Các khí quý (được sắp xếp theo thứ tự khối lượng nguyên tử tăng dần) là heli, neon, argon, krypton, xenon và radon. Heli, neon và argon là ba khí quý có khối lượng nguyên tử thấp nhất. Heli, Neon, Argon. Heli, neon và argon là ba thành phần nhẹ nhất trong các khí quý. Hydro là nguyên tố nhẹ nhất trong tất cả các nguyên tố. Theo Bảng tuần hoàn, trọng lượng nguyên tử của nó là 1,00794 u, thậm chí còn nhẹ hơn cả heli.