Dort ist man mittlerweile bei Strukturbreiten von weniger als 0,2 Mikrometern angelangt und hat damit erfolgreich 256-MBit-SDRAMs hergestellt .
1	Dort	Dort	ADV	ADV	_	12	advmod	_	_
2	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	12	aux:pass	_	_
3	man	man	PRON	PIS	Case=Nom|Number=Sing|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	12	nsubj:pass	_	_
4	mittlerweile	mittlerweile	ADV	ADV	_	12	advmod	_	_
5	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
6	Strukturbreiten	Breite	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	12	obl	_	_
7	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
8	weniger	weniger	ADV	ADV	Degree=Cmp	10	advmod	_	_
9	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	8	case	_	_
10	0,2	0,2	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	11	nummod	_	_
11	Mikrometern	Mikrometer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	6	nmod	_	_
12	angelangt	anlangen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
13	und	und	CCONJ	KON	_	18	cc	_	_
14	hat	haben	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	18	aux	_	_
15	damit	damit	ADV	PROAV	_	18	advmod	_	_
16	erfolgreich	erfolgreich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	18	advmod	_	_
17	256-MBit-SDRAMs	RAM	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	18	obj	_	_
18	hergestellt	herstellen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	12	conj	_	_
19	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	12	punct	_	_
