Die Übertragung der Schaltungsentwürfe auf das Silizium mit Hilfe der Lithographie ist der zentrale und zugleich kritischste Prozeß der Chipherstellung :
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Übertragung	Übertragung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	18	nsubj	_	_
3	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	4	det	_	_
4	Schaltungsentwürfe	Entwurf	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	2	nmod	_	_
5	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	7	case	_	_
6	das	das	DET	ART	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	7	det	_	_
7	Silizium	Silizium	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
8	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
9	Hilfe	Hilfe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
10	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	11	det	_	_
11	Lithographie	Lithographie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	9	nmod	_	_
12	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	18	cop	_	_
13	der	der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	18	det	_	_
14	zentrale	zentral	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	18	amod	_	_
15	und	und	CCONJ	KON	_	17	cc	_	_
16	zugleich	zugleich	ADV	ADV	_	17	advmod	_	_
17	kritischste	kritisch	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Sup|Gender=Masc|Number=Sing	14	conj	_	_
18	Prozeß	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	0	root	_	_
19	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	20	det	_	_
20	Chipherstellung	Herstellung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	18	nmod	_	_
21	:	:	PUNCT	$.	PunctType=Peri	18	punct	_	_
