그 최초의 형태는 제2차세계대전의 전범을 처리하기 위한 극동군사법원과 뉘른 베르크군사법원으로 본다. 이 법원들 이전에도 전쟁범죄를 규정하고 이를 국제법정에서 전범을 처벌하고자 하는 시도가 있었으나 전범 인도가 거부 된다던지 국제질서 안정을 우선시하는 것으로 인하여 사법적처리가 흐지부지 되었다. 이 두개의 법원에서는 패전국 행위자들에 대하여 반인도범죄 및 전쟁범죄를 다루었고 전범들을 처벌함으로써 개인의 국제형사책임에 관하여 개념을 정립하는 계기가 되었다. 이 이후 1990년대 광범위한 인종청소 학살행위가 발발함에 따라, 인권범죄의 해결을 위한 구유고형사법원(ICTY)과 르완다형사법원(ICTR)이 특별 국제형사법원으로서 설치되어 해당국에 있었던 범죄행위의 형사책임을 묻는 역할을 수행하였다. 이들 법원은 유엔안보리의 권한으로서 설립되었다. 또한 코소보특별재판부, 캄보디아 특별법원(ECCC), 시에라리온 특별법원(SCSL), 동티모르 임시인권법원등에서는 국내법원의 성격과 국제법원의 성격을 함께 갖는 혼합법정이 설치되어 중대한 인권범죄에 대한 사법처리를 담당하였다.
어떤 법원이 극동군사법원 처럼 개인의 국제형사책임에 관한 이념을 세워지게 하는 되었지
베르크군사법원