Genau dadurch aber wurden sie zugleich zu lebendigen Halbleitern .
1	Genau	Genau	ADV	ADV	_	2	advmod	_	_
2	dadurch	dadurch	ADV	PROAV	_	4	advmod	_	_
3	aber	aber	ADV	ADV	_	4	advmod	_	_
4	wurden	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
5	sie	sie	PRON	PPER	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Prs	4	nsubj	_	_
6	zugleich	zugleich	ADV	ADV	_	4	advmod	_	_
7	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
8	lebendigen	lebendig	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	9	amod	_	_
9	Halbleitern	Halbleiter	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	4	obl	_	_
10	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	4	punct	_	_
