2차원 전자소자의 성능을 극대화한 기술 개발 - 자기조립 단분자막 이용, 2차원 나노반도체에 기존 대비 10배 낮은 농도의 p형 도핑 기술 -
□ 연구팀은 종이처럼 매우 얇은 2차원 나노반도체의 결정성을 해치지않고 농도를 조절할 수 있는 자기조립 단분자막으로 간단하게 기존 기술 대비 10배 낮은 농도의 p형 도핑기술을 개발했다.
o 연구팀은 양전하를 띠는 자기조립 단분자막(OTS)을 선택해 증착한 후 아래에 놓인 반도체의 전자를 끌어당겨 전자의 농도를 조절하는 원리를 이용해 제곱 센티미터(㎠) 면적당 천억 개(10의 11승) 이하로 정공 농도를 조절하였다.
o 이것은 기존의 제곱 센티미터(㎠) 면적당 1조 개(10의 12승) 이상의 농도로 도핑했던 것에 비해 정밀도 조절이 크게 향상되었다. 또한 대기 중에 오랜 시간(60시간)이 지나도 성능 저하(전자소자를 작동하는 최소전압이 약 18~34%로, 기존 기술은 70%에 달함)가 적고, 가열하면 저하된 도핑 성능이 다시 회복되는 특징을 보였다.
2차원 전자소자의 성능을 극대화한 기술개발
자기조립 단분자막은 종이처럼 매우 얇은 2차원 나노반도체의 무엇을 해치지 않고 농도를 조절할 수 있지
결정성