팔방미인‘플라즈마’가 뜨고 있다. - 응용분야가 무궁한 플라즈마 관련 특허 출원 증가 -
□ 특허청에 따르면, 플라즈마 관련 특허출원은 2012년 15건에 불과하던 것이 2016년 165건으로 증가하여 최근 5년(2012~2016)간 급격한 증가세를 보이고 있다.
∘ 플라즈마 특허출원의 출원인은 내국인의 경우 2013년까지는 출원이 없다가 2014년 3건에서 2016년 108건으로 매년 60% 이상의 증가세를보여주고 있고, 내국인 중에서는 산업체가 78%를 차지하고 있다.
∘ 구체적인 기술 분야를 살펴보면 반도체 생산을 위한 반도체 표면공정과 같은 표면 처리용 플라즈마 처리장치가 2012년 4건에서 2014년 28건, 2016년 136건으로 급증하여, 최근 5년간 플라즈마 출원 기술 분야의 대부분인 72%를 차지하고 있다.
□ 고체 상태의 물질이 에너지를 받으면 액체로 그리고 다시 기체로 변화하며, 기체에 더 큰 에너지를 가하면 원자핵과 전자로 나뉘어져 이온화된 상태가 되는데 이를 플라즈마라고 한다. 결국 플라즈마는전기적 성질을 띤 전자, 이온 그리고 중성 입자로 구성되어 있어서, 전기장과 자기장에 의한 제어가 가능하기 때문에 다양한 분야에 응용될 수 있다.
□ 플라즈마를 이용한 표면처리 기술은 기체 상태의 입자를 기판이나 물건의 표면에 쏘아 절연막 또는 전도성 막 등의 얇은 막을 형성하는 기술로, 종래의 증착 방식에 비하여 낮은 온도에서의 작업이 가능하고, 막의 두께를 균일하게 조절할 수 있으며, 보다 세밀하게의도하는 형태로 만들 수 있다. 따라서 플라즈마 기술을 표면처리에 적용하면 대량 처리가 가능하고, 독성이 강한 액체 화학약품을 사용하지 않아 공해유발 공정이나 난공정 등을 대체할 수 있는 환경 친화적인기술이라는 큰 장점을 가지고 있다.
팔방미인 ‘플라즈마’가 뜨고 있다.
몇 년도까지 플라즈마 특허출원이 한국에서는 이루어지지 않았니
2013