Weiterhin stößt die optische Lithografie der herkömmlichen Transistoren bei nebeneinanderleigenden Strukturen allmählich an ihre Grenzen .
1	Weiterhin	Weiterhin	ADV	ADV	_	2	advmod	_	_
2	stößt	stoßen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
4	optische	optisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	5	amod	_	_
5	Lithografie	unknown	NOUN	NN	Person=3	2	nsubj	_	_
6	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	8	det	_	_
7	herkömmlichen	herkömmlich	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	8	amod	_	_
8	Transistoren	Transistor	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	5	nmod	_	_
9	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
10	nebeneinanderleigenden	nebeneinanderleigenden	ADJ	ADJA	_	11	amod	_	_
11	Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	2	obl	_	_
12	allmählich	allmählich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	2	advmod	_	_
13	an	an	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	15	case	_	_
14	ihre	sein	PRON	PPOSAT	Case=Acc|Number=Plur|Person=3|Poss=Yes|PronType=Prs	15	det	_	_
15	Grenzen	Grenze	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	2	obl	_	_
16	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
