Mit den neuesten Herstellungstechniken haben Miller und Kollegen die Grundkomponenten eines Chips hergestellt , bei dem die Isolation aus Siliziumoxid zwischen zwei leitenden Siliziumschichten nur noch fünf Atome " dick " ist .
1	Mit	Mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
2	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	4	det	_	_
3	neuesten	neu	ADJ	ADJA	Degree=Sup|Number=Plur	4	amod	_	_
4	Herstellungstechniken	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	13	obl	_	_
5	haben	haben	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	13	aux	_	_
6	Miller	Miller	PROPN	NE	Number=Sing|Person=3	13	nsubj	_	_
7	und	und	CCONJ	KON	_	8	cc	_	_
8	Kollegen	Kollege	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	6	conj	_	_
9	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	10	det	_	_
10	Grundkomponenten	Komponente	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	13	obj	_	_
11	eines	eines	DET	ART	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	12	det	_	_
12	Chips	Chip	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	10	nmod	_	_
13	hergestellt	herstellen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
14	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	30	punct	_	_
15	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
16	dem	dem	PRON	PRELS	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	30	obl	_	_
17	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	18	det	_	_
18	Isolation	Isolation	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	30	nsubj	_	_
19	aus	aus	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	20	case	_	_
20	Siliziumoxid	Oxid	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	18	nmod	_	_
21	zwischen	zwischen	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	24	case	_	_
22	zwei	zwei	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	24	nummod	_	_
23	leitenden	leiten	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	24	amod	_	_
24	Siliziumschichten	Schicht	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	18	nmod	_	_
25	nur	nur	ADV	ADV	_	27	advmod	_	_
26	noch	noch	ADV	ADV	_	27	advmod	_	_
27	fünf	fünf	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	28	nummod	_	_
28	Atome	Atom	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	30	obl	_	_
29	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	30	punct	_	_
30	dick	dick	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	12	acl	_	_
31	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	30	punct	_	_
32	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	30	cop	_	_
33	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	13	punct	_	_
