In dieser Zahl sind alle Prozesse für MOS- und Bipolar-Halbleiter zusammengefasst und auf die Fläche von 6-Zoll-Wafern umgerechnet .
1	In	In	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	3	case	_	_
2	dieser	dies	DET	PDAT	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Dem	3	det	_	_
3	Zahl	Zahl	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	11	obl	_	_
4	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	11	aux:pass	_	_
5	alle	all	DET	PIDAT	Case=Nom|Number=Plur|Person=3	6	det	_	_
6	Prozesse	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	11	nsubj:pass	_	_
7	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	8	case	_	_
8	MOS-	MOS-	NOUN	TRUNC	Hyph=Yes	6	nmod	_	_
9	und	und	CCONJ	KON	_	10	cc	_	_
10	Bipolar-Halbleiter	Halbleiter	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	8	conj	_	_
11	zusammengefasst	zusammenfassen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
12	und	und	CCONJ	KON	_	18	cc	_	_
13	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	15	case	_	_
14	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	15	det	_	_
15	Fläche	Fläche	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	18	obl	_	_
16	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	17	case	_	_
17	6-Zoll-Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	15	nmod	_	_
18	umgerechnet	umrechnen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	11	conj	_	_
19	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	11	punct	_	_
