Der wieder in 0,18 µm gefertigte Chip ist voraussichtlich nicht wesentlich höher getaktet als der Vorgänger .
1	Der	Der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	7	det	_	_
2	wieder	wieder	ADV	ADV	_	6	advmod	_	_
3	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
4	0,18	0,18	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	5	nummod	_	_
5	µm	µm	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	6	obl	_	_
6	gefertigte	fertigen	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	7	amod	_	_
7	Chip	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	13	nsubj:pass	_	_
8	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	13	aux:pass	_	_
9	voraussichtlich	voraussichtlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	13	advmod	_	_
10	nicht	nicht	PART	PTKNEG	Polarity=Neg	13	advmod	_	_
11	wesentlich	wesentlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	12	advmod	_	_
12	höher	hoch	ADJ	ADJD	Degree=Cmp|Variant=Short	13	advmod	_	_
13	getaktet	takten	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
14	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	16	case	_	_
15	der	der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	16	det	_	_
16	Vorgänger	Vorgänger	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	13	obl	_	_
17	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	13	punct	_	_
