<p><b>三氟氯矽烷</b>是一種化學式為 SiClF<sub>3</sub> 的氣體。它是由矽、氟和氯組成的化合物。它是甲矽烷的氫原子被氟和氯原子代替而成。
</p><p>它可由三氟化銻和四氯化矽反應製得；六氟化二矽和氯氣反應也能得到三氟氯矽烷，但該反應會發生爆炸。</p>
<h2><span id=".E5.8F.82.E8.80.83.E8.B5.84.E6.96.99"></span><span id="参考资料">參考資料</span></h2>
**三氟氯矽烷**是一種化學式為 SiClF3 的氣體。它是由矽、氟和氯組成的化合物。它是甲矽烷的氫原子被氟和氯原子代替而成。

它可由三氟化銻和四氯化矽反應製得；六氟化二矽和氯氣反應也能得到三氟氯矽烷，但該反應會發生爆炸。

## 參考資料
14049-36-6