Vor allem Ersatz für zerstörte Quarzglasrohre , eine Schlüsselkomponente der Vakuumöfen für die Halbleiter-Produktion , ist derzeit schwer zu beschaffen .
1	Vor	Vor	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	2	case	_	_
2	allem	all	PRON	PIS	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	3	nmod	_	_
3	Ersatz	Ersatz	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	20	nsubj	_	_
4	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	6	case	_	_
5	zerstörte	zerstören	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	6	amod	_	_
6	Quarzglasrohre	Rohr	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	3	nmod	_	_
7	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	9	punct	_	_
8	eine	eine	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
9	Schlüsselkomponente	Komponente	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	6	appos	_	_
10	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	11	det	_	_
11	Vakuumöfen	Ofen	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	9	nmod	_	_
12	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	14	case	_	_
13	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
14	Halbleiter-Produktion	Produktion	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	11	nmod	_	_
15	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	9	punct	_	_
16	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	20	aux	_	_
17	derzeit	derzeit	ADV	ADV	_	20	advmod	_	_
18	schwer	schwer	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	20	advmod	_	_
19	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	20	mark	_	_
20	beschaffen	beschaffen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
21	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	20	punct	_	_
