Im Rekordjahr 2000 haben viele Hersteller Geld in neue Speicherfabs gesteckt , um auf den größeren 300-mm-Wafern mehr Chips mit verkleinerten Strukturgrößen fertigen zu können .
1-2	Im	_	_	_	_	_	_	_	_
1	In	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	3	case	_	_
2	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	Rekordjahr	Rekordjahr	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	12	obl	_	_
4	2000	2000	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	3	nmod	_	_
5	haben	haben	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	12	aux	_	_
6	viele	viel	ADJ	PIDAT	Case=Nom|Number=Plur|Person=3	7	amod	_	_
7	Hersteller	Hersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	12	nsubj	_	_
8	Geld	Geld	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	12	obj	_	_
9	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	11	case	_	_
10	neue	neu	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Plur	11	amod	_	_
11	Speicherfabs	Fab	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	12	obl	_	_
12	gesteckt	stecken	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
13	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	24	punct	_	_
14	um	um	SCONJ	KOUI	_	24	mark	_	_
15	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
16	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	18	det	_	_
17	größeren	groß	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Cmp|Gender=Masc|Number=Plur	18	amod	_	_
18	300-mm-Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	24	obl	_	_
19	mehr	mehr	DET	PIAT	Degree=Cmp|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	20	det	_	_
20	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	24	obj	_	_
21	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	23	case	_	_
22	verkleinerten	verkleinern	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Plur	23	amod	_	_
23	Strukturgrößen	Größe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	20	nmod	_	_
24	fertigen	fertigen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	12	advcl	_	_
25	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	24	mark	_	_
26	können	können	AUX	VMINF	VerbForm=Inf|VerbType=Mod	24	aux	_	_
27	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	12	punct	_	_
