Das Zusammenspiel von DLC und Ionenstrahl garantiert bei dem neuen Verfahren , dass die Fehler- und Ausschussquote in der Flüssigkristallanzeigen-Produktion entscheidend gesenkt werden könnte .
1	Das	Das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Zusammenspiel	Spiel	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	7	nsubj	_	_
3	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
4	DLC	DLC	PROPN	NE	Person=3	2	nmod	_	_
5	und	und	CCONJ	KON	_	6	cc	_	_
6	Ionenstrahl	Strahl	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	4	conj	_	_
7	garantiert	garantieren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
8	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
9	dem	dem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	11	det	_	_
10	neuen	neu	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	11	amod	_	_
11	Verfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	7	obl	_	_
12	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	22	punct	_	_
13	dass	dass	SCONJ	KOUS	_	22	mark	_	_
14	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	15	det	_	_
15	Fehler-	Fehler-	NOUN	TRUNC	Hyph=Yes	22	nsubj:pass	_	_
16	und	und	CCONJ	KON	_	17	cc	_	_
17	Ausschussquote	Quote	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	15	conj	_	_
18	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	20	case	_	_
19	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	20	det	_	_
20	Flüssigkristallanzeigen-Produktion	Produktion	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	17	nmod	_	_
21	entscheidend	entscheiden	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	22	advmod	_	_
22	gesenkt	senken	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	7	ccomp	_	_
23	werden	werden	AUX	VAINF	VerbForm=Inf	22	aux:pass	_	_
24	könnte	können	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	22	aux	_	_
25	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	7	punct	_	_
