Die Forscher glauben daher , daß ab einer Dicke der Schicht aus Siliziumoxid von vier Atomen ein Chip nicht mehr funktionsfähig ist , weil der Strom durch die Isolation sickert .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	2	det	_	_
2	Forscher	Forscher	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	3	nsubj	_	_
3	glauben	glauben	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
4	daher	daher	ADV	PROAV	_	3	advmod	_	_
5	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	21	punct	_	_
6	daß	daß	SCONJ	KOUS	_	21	mark	_	_
7	ab	ab	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
8	einer	einer	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
9	Dicke	Dicke	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	21	obl	_	_
10	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	11	det	_	_
11	Schicht	Schicht	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	9	nmod	_	_
12	aus	aus	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	13	case	_	_
13	Siliziumoxid	Oxid	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	11	nmod	_	_
14	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
15	vier	vier	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	16	nummod	_	_
16	Atomen	Atom	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	9	nmod	_	_
17	ein	ein	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	18	det	_	_
18	Chip	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	21	nsubj	_	_
19	nicht	nicht	PART	PTKNEG	Polarity=Neg	21	advmod	_	_
20	mehr	mehr	ADV	ADV	_	19	advmod	_	_
21	funktionsfähig	funktionsfähig	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	3	ccomp	_	_
22	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	21	cop	_	_
23	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	30	punct	_	_
24	weil	weil	SCONJ	KOUS	_	30	mark	_	_
25	der	der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	26	det	_	_
26	Strom	Strom	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	30	nsubj	_	_
27	durch	durch	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	29	case	_	_
28	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	29	det	_	_
29	Isolation	Isolation	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	30	obl	_	_
30	sickert	sickern	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	21	ccomp	_	_
31	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
