Außer der 1997 von Intel , AMD und Motorola gegründeten EUV-Initiative , die Strukturgrößen von unter 30 Nanometern zum Ziel hat , sind die 157-Nanometer-Lithografie für 100-nm-Strukturen sowie Elektronen- und Ionenstrahlverfahren im Rennen .
1	Außer	Außer	ADP	APPR	AdpType=Prep	11	case	_	_
2	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	11	det	_	_
3	1997	1997	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	10	obl	_	_
4	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
5	Intel	Intel	PROPN	NE	Case=Dat|Number=Sing|Person=3	10	obl	_	_
6	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	7	punct	_	_
7	AMD	AMD	PROPN	NE	Case=Dat|Number=Sing|Person=3	5	conj	_	_
8	und	und	CCONJ	KON	_	9	cc	_	_
9	Motorola	Motorola	PROPN	NE	Case=Dat|Number=Sing|Person=3	5	conj	_	_
10	gegründeten	gegründeten	ADJ	ADJA	_	11	amod	_	_
11	EUV-Initiative	Initiative	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	35	nmod	_	_
12	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	22	punct	_	_
13	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	22	nsubj	_	_
14	Strukturgrößen	Größe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	22	obj	_	_
15	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
16	unter	unter	ADV	ADV	_	17	advmod	_	_
17	30	30	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	18	nummod	_	_
18	Nanometern	Meter	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	14	nmod	_	_
19-20	zum	_	_	_	_	_	_	_	_
19	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	21	case	_	_
20	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	21	det	_	_
21	Ziel	Ziel	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	22	obl	_	_
22	hat	haben	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	11	acl	_	_
23	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	22	punct	_	_
24	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	35	cop	_	_
25	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	26	det	_	_
26	157-Nanometer-Lithografie	unknown	NOUN	NN	Person=3	35	nsubj	_	_
27	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	28	case	_	_
28	100-nm-Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	26	nmod	_	_
29	sowie	sowie	CCONJ	KON	_	30	cc	_	_
30	Elektronen-	Elektronen-	NOUN	TRUNC	Hyph=Yes	26	conj	_	_
31	und	und	CCONJ	KON	_	32	cc	_	_
32	Ionenstrahlverfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	30	conj	_	_
33-34	im	_	_	_	_	_	_	_	_
33	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	35	case	_	_
34	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	35	det	_	_
35	Rennen	Rennen	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	0	root	_	_
36	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	35	punct	_	_
