Doch bald wird sich die Halbleiterindustrie nach neuen Materialien umschauen müssen , denn die Siliziumtechnik stößt unabänderlich an ihre physikalische Grenze :
1	Doch	Doch	CCONJ	KON	_	10	cc	_	_
2	bald	bald	ADV	ADV	_	10	advmod	_	_
3	wird	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	10	aux	_	_
4	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	10	obj	_	_
5	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
6	Halbleiterindustrie	Industrie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	10	nsubj	_	_
7	nach	nach	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
8	neuen	neu	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	9	amod	_	_
9	Materialien	Material	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	10	obl	_	_
10	umschauen	umschauen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
11	müssen	müssen	AUX	VMINF	VerbForm=Inf|VerbType=Mod	10	aux	_	_
12	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	16	punct	_	_
13	denn	denn	CCONJ	KON	_	16	cc	_	_
14	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	15	det	_	_
15	Siliziumtechnik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	16	nsubj	_	_
16	stößt	stoßen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	10	conj	_	_
17	unabänderlich	unabänderlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	16	advmod	_	_
18	an	an	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	21	case	_	_
19	ihre	sein	PRON	PPOSAT	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|Person=3|Poss=Yes|PronType=Prs	21	det	_	_
20	physikalische	physikalisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	21	amod	_	_
21	Grenze	Grenze	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	16	obl	_	_
22	:	:	PUNCT	$.	PunctType=Peri	10	punct	_	_
