Die US-amerikanischen Hersteller von Anlagen zur Halbleiterfertigung setzten im vergangenen Jahr rund 26 Milliarden US-Dollar um .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	3	det	_	_
2	US-amerikanischen	amerikanisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	3	amod	_	_
3	Hersteller	Hersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	9	nsubj	_	_
4	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
5	Anlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	3	nmod	_	_
6-7	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
6	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
7	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
8	Halbleiterfertigung	Fertigung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	5	nmod	_	_
9	setzten	setzen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
10-11	im	_	_	_	_	_	_	_	_
10	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	13	case	_	_
11	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	13	det	_	_
12	vergangenen	vergehen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	13	amod	_	_
13	Jahr	Jahr	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	9	obl	_	_
14	rund	rund	ADV	ADV	_	15	advmod	_	_
15	26	26	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	16	nummod	_	_
16	Milliarden	Milliarde	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	17	nummod	_	_
17	US-Dollar	Dollar	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	9	obj	_	_
18	um	um	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	9	compound:prt	_	_
19	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	9	punct	_	_
