IBM , UMC und Infineon starten Chipfertigung im 0,13-Mikrometer-Prozess
1	IBM	IBM	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	6	nsubj	_	_
2	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	3	punct	_	_
3	UMC	UMC	PROPN	NE	Person=3	1	conj	_	_
4	und	und	CCONJ	KON	_	5	cc	_	_
5	Infineon	Infineon	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	1	conj	_	_
6	starten	starten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
7	Chipfertigung	Fertigung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	6	obj	_	_
8-9	im	_	_	_	_	_	_	_	_
8	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
9	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	10	det	_	_
10	0,13-Mikrometer-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	7	nmod	_	_
