Die Chips werden von IBM in Kupfer-Technologie hergestellt , MAJC-5200 in 0,22 Mikron und MAJC-5200+ in 0,18 Mikron .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	2	det	_	_
2	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	8	nsubj:pass	_	_
3	werden	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	8	aux:pass	_	_
4	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
5	IBM	IBM	PROPN	NE	Case=Dat|Number=Sing|Person=3	8	obl	_	_
6	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	7	case	_	_
7	Kupfer-Technologie	Technologie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	8	obl	_	_
8	hergestellt	herstellen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
9	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	10	punct	_	_
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13	Mikron	Mikron	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	10	nmod	_	_
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16	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
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18	Mikron	Mikron	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	15	nmod	_	_
19	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	8	punct	_	_
