Oksidasi termal dari berbagai jenis menghasilkan oksida berkualitas lebih tinggi, dengan antarmuka yang jauh lebih bersih, daripada deposisi uap kimia oksida yang menghasilkan lapisan Oksida Suhu Rendah (reaksi TEOS pada sekitar 600 Ãƒâ€šÃ‚Â°C). Namun, suhu tinggi yang dibutuhkan untuk menghasilkan High Temperature Oxide (HTO) membatasi kegunaannya.