Bislang liefert Isonics lediglich Wafer , die eine dünne Schicht aus zu 99 Prozent isotopenreinem Silizium 28 tragen ( Epitaxial-Wafer ) .
1	Bislang	Bislang	ADV	ADV	_	2	advmod	_	_
2	liefert	liefern	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	Isonics	Isonics	PROPN	NE	Person=3	2	nsubj	_	_
4	lediglich	lediglich	ADV	ADV	_	2	advmod	_	_
5	Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	2	obj	_	_
6	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	18	punct	_	_
7	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	18	nsubj	_	_
8	eine	eine	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	10	det	_	_
9	dünne	dünn	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	10	amod	_	_
10	Schicht	Schicht	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	18	obj	_	_
11	aus	aus	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
12	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
13	99	99	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	14	nummod	_	_
14	Prozent	Prozent	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	15	obl	_	_
15	isotopenreinem	isotopenreinem	ADJ	ADJA	Case=Dat|Number=Sing	16	amod	_	_
16	Silizium	Silizium	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	10	nmod	_	_
17	28	28	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	16	flat	_	_
18	tragen	tragen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	5	acl	_	_
19	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	20	punct	_	_
20	Epitaxial-Wafer	Epitaxial-Wafer	PROPN	NE	Person=3	5	appos	_	_
21	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	20	punct	_	_
22	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
