Nút chế tạo thiết bị bán dẫn 14 nanomet (14 nm) là nút công nghệ sau nút 22 nm / (20 nm). Việc đặt tên cho nút công nghệ này là 14 nm xuất phát từ Lộ trình công nghệ quốc tế về chất bán dẫn (ITRS). 14 đầu tiên Các thiết bị quy mô nm đã được Intel giao cho người tiêu dùng vào năm 2014, ngoài ra, các tác động hóa học của bức xạ ion hóa cũng giới hạn độ phân giải đáng tin cậy ở khoảng 30 nm, điều này cũng có thể đạt được bằng cách sử dụng kỹ thuật in thạch bản nhúng hiện đại. Vật liệu mặt nạ cứng và nhiều hoa văn là bắt buộc.