Nach Motorola-Angaben sind wegen der großen Sprödigkeit der Materialien bislang maximal 150-mm-Wafer aus GaAs und 100-mm-Wafer aus InP machbar .
1	Nach	Nach	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	2	case	_	_
2	Motorola-Angaben	Angabe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	19	obl	_	_
3	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	19	cop	_	_
4	wegen	wegen	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Gen	7	case	_	_
5	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	7	det	_	_
6	großen	groß	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	7	amod	_	_
7	Sprödigkeit	Sprödigkeit	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	19	obl	_	_
8	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	9	det	_	_
9	Materialien	Material	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	7	nmod	_	_
10	bislang	bislang	ADV	ADV	_	19	advmod	_	_
11	maximal	maximal	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	12	advmod	_	_
12	150-mm-Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	19	nsubj	_	_
13	aus	aus	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
14	GaAs	GaAs	PROPN	NE	Person=3	12	nmod	_	_
15	und	und	CCONJ	KON	_	16	cc	_	_
16	100-mm-Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	12	conj	_	_
17	aus	aus	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
18	InP	InP	PROPN	NE	Person=3	16	nmod	_	_
19	machbar	machbar	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	0	root	_	_
20	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	19	punct	_	_
