Er werde den Produktionsbedingungen in der Halbleiterindustrie besser gerecht ; es handele sich um ein komplexes chemisches Verfahren ohne Metall verarbeitende Prozesse .
1	Er	Er	PRON	PPER	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3|PronType=Prs	2	nsubj	_	_
2	werde	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	4	det	_	_
4	Produktionsbedingungen	Bedingung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	2	obj	_	_
5	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	7	case	_	_
6	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	7	det	_	_
7	Halbleiterindustrie	Industrie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	4	nmod	_	_
8	besser	gut	ADJ	ADJD	Degree=Cmp|Variant=Short	9	advmod	_	_
9	gerecht	gerecht	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	2	advmod	_	_
10	;	;	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
11	es	es	PRON	PPER	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Prs	12	nsubj	_	_
12	handele	handeln	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	2	parataxis	_	_
13	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	12	obj	_	_
14	um	um	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	18	case	_	_
15	ein	ein	DET	ART	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	18	det	_	_
16	komplexes	komplex	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Neut|Number=Sing	18	amod	_	_
17	chemisches	chemisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Neut|Number=Sing	18	amod	_	_
18	Verfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	12	obl	_	_
19	ohne	ohne	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	22	case	_	_
20	Metall	Metall	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	21	obj	_	_
21	verarbeitende	verarbeiten	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	22	amod	_	_
22	Prozesse	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	18	nmod	_	_
23	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
