「대한민국 엔지니어상」8월 수상자 선정 - SK하이닉스(주) 김승환 기장 / (주)서린메디케어 김병철 대표이사 -
□ 대한민국 엔지니어상 8월 수상자로 SK하이닉스(주) *** 기장과 (주)서린메디케어 김병철 대표이사를 선정했다고 과학기술정보통신부(장관 유영민)와 한국산업기술진흥협회(회장 박용현)는 밝혔다.
□ 먼저, 대기업 수상자인 *** 기장은 반도체 제작 공정인 디퓨전(Diffusion) 공정*분야에서 웨이퍼에 가스 공급이 적어 Cap Leak Fail**이 발생하는 문제점을 해결할 수 있는 2LDS 시스템***을 세계 최초로 개발･상용화하여 우리나라 반도체 산업 발전에 기여한 공로가 인정되어 수상자로 선정되었다.
* Diffusion 공정 : 고온 저압 상태에서 가스를 화학반응시켜 웨이퍼에 실리콘막을 밀착시키는 공정
** Cap Leak Fail : Dram 소자의 전하 저장 공간인 캐패시터의 성능 저하
*** 2LDS(Liquid Delivery System) 시스템 : 액체를 기화시킨 가스를 챔버에직접 공급하는 Dual Flow 시스템
ㅇ 기존 ARS System* 은 가스 공급장치에서 가열‧기화시킨 가스를 배관으로 챔버에 공급하는 방식으로써 반도체 공정이 미세공정으로 진화할수록 웨이퍼에 충분한 가스가 공급되지 못해 성능저하로 이어지는 문제를 안고 있다. 이에 김승환 기장은 가스를 직접공급하는 방식의 2LDS 설비를 개발하고 양산‧적용하였고, 잉여장비를 재활용하여 적용함으로써 264억원의 비용절감을 달성하였다.
* ARS(Auto Refill System) : Gas 용기에서 가열을 통해 기화된 Gas를 챔버로공급하는 Gas 공급장치
대한민국 엔지니어상 8월 수상자
어느 기업 소속의 사람이 대한민국 엔지니어상 8월 대기업 부문을 수상 받았을까
SK하이닉스