sentence2: Extrémní UV litografie (EUV) je forma optické litografie využívající ultrakrátké vlnové délky (13,5 nm).
sentence1: في حين تمثل الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية الشديدة (بالإنجليزية: Extreme ultraviolet lithography) إحدى صور الطباعة الحجرية البصرية باستخدام أطوال الموجات فوق القصيرة (والتي تصل إلى 13.5 نانومتر).