지구온난화물질, 고온 열분해 기술로 제거 
□ 한국환경산업기술원(원장 김상일)은 세이브기술(주)의 “대용량 육불화황(SF6) 및 불화가스 고효율 직화 열분해기술”을 녹색기술로 인증하였다고 밝혔다.
□ 육불화황은 반도체, LCD 공정 등에서 배출되는 지구온난화물질로, 지구온난화에 미치는 영향이 이산화탄소의 23,900배(동일량 기준)에 이른다. 그러나 동 물질에 대한 배출허용기준이 정해져 있지 않아 대부분 별도 처리 없이 대기 중으로 방출되어 왔다.
□ 이번에 녹색기술로 인증된 세이브기술(주)의 기술은 1250℃~1350℃의 고온의 반응기 내에서 육불화황을 열분해한 후 급속냉각하여 제거하는 기술로,
○ 다이옥신과 같은 2차 오염물질 생성 우려가 없으며, 대용량(30㎥/min이상)의 육불화황 처리가 가능할 뿐만 아니라, 온도 조건에 따라 95% 이상의 육불화황 제거가 가능한 것이 특징이다.
지구온난화물질, 고온 열분해 기술로 제거
반도체, LCD공정 등에서 배출되는 지구온난화물질은 무엇이야
육불화황