Ultrareines Wasser , mit denen die Chips gesäubert wurden , löst aus der Oberfläche von Halbleitern aus Silizium oder Germanium einzelne Silizium- oder Germaniumoxid-Moleküle , die dann als Kristalle um die Bakterien wachsen können .
1	Ultrareines	Ultrareines	ADJ	ADJA	Gender=Neut|Number=Sing	2	amod	_	_
2	Wasser	Wasser	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	11	nsubj	_	_
3	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	8	punct	_	_
4	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
5	denen	denen	PRON	PRELS	Case=Dat|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	8	obl	_	_
6	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	7	det	_	_
7	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	8	nsubj:pass	_	_
8	gesäubert	säubern	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	2	acl	_	_
9	wurden	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	8	aux:pass	_	_
10	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	8	punct	_	_
11	löst	lösen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
12	aus	aus	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
13	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
14	Oberfläche	Oberfläche	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	11	obl	_	_
15	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
16	Halbleitern	Halbleiter	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	14	nmod	_	_
17	aus	aus	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
18	Silizium	Silizium	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	16	nmod	_	_
19	oder	oder	CCONJ	KON	_	20	cc	_	_
20	Germanium	unknown	NOUN	NN	Person=3	18	conj	_	_
21	einzelne	einzeln	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	22	amod	_	_
22	Silizium-	Silizium-	NOUN	TRUNC	Hyph=Yes	11	obj	_	_
23	oder	oder	CCONJ	KON	_	24	cc	_	_
24	Germaniumoxid-Moleküle	Molekül	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	22	conj	_	_
25	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	33	punct	_	_
26	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	33	nsubj	_	_
27	dann	dann	ADV	ADV	_	33	advmod	_	_
28	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	29	case	_	_
29	Kristalle	Kristall	NOUN	NN	Case=Dat|Number=Sing|Person=3	33	obl	_	_
30	um	um	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	32	case	_	_
31	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	32	det	_	_
32	Bakterien	Bakterie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	33	obl	_	_
33	wachsen	wachsen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	24	acl	_	_
34	können	können	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	33	aux	_	_
35	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	11	punct	_	_
