Ein Elektronenstrahl " schreibt " die Halbleiterkonturen direkt auf das Silizium .
1	Ein	Ein	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Elektronenstrahl	Strahl	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	4	nsubj	_	_
3	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	4	punct	_	_
4	schreibt	schreiben	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
5	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	4	punct	_	_
6	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	7	det	_	_
7	Halbleiterkonturen	Kontur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	4	obj	_	_
8	direkt	direkt	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	4	advmod	_	_
9	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	11	case	_	_
10	das	das	DET	ART	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	11	det	_	_
11	Silizium	Silizium	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	4	obl	_	_
12	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	4	punct	_	_
