Hersteller wie Intel und TSMC haben zwar bereits Pilotanlagen für 0,13-µm-Chips , fertigen aber bisher nur Kleinmengen oder Prototypen .
1	Hersteller	Hersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	6	nsubj	_	_
2	wie	wie	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	3	case	_	_
3	Intel	Intel	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	1	obl	_	_
4	und	und	CCONJ	KON	_	5	cc	_	_
5	TSMC	TSMC	PROPN	NE	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	conj	_	_
6	haben	haben	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
7	zwar	zwar	ADV	ADV	_	6	advmod	_	_
8	bereits	bereits	ADV	ADV	_	6	advmod	_	_
9	Pilotanlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	6	obj	_	_
10	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	11	case	_	_
11	0,13-µm-Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	9	nmod	_	_
12	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	13	punct	_	_
13	fertigen	fertigen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	6	conj	_	_
14	aber	aber	ADV	ADV	_	13	advmod	_	_
15	bisher	bisher	ADV	ADV	_	13	advmod	_	_
16	nur	nur	ADV	ADV	_	17	advmod	_	_
17	Kleinmengen	Menge	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	13	obj	_	_
18	oder	oder	CCONJ	KON	_	19	cc	_	_
19	Prototypen	Prototyp	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	17	conj	_	_
20	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	6	punct	_	_
