Seit den Anfängen der industriellen Chipfertigung in den 50er Jahren wuchs der Halbleitermarkt im Mittel um 17 Prozent pro Jahr .
1	Seit	Seit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	3	case	_	_
2	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	3	det	_	_
3	Anfängen	Anfang	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	11	obl	_	_
4	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
5	industriellen	industriell	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	6	amod	_	_
6	Chipfertigung	Fertigung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	nmod	_	_
7	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
8	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	10	det	_	_
9	50er	50er	ADJ	ADJA	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur	10	amod	_	_
10	Jahren	Jahr	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	3	nmod	_	_
11	wuchs	wachsen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
12	der	der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	13	det	_	_
13	Halbleitermarkt	Markt	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	11	nsubj	_	_
14-15	im	_	_	_	_	_	_	_	_
14	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
15	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	16	det	_	_
16	Mittel	Mittel	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	11	obl	_	_
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22	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	11	punct	_	_
