Der Verband der US-amerikanischen Hersteller von Anlagen für die Halbleiterfabrikation ( SEMI ) meldet erstmals seit dem September des vergangenen Jahres einen leichten Rückgang der Auftragseingänge seiner Mitgliedsfirmen .
1	Der	Der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Verband	Verband	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	14	nsubj	_	_
3	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	5	det	_	_
4	US-amerikanischen	amerikanisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	5	amod	_	_
5	Hersteller	Hersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	2	nmod	_	_
6	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	7	case	_	_
7	Anlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	5	nmod	_	_
8	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	10	case	_	_
9	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	10	det	_	_
10	Halbleiterfabrikation	Fabrikation	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	7	nmod	_	_
11	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	12	punct	_	_
12	SEMI	SEMI	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	2	appos	_	_
13	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	12	punct	_	_
14	meldet	melden	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
15	erstmals	erstmals	ADV	ADV	_	14	advmod	_	_
16	seit	seit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
17	dem	dem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	18	det	_	_
18	September	September	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	14	obl	_	_
19	des	des	DET	ART	Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	21	det	_	_
20	vergangenen	vergehen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	21	amod	_	_
21	Jahres	Jahr	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	18	nmod	_	_
22	einen	einen	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	24	det	_	_
23	leichten	leicht	ADJ	ADJA	Case=Acc|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	24	amod	_	_
24	Rückgang	Rückgang	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	14	obj	_	_
25	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	26	det	_	_
26	Auftragseingänge	Eingang	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	24	nmod	_	_
27	seiner	sein	PRON	PPOSAT	Case=Gen|Number=Plur|Person=3|Poss=Yes|PronType=Prs	28	det	_	_
28	Mitgliedsfirmen	Firma	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	26	nmod	_	_
29	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	14	punct	_	_
