Zwischenzeitlich verkündte Intel die Bereitstellung erster Masken für die EUV-Lithografie .
1	Zwischenzeitlich	Zwischenzeitlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	2	advmod	_	_
2	verkündte	-	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Person=3|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	Intel	Intel	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	2	nsubj	_	_
4	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
5	Bereitstellung	Stellung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	obj	_	_
6	erster	erste	ADJ	ADJA	Case=Gen|Degree=Pos|Number=Plur	7	amod	_	_
7	Masken	Maske	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	5	nmod	_	_
8	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	10	case	_	_
9	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	10	det	_	_
10	EUV-Lithografie	unknown	NOUN	NN	Person=3	7	nmod	_	_
11	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
