Die Technologie wurde in einem 0,18-Mikrometer-Prozess auf einen hochintegrierten 3,2-Millionen-Transistor-IC geritzt .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Technologie	Technologie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	11	nsubj:pass	_	_
3	wurde	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	11	aux:pass	_	_
4	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
5	einem	einem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
6	0,18-Mikrometer-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	11	obl	_	_
7	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	10	case	_	_
8	einen	einen	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	10	det	_	_
9	hochintegrierten	hochintegrierten	ADJ	ADJA	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing	10	amod	_	_
10	3,2-Millionen-Transistor-IC	IC	NOUN	NN	Person=3	11	obl	_	_
11	geritzt	ritzen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
12	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	11	punct	_	_
