「대한민국 엔지니어상」3월 수상자 선정- SK하이닉스(주) *** 수석 / (주)씰앤팩 *** 대표이사 -
□ 대한민국 엔지니어상 3월 수상자로 SK하이닉스㈜ *** 수석과 ㈜씰앤팩 *** 대표이사를 선정했다고 과학기술정보통신부(장관 유영민)와 한국산업기술진흥협회(회장 ***)는 밝혔다.
□ 먼저, *** 수석은 반도체 미세 패턴의 정확한 배열을 위한 오류 제어 방법을 개발하여 우리나라 반도체 산업 성장에 기여한 공로가 인정되어 수상자로 선정되었다.
ㅇ 최근 몇 년 사이 DRAM(Dynamic Random Access Memory) 반도체의 회로 선폭이 20nm대 이하 수준으로 미세화가 진행되면서 오버레이*측정 결과와 소자의 오버레이 사이에 수 나노의 불규칙한 차이가 존재함이 밝혀졌고, 이로 인해 수율과 생산성에 어려움이 발생했다.
* 오버레이 : 레이어 간 적층 위치 오차
ㅇ 이에 *** 수석은 오차 수준을 개선하는 자동 보정시스템을 개발 하여 20nm대와 10nm 후반 DRAM 제품의 수율 개선과 생산성 향상을 이루어냈다.
ㅇ *** 수석은 “무엇보다 개발에 집중하느라 아내와 어린 자녀와 많은 시간을 보내지 못한 점을 미안하게 생각하며, 새로운 도전에 함께한 모든 구성원에게 감사를 전하고, 앞으로 대한민국의 반도체 산업이 국가의 기반산업으로 지속 발전할 수 있도록 노력할 것” 이라는 수상 소감을 밝혔다.
대한민국 엔지니어상 3월 수상자 선정
3월 대한민국 엔지니어 상으로 반도체 미세패턴의 공로상은 무엇으로 받았어
자동 보정시스템