Dann nämlich werde es nicht mehr möglich sein , noch kleinere funktionsfähige Schaltkreise mit Silizium herzustellen .
1	Dann	Dann	ADV	ADV	_	7	advmod	_	_
2	nämlich	nämlich	ADV	ADV	_	7	advmod	_	_
3	werde	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	7	aux	_	_
4	es	es	PRON	PPER	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Prs	7	expl	_	_
5	nicht	nicht	PART	PTKNEG	Polarity=Neg	7	advmod	_	_
6	mehr	mehr	ADV	ADV	_	5	advmod	_	_
7	möglich	möglich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	0	root	_	_
8	sein	sein	AUX	VAINF	VerbForm=Inf	7	cop	_	_
9	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	16	punct	_	_
10	noch	noch	ADV	ADV	_	11	advmod	_	_
11	kleinere	klein	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Number=Plur	13	amod	_	_
12	funktionsfähige	funktionsfähig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	13	amod	_	_
13	Schaltkreise	Kreis	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	16	obj	_	_
14	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	15	case	_	_
15	Silizium	Silizium	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	13	nmod	_	_
16	herzustellen	herstellen	VERB	VVIZU	VerbForm=Inf	7	csubj	_	_
17	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	7	punct	_	_
