Die Auslastung der Chip- und Wafer-Fabriken - letztere stellen Siliziumscheiben für die Chipproduktion her - nähere sich im ersten Quartal 96 bis 98 Prozent .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Auslastung	Auslastung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	16	nsubj	_	_
3	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	4	det	_	_
4	Chip-	Chip-	NOUN	TRUNC	Hyph=Yes	2	nmod	_	_
5	und	und	CCONJ	KON	_	6	cc	_	_
6	Wafer-Fabriken	Fabrik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	4	conj	_	_
7	-	-	PUNCT	$(	PunctType=Brck	9	punct	_	_
8	letztere	letztere	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	9	nsubj	_	_
9	stellen	stellen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
10	Siliziumscheiben	Scheibe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	9	obj	_	_
11	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	13	case	_	_
12	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	13	det	_	_
13	Chipproduktion	Produktion	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	9	obl	_	_
14	her	her	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	9	compound:prt	_	_
15	-	-	PUNCT	$(	PunctType=Brck	9	punct	_	_
16	nähere	nähern	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	9	parataxis	_	_
17	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	16	expl:pv	_	_
18-19	im	_	_	_	_	_	_	_	_
18	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	21	case	_	_
19	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	21	det	_	_
20	ersten	NULL	ADJ	ADJA	Degree=Sup|Number=Sing	21	amod	_	_
21	Quartal	Quartal	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	16	obl	_	_
22	96	96	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	16	obj	_	_
23	bis	bis	ADP	APPR	AdpType=Prep	25	case	_	_
24	98	98	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	25	nummod	_	_
25	Prozent	Prozent	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	22	nmod	_	_
26	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	9	punct	_	_
