Так продолжается до тех пор, пока нужная глубина травления не будет достигнута и после этого фоторезист смывается.
1	Так	так	ADV	RB	Degree=Pos	2	advmod	_	_
2	продолжается	продолжаться	VERB	VBC	Aspect=Imp|Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|Voice=Mid	0	root	_	_
3	до	до	ADP	IN	_	5	case	_	_
4	тех	тот	DET	DT	Case=Gen|Number=Plur	5	det	_	_
5	пор	пора	NOUN	NN	Animacy=Inan|Case=Gen|Gender=Fem|Number=Plur	2	obl	_	SpaceAfter=No
6	,	,	PUNCT	,	_	13	punct	_	_
7	пока	пока	SCONJ	IN	_	13	mark	_	_
8	нужная	нужный	ADJ	JJL	Case=Nom|Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	9	amod	_	_
9	глубина	глубина	NOUN	NN	Animacy=Inan|Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing	13	nsubj:pass	_	_
10	травления	травление	NOUN	NN	Animacy=Inan|Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing	9	nmod	_	_
11	не	не	PART	NEG	Polarity=Neg	13	advmod	_	_
12	будет	быть	AUX	VBC	Aspect=Imp|Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Fut|VerbForm=Fin	13	aux:pass	_	_
13	достигнута	достигнуть	VERB	VBNH	Animacy=Inan|Aspect=Perf|Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|Tense=Past|Variant=Short|VerbForm=Part|Voice=Pass	2	advcl	_	_
14	и	и	CCONJ	CC	_	18	cc	_	_
15	после	после	ADV	RB	Degree=Pos	16	case	_	_
16	этого	это	PRON	DT	Animacy=Inan|Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing	18	obl	_	_
17	фоторезист	фоторезист	NOUN	NN	Animacy=Inan|Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing	18	nsubj	_	_
18	смывается	смываться	VERB	VBC	Aspect=Imp|Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|Voice=Mid	2	conj	_	SpaceAfter=No
19	.	.	PUNCT	.	_	2	punct	_	_
