<p><b>六甲基環三矽氮烷</b>，簡稱<b>HMCTS</b>或<b>HMCTSZN</b>，是一種有機化合物，化學式 <span>C<span><br>6</span>H<span><br>21</span>N<span><br>3</span>Si<span><br>3</span></span> 或<span>[–Si(CH<span><br>3</span>)<span><br>2</span>–NH–]<span><br>3</span></span>。這個分子裡面有由三個矽原子和三個氮原子交替排列而成的六元環，每個矽原子都連接兩個甲基，氮原子則連接氫原子。它也可以看作是假想化合物環三矽氮烷 <span>[–SiH<span><br>2</span>–NH–]<span><br>3</span></span>的衍生物，或是假想化合物二甲基矽氮烷 <span>(CH<span><br>3</span>)<span><br>2</span>SiNH</span>的三聚體。</p><p>六甲基環三矽氮烷在室溫下是無色清澈液體。</p><p>由於其在半導體工業中的應用，六甲基環三矽氮烷作為氮化矽和碳氮化矽沉積的前體已被廣泛研究，並作為光刻膠中的添加劑。也有人建議將其作為二氧化矽的添加劑，用於色譜法。</p>


<h2><span id=".E7.BB.93.E6.9E.84"></span><span id="结构">結構</span></h2>
<p>六甲基環三矽氮烷的環幾乎是一個平面。這個分子內的鍵長為 Si-N = 1.728 Å、Si-C = 1.871 Å、C-H = 1.124 Å。它的鍵角則為 N-Si-N ≈ 108°、Si-N-Si ≈ 127°、 C-Si-C ≈ 109°、H-C-H ≈ 112°。</p>
<h2><span id=".E5.88.B6.E5.A4.87"></span><span id="制备">製備</span></h2>
<p>六甲基環三矽氮烷是在1948年由 Brewer 和 Haber 通過二甲基二氯矽烷 <span>Si(CH<span><br>3</span>)<span><br>2</span>Cl<span><br>2</span></span>和液氨 <span>NH<span><br>3</span></span>反應，然後用苯萃取沉澱首次合成的。反應會產生多種產物，主要是三聚體和四聚體八甲基環四矽氮烷。三聚體可以通過分餾與其他產物分離。</p><p>通過在合適的催化劑存在下與氫氣反應轉化四聚體，可以提高產率。</p>
<h2><span id=".E5.8F.82.E8.A7.81"></span><span id="参见">參見</span></h2>
<ul><li>三聚硫代丙酮</li></ul><h2><span id=".E5.8F.82.E8.80.83.E8.B5.84.E6.96.99"></span><span id="参考资料">參考資料</span></h2>
**六甲基環三矽氮烷**，簡稱 **HMCTS** 或 **HMCTSZN**，是一種有機化合物，化學式 C 
6H 
21N 
3Si 
3 或[–Si(CH 
3) 
2–NH–] 
3。這個分子裡面有由三個矽原子和三個氮原子交替排列而成的六元環，每個矽原子都連接兩個甲基，氮原子則連接氫原子。它也可以看作是假想化合物環三矽氮烷 [–SiH 
2–NH–] 
3 的衍生物，或是假想化合物二甲基矽氮烷 (CH 
3) 
2SiNH 的三聚體。

六甲基環三矽氮烷在室溫下是無色清澈液體。

由於其在半導體工業中的應用，六甲基環三矽氮烷作為氮化矽和碳氮化矽沉積的前體已被廣泛研究，並作為光刻膠中的添加劑。也有人建議將其作為二氧化矽的添加劑，用於色譜法。

## 結構

六甲基環三矽氮烷的環幾乎是一個平面。這個分子內的鍵長為 Si-N = 1.728 Å、Si-C = 1.871 Å、C-H = 1.124 Å。它的鍵角則為 N-Si-N ≈ 108°、Si-N-Si ≈ 127°、 C-Si-C ≈ 109°、H-C-H ≈ 112°。

## 製備

六甲基環三矽氮烷是在 1948 年由 Brewer 和 Haber 通過二甲基二氯矽烷 Si(CH 
3) 
2Cl 
2 和液氨 NH 
3 反應，然後用苯萃取沉澱首次合成的。反應會產生多種產物，主要是三聚體和四聚體八甲基環四矽氮烷。三聚體可以通過分餾與其他產物分離。

通過在合適的催化劑存在下與氫氣反應轉化四聚體，可以提高產率。

## 參見

* 三聚硫代丙酮

## 參考資料
1009-93-4