Um den Wirkungsgrad der verwendeten Solarmodule auf einfache Weise zu erhöhen , formten die Freiburger Forscher mit einer speziellen Ätzlösung eine Oberflächenstruktur , die nicht glatt , sondern mit Mikropyramiden übersät ist .
1	Um	Um	SCONJ	KOUI	_	11	mark	_	_
2	den	den	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	Wirkungsgrad	Wirkungsgrad	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	11	obj	_	_
4	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	6	det	_	_
5	verwendeten	verwenden	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	6	amod	_	_
6	Solarmodule	Modul	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	3	nmod	_	_
7	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	9	case	_	_
8	einfache	einfach	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	9	amod	_	_
9	Weise	Weis	NOUN	NN	Number=Plur|Person=3	11	obl	_	_
10	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	11	mark	_	_
11	erhöhen	erhöhen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	13	advcl	_	_
12	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	11	punct	_	_
13	formten	formen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
14	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	16	det	_	_
15	Freiburger	Freiburger	ADJ	ADJA	Degree=Pos	16	amod	_	_
16	Forscher	Forscher	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	13	nsubj	_	_
17	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	20	case	_	_
18	einer	einer	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	20	det	_	_
19	speziellen	speziell	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	20	amod	_	_
20	Ätzlösung	Lösung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	13	obl	_	_
21	eine	eine	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	22	det	_	_
22	Oberflächenstruktur	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	13	obj	_	_
23	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	26	punct	_	_
24	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	26	nsubj	_	_
25	nicht	nicht	PART	PTKNEG	Polarity=Neg	26	advmod	_	_
26	glatt	glatt	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	22	acl	_	_
27	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	31	punct	_	_
28	sondern	sondern	CCONJ	KON	_	31	cc	_	_
29	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	30	case	_	_
30	Mikropyramiden	Pyramide	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	31	obl	_	_
31	übersät	übersät	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	26	conj	_	_
32	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	26	cop	_	_
33	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	13	punct	_	_
