Phản ứng hóa học để sản xuất SiC từ silica (SiO2) và cacbon được viết là: Beta-SiC được tổng hợp thông qua chất trung gian SiO (g) ở thể khí với các phản ứng sau đây là quan trọng nhất: SiO (g) ban đầu được tạo thành khi tiếp xúc điểm của cacbon và silica, theo phản ứng (2).