Das Problem an der 28Si-Technik ist , genügend Material zur Herstellung von Wafern zu beschaffen .
1	Das	Das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Problem	Problem	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	0	root	_	_
3	an	an	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
4	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
5	28Si-Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
6	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	2	cop	_	_
7	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	16	punct	_	_
8	genügend	genügen	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	16	advmod	_	_
9	Material	Material	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	16	obj	_	_
10-11	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
10	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
11	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	12	det	_	_
12	Herstellung	Herstellung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	9	nmod	_	_
13	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
14	Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	12	nmod	_	_
15	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	16	mark	_	_
16	beschaffen	beschaffen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	2	csubj	_	_
17	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
