SPEA-Ingenieure hatten vor der Übernahme ihres Unternehmens durch Diamond an einem eigenen 3D-Chip gearbeitet .
1	SPEA-Ingenieure	Ingenieur	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	14	nsubj	_	_
2	hatten	haben	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	14	aux	_	_
3	vor	vor	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
4	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
5	Übernahme	Übernahme	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	14	obl	_	_
6	ihres	sein	PRON	PPOSAT	Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|Poss=Yes|PronType=Prs	7	det	_	_
7	Unternehmens	Unternehmen	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	5	nmod	_	_
8	durch	durch	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	9	case	_	_
9	Diamond	Diamond	PROPN	NE	Number=Sing|Person=3	5	nmod	_	_
10	an	an	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	13	case	_	_
11	einem	einem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	13	det	_	_
12	eigenen	eigen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	13	amod	_	_
13	3D-Chip	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	14	obl	_	_
14	gearbeitet	arbeiten	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
15	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	14	punct	_	_
