Dabei teilen sich mehrere UMC-Kunden den Aufwand für die teuren Fotomasken , die für die Lithografieprozesse nötig sind .
1	Dabei	Dabei	ADV	PROAV	_	2	advmod	_	_
2	teilen	teilen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	sich	sich	PRON	PRF	Case=Dat|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	2	iobj	_	_
4	mehrere	mehrer	DET	PIAT	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	5	det	_	_
5	UMC-Kunden	Kunde	NOUN	NN	Number=Plur|Person=3	2	nsubj	_	_
6	den	den	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	7	det	_	_
7	Aufwand	Aufwand	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	2	obj	_	_
8	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	11	case	_	_
9	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	11	det	_	_
10	teuren	teuer	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	11	amod	_	_
11	Fotomasken	Maske	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	7	nmod	_	_
12	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	17	punct	_	_
13	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	17	nsubj	_	_
14	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	16	case	_	_
15	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	16	det	_	_
16	Lithografieprozesse	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	17	obj	_	_
17	nötig	nötig	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	11	acl	_	_
18	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	17	cop	_	_
19	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
