Während man mit den jetzt eingesetzten 0,25-µm-Prozessen bereits mehr als neun Millionen Transistorfunktionen auf einem Chip unterbringt , lassen sich mit 0,21 µm und 0,18 µm kleinen Strukturen bis zu 15 Millionen Transistoren integrieren .
1	Während	Während	SCONJ	KOUS	_	17	mark	_	_
2	man	man	PRON	PIS	Case=Nom|Number=Sing|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	17	nsubj	_	_
3	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	7	case	_	_
4	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	7	det	_	_
5	jetzt	jetzt	ADV	ADV	_	6	advmod	_	_
6	eingesetzten	einsetzen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	7	amod	_	_
7	0,25-µm-Prozessen	Prozeß	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	17	obl	_	_
8	bereits	bereits	ADV	ADV	_	17	advmod	_	_
9	mehr	mehr	ADV	ADV	Degree=Cmp	11	advmod	_	_
10	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	9	case	_	_
11	neun	neun	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	12	nummod	_	_
12	Millionen	Million	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	13	nummod	_	_
13	Transistorfunktionen	Funktion	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	17	obj	_	_
14	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
15	einem	einem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	16	det	_	_
16	Chip	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	13	nmod	_	_
17	unterbringt	unterbringen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	19	advcl	_	_
18	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	17	punct	_	_
19	lassen	lassen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
20	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	19	obj	_	_
21	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	28	case	_	_
22	0,21	0,21	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	23	nummod	_	_
23	µm	µm	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	27	obl	_	_
24	und	und	CCONJ	KON	_	26	cc	_	_
25	0,18	0,18	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	26	nummod	_	_
26	µm	µm	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	23	conj	_	_
27	kleinen	klein	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	28	amod	_	_
28	Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	34	obl	_	_
29	bis	bis	ADP	APPR	AdpType=Prep	30	case	_	_
30	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	31	nmod	_	_
31	15	15	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	32	nummod	_	_
32	Millionen	Million	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	33	nummod	_	_
33	Transistoren	Transistor	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	19	nsubj	_	_
34	integrieren	integrieren	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	19	xcomp	_	_
35	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	19	punct	_	_
