Ebenfalls möglich sind Low-K-Dielektrika zur Reduktion parasitärer Kapazitäten .
1	Ebenfalls	Ebenfalls	ADV	ADV	_	2	advmod	_	_
2	möglich	möglich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	0	root	_	_
3	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	2	cop	_	_
4	Low-K-Dielektrika	Low-K-Dielektrika	PROPN	NE	Person=3	2	nsubj	_	_
5-6	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
5	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	7	case	_	_
6	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	7	det	_	_
7	Reduktion	Reduktion	NOUN	NN	Person=3	2	obl	_	_
8	parasitärer	parasitärer	ADJ	ADJA	Gender=Fem|Number=Plur	9	amod	_	_
9	Kapazitäten	Kapazität	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	7	nmod	_	_
10	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
