Dalam cacat interstisial, atom menempati ruang interstisial dari struktur kisi kristal padat. Dalam Cacat Substitusional, atom asing hanya menempati lokasi kisi dari padatan kristal. Cacat interstisial dapat terjadi oleh atom-atom dari padatan yang sama (disebut self-interstitial) atau bahan asing. Cacat substitusi selalu disebabkan oleh atom asing.