Trong khuyết tật kẽ, nguyên tử chiếm không gian kẽ của cấu trúc mạng tinh thể rắn. Trong khiếm khuyết thay thế, nguyên tử ngoại lai chỉ chiếm vị trí mạng tinh thể của chất rắn kết tinh. Khuyết tật kẽ có thể xảy ra bởi các nguyên tử của cùng một chất rắn (gọi là tự kẽ) hoặc vật liệu lạ. Sự thay thế khiếm khuyết luôn do các nguyên tử ngoại lai gây ra.