Bis dahin werden die kleinsten Komponenten eines Chips die Größe von einzelnen Molekülen erreicht haben .
1	Bis	Bis	ADP	APPR	AdpType=Prep	2	case	_	_
2	dahin	dahin	ADV	ADV	_	14	obl	_	_
3	werden	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	14	aux	_	_
4	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	6	det	_	_
5	kleinsten	klein	ADJ	ADJA	Degree=Sup|Number=Plur	6	amod	_	_
6	Komponenten	Komponente	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	14	nsubj	_	_
7	eines	eines	DET	ART	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
8	Chips	Chip	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	6	nmod	_	_
9	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	10	det	_	_
10	Größe	Größe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	14	obj	_	_
11	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	13	case	_	_
12	einzelnen	einzeln	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	13	amod	_	_
13	Molekülen	Molekül	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	10	nmod	_	_
14	erreicht	erreichen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
15	haben	haben	AUX	VAINF	VerbForm=Inf	14	aux	_	_
16	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	14	punct	_	_
