Mit allen möglichen Mitteln hatten die Wissenschaftler versucht , bestimmte hartnäckige Bakterien aus einer Chipfertigungsanlage zu entfernen .
1	Mit	Mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
2	allen	all	DET	PIDAT	Case=Dat|Number=Plur|Person=3	4	det	_	_
3	möglichen	möglich	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	4	amod	_	_
4	Mitteln	Mittel	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	8	obl	_	_
5	hatten	haben	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	8	aux	_	_
6	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	7	det	_	_
7	Wissenschaftler	Wissenschaftler	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	8	nsubj	_	_
8	versucht	versuchen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
9	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	17	punct	_	_
10	bestimmte	bestimmen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	12	amod	_	_
11	hartnäckige	hartnäckig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	12	amod	_	_
12	Bakterien	Bakterie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	17	obj	_	_
13	aus	aus	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	15	case	_	_
14	einer	einer	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	15	det	_	_
15	Chipfertigungsanlage	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	17	obl	_	_
16	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	17	mark	_	_
17	entfernen	entfernen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	8	xcomp	_	_
18	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	8	punct	_	_
