Die Forscher der kalifornischen Universität verwendeten als Halbleiter eine Silizium-Germanium-Legierung , die direkt auf das Die aufgebracht wurde .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	2	det	_	_
2	Forscher	Forscher	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	6	nsubj	_	_
3	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
4	kalifornischen	kalifornisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	5	amod	_	_
5	Universität	Universität	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
6	verwendeten	verwenden	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
7	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	8	case	_	_
8	Halbleiter	Halbleiter	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	6	obl	_	_
9	eine	eine	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	10	det	_	_
10	Silizium-Germanium-Legierung	Legierung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	6	obj	_	_
11	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	17	punct	_	_
12	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	17	nsubj:pass	_	_
13	direkt	direkt	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	17	advmod	_	_
14	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	16	case	_	_
15	das	das	DET	ART	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	16	det	_	_
16	Die	unknown	NOUN	NN	Person=3	17	obl	_	_
17	aufgebracht	aufbringen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	10	acl	_	_
18	wurde	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	17	aux:pass	_	_
19	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	6	punct	_	_
