투명 디스플레이 스위치 소자 안정화 핵심기술 개발 나노 필터를 활용하여 유해 파장의 빛을 차단, 투명 디스플레이 적용 기대
□ 비정질 금속-산화물 반도체는 높은 전자이동도와 기존 공정과의 유사성으로 차세대 디스플레이 소자의 핵심소재로 주목받지만 빛과 전기적 스트레스에 취약해 응용에 한계가 있었다.
o 외부 빛 등에 반응하여 반도체 내부에서 자유전자 생성 등이 발생, 특성이 변해버리는 것이 문제였다. 이를 극복하기 위한 기존의 산소 플라즈마 처리 방식은 안정성 확보가 아직 미흡한 상황이며, 금속 차단막 적용 방식*은 투과도가 손실되는 한계가 있었다.
* 반도체 보호를 위해 빛을 차폐하는 금속막, 디스플레이 패널 픽셀에 보이는 미세한 검은 점이 차단막
투명 디스플레이 스위치 소자 안정화 핵심기술 개발
비정질 금속 산화물 반도체는 무엇에 취약해 응용에 한계가 있어
빛과 전기적 스트레스