Chip-Fertigungsanlagen laufen nur bei hoher Auslastung wirtschaftlich , die Produktion kleiner Mengen lohnt sich nicht .
1	Chip-Fertigungsanlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	2	nsubj	_	_
2	laufen	laufen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	nur	nur	ADV	ADV	_	6	advmod	_	_
4	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
5	hoher	hoch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	6	amod	_	_
6	Auslastung	Auslastung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	obl	_	_
7	wirtschaftlich	wirtschaftlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	2	advmod	_	_
8	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	13	punct	_	_
9	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	10	det	_	_
10	Produktion	Produktion	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	13	nsubj	_	_
11	kleiner	klein	ADJ	ADJA	Case=Gen|Degree=Pos|Number=Plur	12	amod	_	_
12	Mengen	Menge	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	10	nmod	_	_
13	lohnt	lohnen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	2	conj	_	_
14	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	13	expl:pv	_	_
15	nicht	nicht	PART	PTKNEG	Polarity=Neg	13	advmod	_	_
16	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
