테라헤르츠파를 1억배 증폭하는 나노수준 기술 개발 네이처 커뮤니케이션즈 발표, 테라헤르츠파를 집속하는 1나노미터 갭(gap) 배열구조 제작
□ 테라헤르츠파는 분자간 진동주파수와 같은 주파수대에 있기 때문에 비파괴검사를 위한 광원으로 주목받고 있다.
o 하지만, 테라헤르츠파는 파장이 밀리미터 크기로 파장보다 매우 작은 영역인 극소량 분자의 초정밀 검출이나 나노공정 등에 응용하기 위해서는 테라헤르츠파를 좁은 영역 안에 강하게 집속해야 하는데, 이런 역할을 수행하는 나노미터 수준의 구조를 제작하는 것이 관건이었다.
□ 연구팀은 지난해 11월 수십 나노미터 크기의 갭에서 테라헤르츠파가 증폭됨을 관측하고, 증폭된 테라헤르츠파를 이용하여 극소량의 폭발물을 검출하는데 성공하였으며 이를 학술지에 보고한 바 있다.
o 이번 연구에서는 갭의 크기를 줄이고 테라헤르츠파 빔 크기에 맞게 나노 갭들을 수 ㎟ 면적만큼 반복 배열하여, 4인치의 웨이퍼에 대면적으로 1나노미터 갭* 배열구조를 만들었다. 
* 1나노미터 갭 : 금속 등 빛을 차폐하는 물질 사이에 빛을 투과시키는 공기층이나 유전체를 1nm 두께로 위치시켜 만든 틈새로, 나노구조에 의한 빛의 투과나 회절현상 관측에 유용
o 격자 모양으로 패턴된 금속표면에 테라헤르츠파가 투과할 수 있는 1nm 두께의 얇은 막을 증착시킨 후, 그 위에 다시 금속을 증착하고 접착 테이프를 이용해 나중에 증착된 금속층만을 떼어냄으로써, 투과를 차단하는 금속층과 투과층이 번갈아 가면서 나타나도록 제작했다.
테라헤르츠파를 1억배 증폭하는 나노수준 기술 개발
비파괴검사를 위한 광원으로 주목받는 테라헤르츠파와 같은 주파수 대에 있는 주파수는 뭐야
분자간 진동주파수