Công nghệ MEMS là gì? Hệ thống cơ điện vi mô, hay MEMS, là một công nghệ mà ở dạng tổng quát nhất của nó có thể được định nghĩa là các phần tử cơ điện và cơ điện thu nhỏ (tức là các thiết bị và cấu trúc) được tạo ra bằng cách sử dụng các kỹ thuật chế tạo vi mô.