Intels " Wafer Development Fab " D1C in Hillsboro , Oregon , hat erste Chips im 0,13-µm-Prozess auf 300-mm-Wafern erfolgreich hergestellt .
1	Intels	Intels	PROPN	NE	Case=Gen|Number=Sing|Person=3	3	nmod	_	_
2	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	3	punct	_	_
3	Wafer	Wafer	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	22	nsubj	_	_
4	Development	Development	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	3	flat	_	_
5	Fab	Fab	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	3	flat	_	_
6	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	3	punct	_	_
7	D1C	D1C	PROPN	NE	Person=3	3	appos	_	_
8	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
9	Hillsboro	Hillsboro	PROPN	NE	Person=3	7	nmod	_	_
10	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	11	punct	_	_
11	Oregon	Oregon	PROPN	NE	Person=3	9	appos	_	_
12	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	11	punct	_	_
13	hat	haben	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	22	aux	_	_
14	erste	erste	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Plur	15	amod	_	_
15	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	22	obj	_	_
16-17	im	_	_	_	_	_	_	_	_
16	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
17	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	18	det	_	_
18	0,13-µm-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	22	obl	_	_
19	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	20	case	_	_
20	300-mm-Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	22	obl	_	_
21	erfolgreich	erfolgreich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	22	advmod	_	_
22	hergestellt	herstellen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
23	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	22	punct	_	_
