Spektrum XPS untuk permukaan ini, bagaimanapun, hampir sama. Ini dengan jelas menunjukkan bahwa terlepas dari dosis oksigen, komposisi daerah permukaan adalah sama pada suhu ini. Permukaan Mo(lOO) yang teroksidasi pada 713 K (Gbr. 5c) memiliki intensitas yang lebih besar di wilayah di atas 230 eV.