<p><b>氟三氯矽烷</b>是一種無機化合物，化學式為SiCl<sub>3</sub>F。它可由四氯化矽和三氟化銻在五氯化銻或氯氣的催化下反應得到，該反應也會產生矽的其它氟氯化物；四氯化矽和氟化銨長時間回流，也有氟三氯矽烷生成，反應的另一產物是四氟化矽。它可以和二甲胺反應，得到三(二甲氨基)氟化矽。</p>
<h2><span id=".E5.8F.82.E8.80.83.E6.96.87.E7.8C.AE"></span><span id="参考文献">參考文獻</span></h2>
**氟三氯矽烷**是一種無機化合物，化學式為 SiCl3F。它可由四氯化矽和三氟化銻在五氯化銻或氯氣的催化下反應得到，該反應也會產生矽的其它氟氯化物；四氯化矽和氟化銨長時間回流，也有氟三氯矽烷生成，反應的另一產物是四氟化矽。它可以和二甲胺反應，得到三 (二甲氨基) 氟化矽。

## 參考文獻
14965-52-7