/Parts][Tool]26,レンチ,5㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①にフレームを②⑯で取付ける [/Words]
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47284
[UnitName]ドッキングユニット_AM (逆流れ)(H1工程)(001-039)[/UnitName] [WorkName]後面カバーブラケット取付け[/WorkName] [Parts]2,ブラケット,,2 16,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M4×8-10.9 A2J (3価),4 17,平座金,平座金 みがき丸 4 10H A2J (3価),4 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に②を⑯⑰で取付ける 架台前面に合わせる 2ヶ所 [/Words]
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47285
[UnitName]ドッキングユニット_AM (逆流れ)(H1工程)(001-039)[/UnitName] [WorkName]上流仮置きカバーフレーム取付け[/WorkName] [/Parts][Tool]26,レンチ,5㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に仮置きカバー(R)を付属ボルトで取付ける ボルト M6×16歯付座金 M6 [/Words]
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47286
[UnitName]ドッキングユニット_AM (逆流れ)(H1工程)(001-039)[/UnitName] [WorkName]HEPA取付け[/WorkName] [/Parts][Tool]26,レンチ,5㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①にHEPAを付属ボルトで取付ける ボルト M6×12厚肉座金 M6 スイッチを前側で取り付ける スイッチを後側で取り付ける ACF、仮圧着はマウントの取り付け位置が違います カバー取り付け後、隙間を調整して締め付けをする [/Words]
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47287
[UnitName]ドッキングユニット_AM (逆流れ)(H1工程)(001-039)[/UnitName] [WorkName]ACFバックアップ上面測定[/WorkName] [Tool]26,てこ式ダイヤルゲージ,2/1000,,1 [/Tool]
[Words]1. 定盤上を基準に、バックアップステージ上面の平行度を測定する [/Words]
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47288
[UnitName]ドッキングユニット_AM (逆流れ)(H1工程)(001-039)[/UnitName] [WorkName]本体天板取付け[/WorkName] [/Parts][Tool]26,+ドライバー,No.2,,1 27,レンチ,5㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に天板を付属ボルトで取付ける +字穴付きトラス小ねじ M4×10ナイロンワッシャ M4 HEPAの取付けと隙間を調整して締め付けをする 2. HEPAの取付けボルトを締め付ける [/Words]
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47289
[UnitName]ドッキングユニット_AM (逆流れ)(H1工程)(001-039)[/UnitName] [WorkName]上流仮置きイオナイザー取付け部取付け[/WorkName] [/Parts][Tool]26,スケール,300㎜,,1 27,レンチ,3㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に上流仮置きイオナイザーを付属ボルトで取付ける 六角穴付きボルト M4×10みがき丸 M4 前側 [/Words]
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47290
[UnitName]ドッキングユニット_AM (逆流れ)(H1工程)(001-039)[/UnitName] [WorkName]供給部連結ブロック取付け_TCP供給有り[/WorkName] [Parts]6,ブラケット,,1 7,シャフト,,1 8,ブラケット,,1 [/Parts][Tool]26,レンチ,8㎜,,1 27,スパナ,17㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ⑥に⑦を⑳で取付ける 2. ①に1の完成品と、⑧を㉑㉒で取付ける 後部 TCP供給有りの場合実施する [/Words]
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47291
[UnitName]ドッキングユニット_AM (逆流れ)(H1工程)(001-039)[/UnitName] [WorkName]ガスケット貼付け①前面[/WorkName] [Parts]2,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=871,2 3,ガスケット,30TS 8-2(AZD5) L=418,2 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 27,アルコール・ウエス,,,1 [/Tool]
[Words]貼り付け部分のゴミ・油脂を取り除く 1. ①へ②③貼り付ける [/Words]
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47292
