Dort sollen ab Anfang 2002 256-MBit-Speicherchips in 0,14-µm-Technik auf 300-mm-Wafern entstehen .
1	Dort	Dort	ADV	ADV	_	11	advmod	_	_
2	sollen	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	11	aux	_	_
3	ab	ab	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
4	Anfang	Anfang	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	11	obl	_	_
5	2002	2002	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	4	nmod	_	_
6	256-MBit-Speicherchips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	11	nsubj	_	_
7	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
8	0,14-µm-Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	11	obl	_	_
9	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
10	300-mm-Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	11	obl	_	_
11	entstehen	entstehen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
12	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	11	punct	_	_
