「대한민국 엔지니어상」6월 수상자 선정- 희성촉매(주) *** 부사장, (주)테키스트 *** 부장 -
□ 중소기업 수상자인 *** 부장은 단계․구간별로 온도 제어가 가능한 새로운 개념의 반도체 제조공정용 온도조절장치(칠러)를 개발하여 반도체 제조장비 산업 성장에 기여한 공로를 인정받아 선정되었다.
* (칠러, Chiller) 반도체 제조공정 중 주로 식각(Etching) 공정에서 사용되는 장비내의 온도조건을 안정적으로 제어하는 온도 조절장치
ㅇ 그동안 해외 선진기술 도입을 위한 여러 시도에도 불구하고 한계에 봉착한 *** 부장은 열전소자를 이용한 온도조절장치(칠러) 연구에 매진하여 조절 가능 온도 범위 확대, 성능 및 내구성 향상, 소형화 등 차별화된 장치를 자체개발하고 국산화에 성공하였다. 이로써 수입 대체효과, 매출 증대 등 관련 공정장비 기업의 성장과 함께 우리나라 반도체 산업의 경쟁력 강화에 기여하였다.
* (열전소자) 전류를 흘리면 한쪽 접점은 발열하여 온도가 상승하고 다른 접점에서는 흡열하여 온도가 낮아지는 현상을 이용하여 만든 반도체 소자
ㅇ *** 부장은 “함께 노력한 동료들과 연구개발 및 특허등록을 적극 지원해 준 회사에 감사드리며, 세계 최고수준의 기술력을 확보하고 글로벌 시장으로 진출할 수 있도록 차별화된 기술 개발을 위해 꾸준히 노력할 것”이라고 수상 소감을 밝혔다.
대한민국 엔지니어상 6월 수상자 선정
반도체 제조공정 중 식각 장비 내의 무엇을 안정적으로 조절하는 장치가 칠러야
온도조건