La microscopia elettronica è stata introdotta da:
Leeuwenhoek
Roberto Koch
Ruska
Paolo Ehrlich
Il primo prototipo di microscopio elettronico, capace di un ingrandimento di quattrocento ingrandimenti, fu sviluppato nel 1931 dal fisico Ernst Ruska e dall'ingegnere elettrico Max Knoll. 
L'apparato fu la prima dimostrazione pratica dei principi della microscopia elettronica.