[UnitName]ドッキングユニット_AM (逆流れ)(H1工程)(001-039)[/UnitName] [WorkName]ガスケット貼付け②前面[/WorkName] [Parts]2,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=863,1 3,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=873,1 4,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=871,1 5,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=935,1 6,ガスケット,30TS 8-2(AZD5) L=415,2 7,ガスケット,30TS 8-2(AZD5) L=419,2 8,ガスケット,30TS 8-2(AZD5) L=418,2 9,ガスケット,30TS 8-2(AZD5) L=451,2 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 27,アルコール・ウエス,,,1 [/Tool]
[Words]貼り付け部分のゴミ・油脂を取り除く 1. ①へ②③④⑤⑥⑦⑧⑨を貼り付ける [/Words]
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47293
[UnitName]ドッキング配線_P2 (逆流れ)(001-017)[/UnitName] [WorkName]テーブル配線(P2L・P2Rテーブル)①[/WorkName] [Parts]16,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M4×8-10.9 A2J (3価),2 17,平座金,平座金 みがき丸 4 10H A2J (3価),2 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. P2L・P2Rテーブルのケーブルを架台下面に引込み引き回す 2. ①を⑯⑰で取付ける [/Words]
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47294
[UnitName]ドッキング配線_P2 (逆流れ)(001-017)[/UnitName] [WorkName]搬送ユニット配線(SDX軸)①[/WorkName] [Parts]16,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M4×8-10.9 A2J (3価),2 17,平座金,平座金 みがき丸 4 10H A2J (3価),2 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. SDX軸ケーブルを架台下面へ引込み引き回す 2. ①を⑯⑰で取付ける [/Words]
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47295
[UnitName]ドッキングユニット_AM (逆流れ)(H1工程)(001-039)[/UnitName] [WorkName]ガスケット貼付け③後面[/WorkName] [Parts]2,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=494,1 3,ガスケット,30TS 8-2(AZD5) L=490,2 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 27,アルコール・ウエス,,,1 [/Tool]
[Words]貼り付け部分のゴミ・油脂を取り除く 1. ①へ②③貼り付ける [/Words]
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47296
[UnitName]ドッキング配線_P2 (逆流れ)(001-017)[/UnitName] [WorkName]搬送ユニット配線(SP2X軸)③[/WorkName] [Parts]1,ザガネクミコミナベコネジ,ばね座金+小型丸座金組込み十字穴付きなべ小ねじ M4×8-4.8 E2U,1 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,100㎜,黒,3 28,インシュロック,150㎜,黒,3 29,+ドライバー,No.2,,1 30,トルクドライバー,No.2,120cN・m,1 31,トルクドライバー,No.2,160cN・m,1 [/Tool]
[Words]SP2X軸K4301 ■1. モーターPE端子をドライバーに締結、FG端子を架台に①で締結する SP2X軸K4301 ■3. 付属のフェライトコアをケーブルに取付ける R169のみ2ターンで取付ける XBK4301R:R169 を2ターンで取付け 2. モーター・エンコーダー線をドライバーに接続、整線する XBK4301R:R167 を1ターンで取付け X5K4301P:R168 を1ターンで取付け [/Words]
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47297
[UnitName]ドッキングユニット_AM (逆流れ)(H1工程)(001-039)[/UnitName] [WorkName]ガスケット貼付け④後面[/WorkName] [Parts]2,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=516,1 3,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=453,1 4,ガスケット,30TS 13-2(AZD5) L=808,1 6,ガスケット,30TS 8-2(AZD5) L=476,1 7,ガスケット,30TS 8-2(AZD5) L=412,1 8,ガスケット,30TS 8-2(AZD5) L=419,2 [/Parts][Tool]26,スケール,1000㎜,,1 27,アルコール・ウエス,,,1 [/Tool]
[Words]貼り付け部分のゴミ・油脂を取り除く 1. ①へ②③④⑥⑦⑧を貼り付ける カバー取付け穴間に貼り付ける 縦方向のガスケットに合わす [/Words]
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47298
[UnitName]ドッキング配線_P2 (逆流れ)(001-017)[/UnitName] [WorkName]搬送ユニット配線(SP2X軸)②[/WorkName] [Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,100㎜,,2 [/Tool]
[Words]1. P1COV中継ブラケットにケーブルコネクタを接続、整線する [/Words]
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47299