「대한민국 엔지니어상」10월 수상자 선정 - 엘지전자(주) *** 연구위원 / (주)신코 *** 상무 -
ㅇ 기존 LCD용 컬러필터 노광기는 전량 해외에서 수입해서 사용하였는데, 대면적의 고생산성 LCD 수요가 증가하면서 이에 대응하기 위한 대형 정밀 얼라인 스테이지*와 고조도 조명광학계** 관련기술 개발이 시급한 상황에 놓였다. 이에 *** 연구위원은 고속의 대형 정밀 얼라인 스테이지를 자체 개발하고 수입장비 대비 20% 향상된 고조도의 조명광학계를 적용한 노광기를 국산화하여 해외 기술 의존에서 완전히 벗어날 수 있도록 하였다.
* 대형 정밀 얼라인 스테이지 : 2M이상의 LCD Glass와 포토마스크를 1㎛이하로 정밀하게 위치를 조정(Align)하는 구동장치
** 고조도 조명광학계 : 고출력의 빛에너지를 생성할 수 있는 광학의 반사, 굴절 등의 현상을 이용하여 물체의 상을 만드는 장치
ㅇ 또한 지속적인 기술 개발을 통해 기존 노광기*에서 사용하는 포토마스크를 사용하지 않고 TFT 기판에 원하는 패턴을 노광하는 Maskless 노광기를 세계 최초로 개발하여 향후 TFT용 노광기술발전에 크게 기여를 하였다.
* 기존 TFT용 노광기는 포토마스크를 사용하여 노광을 하며 전량 일본업체(캐논, 니콘)에서 도입
대한민국 엔지니어상 10월 수상자
기존 TFT용 노광기가 무엇을 사용하여 노광을 하지
포토마스크