<p><b>乙矽烷</b>（英語：<span lang="en">Disilane</span>），又稱<b>矽乙烷</b>，是一種有毒的化合物，分子式為Si<sub>2</sub>H<sub>6</sub>，在室溫下為氣態。它的性質與乙烷很類似，都是無色易燃的氣體，但是它的矽-矽鍵比乙烷的碳-碳鍵還來的弱，因此比乙烷還不穩定。乙矽烷通常是氫很好的來源，只要經過簡單的化學反應就可以得到氫。另外它也可以用來以薄膜沉積製備純矽，是半導體工業重要的特用電子級氣體之一。
</p>


<h2><span id=".E5.88.B6.E5.A4.87"></span><span id="制备">製備</span></h2>
<p>乙矽烷通常由矽化鎂的水解而成。反應會產生甲矽烷、乙矽烷、甚至丙矽烷。該方法已被放棄用於生產甲矽烷，但它仍然可以用於生產乙矽烷。痕量乙矽烷的存在是該方法產生的甲矽烷自燃的原因（類似地，二磷烷通常是磷化氫樣品中自發自燃的污染物）。
</p><p>甲矽烷通過<span data-orig-title="光化学反应" data-lang-code="en" data-lang-name="英語" data-foreign-title="photochemical reaction"><span>光化學反應</span></span>和熱分解，也可以產生乙矽烷。
</p><p>它也可以通過 Si<sub>2</sub>Cl<sub>6</sub> 和氫化鋁鋰反應而成。</p>
<h2><span id=".E5.BA.94.E7.94.A8"></span><span id="应用">應用</span></h2>
<p>甲矽烷和乙矽烷在 640 °C下分解，會沉積非晶矽。這個化學氣相沉積過程與光伏器件的製造有關。它用於生產矽晶圓。</p><p>乙矽烷氣體可用於控制 SiC 熱分解生長石墨烯過程中，Si 蒸氣的壓力。 Si蒸氣的壓力會影響生產的石墨烯的質量。</p>
<h2><span id=".E5.8F.82.E8.80.83.E8.B5.84.E6.96.99"></span><span id="参考资料">參考資料</span></h2>

<h2><span id=".E5.A4.96.E9.83.A8.E9.93.BE.E6.8E.A5"></span><span id="外部链接">外部連結</span></h2>
<ul><li>Cost-Effective Method for the Synthesis of Polysilanes</li>
<li>Disilane</li></ul><!-- 
NewPP limit report
Parsed by mw2440
Cached time: 20230505230451
Cache expiry: 1814400
Reduced expiry: false
Complications: [show‐toc]
CPU time usage: 0.425 seconds
Real time usage: 0.621 seconds
Preprocessor visited node count: 9713/1000000
Post‐expand include size: 243910/2097152 bytes
Template argument size: 45035/2097152 bytes
Highest expansion depth: 24/100
Expensive parser function count: 17/500
Unstrip recursion depth: 0/20
Unstrip post‐expand size: 6300/5000000 bytes
Lua time usage: 0.168/10.000 seconds
Lua memory usage: 19014726/52428800 bytes
Number of Wikibase entities loaded: 0/400
--><!--
Transclusion expansion time report (%,ms,calls,template)
100.00%  462.633      1 -total
 31.50%  145.722      1 Template:Chembox
 24.38%  112.812      2 Template:周期表框架
 23.95%  110.813      2 Template:Navbox
 22.65%  104.773      1 Template:硅化合物
 16.95%   78.419      1 Template:Lang-en
 15.57%   72.049     19 Template:Chem
 14.77%   68.319     19 Template:Chem/link
 13.36%   61.799      1 Template:Chembox_Identifiers
 12.97%   60.025      1 Template:Reflist
-->
**乙矽烷**（英語：Disilane），又稱**矽乙烷**，是一種有毒的化合物，分子式為 Si2H6，在室溫下為氣態。它的性質與乙烷很類似，都是無色易燃的氣體，但是它的矽 - 矽鍵比乙烷的碳 - 碳鍵還來的弱，因此比乙烷還不穩定。乙矽烷通常是氫很好的來源，只要經過簡單的化學反應就可以得到氫。另外它也可以用來以薄膜沉積製備純矽，是半導體工業重要的特用電子級氣體之一。

## 製備

乙矽烷通常由矽化鎂的水解而成。反應會產生甲矽烷、乙矽烷、甚至丙矽烷。該方法已被放棄用於生產甲矽烷，但它仍然可以用於生產乙矽烷。痕量乙矽烷的存在是該方法產生的甲矽烷自燃的原因（類似地，二磷烷通常是磷化氫樣品中自發自燃的污染物）。

甲矽烷通過光化學反應和熱分解，也可以產生乙矽烷。

它也可以通過 Si2Cl6 和氫化鋁鋰反應而成。

## 應用

甲矽烷和乙矽烷在 640 °C 下分解，會沉積非晶矽。這個化學氣相沉積過程與光伏器件的製造有關。它用於生產矽晶圓。

乙矽烷氣體可用於控制 SiC 熱分解生長石墨烯過程中，Si 蒸氣的壓力。 Si 蒸氣的壓力會影響生產的石墨烯的質量。

## 參考資料

## 外部連結

* Cost-Effective Method for the Synthesis of Polysilanes
* Disilane
1590-87-0