Bei rund 18 Prozent der Chips , die die neun Fabs mit einer Gesamtkapazität von umgerechnet jährlich 2,585 Millionen 8-Zoll-Wafern im vierten Quartal herstellten , kamen Prozesstechniken zum Einsatz , die nur Strukturen von mehr als 0,5 µm erlauben .
1	Bei	Bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
2	rund	rund	ADV	ADV	_	3	advmod	_	_
3	18	18	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	4	nummod	_	_
4	Prozent	Prozent	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	27	obl	_	_
5	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	6	det	_	_
6	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	4	nmod	_	_
7	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	25	punct	_	_
8	die	die	PRON	PRELS	Case=Acc|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	25	obj	_	_
9	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	11	det	_	_
10	neun	neun	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	11	nummod	_	_
11	Fabs	Fab	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	25	nsubj	_	_
12	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
13	einer	einer	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
14	Gesamtkapazität	Kapazität	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	11	nmod	_	_
15	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	20	case	_	_
16	umgerechnet	umrechnen	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	18	advmod	_	_
17	jährlich	jährlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	18	advmod	_	_
18	2,585	2,585	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	19	nummod	_	_
19	Millionen	Million	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	20	nummod	_	_
20	8-Zoll-Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	14	nmod	_	_
21-22	im	_	_	_	_	_	_	_	_
21	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	24	case	_	_
22	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	24	det	_	_
23	vierten	vierte	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	24	amod	_	_
24	Quartal	Quartal	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	25	obl	_	_
25	herstellten	herstellen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	6	acl	_	_
26	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	25	punct	_	_
27	kamen	kommen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
28	Prozesstechniken	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	27	nsubj	_	_
29-30	zum	_	_	_	_	_	_	_	_
29	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	31	case	_	_
30	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	31	det	_	_
31	Einsatz	Einsatz	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	27	obl	_	_
32	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	41	punct	_	_
33	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	41	nsubj	_	_
34	nur	nur	ADV	ADV	_	35	advmod	_	_
35	Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	41	obj	_	_
36	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	40	case	_	_
37	mehr	mehr	ADV	ADV	Degree=Cmp	39	advmod	_	_
38	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	37	case	_	_
39	0,5	0,5	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	40	nummod	_	_
40	µm	µm	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	35	nmod	_	_
41	erlauben	erlauben	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	28	acl	_	_
42	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	27	punct	_	_
