Die Fertigung soll auf den 300-mm-Wafern von Anfang an im 0,13-Micron-Prozess erfolgen .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Fertigung	Fertigung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	13	nsubj	_	_
3	soll	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	13	aux	_	_
4	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
5	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	6	det	_	_
6	300-mm-Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	13	obl	_	_
7	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
8	Anfang	Anfang	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	13	obl	_	_
9	an	an	ADP	APZR	AdpType=Circ	8	case	_	_
10-11	im	_	_	_	_	_	_	_	_
10	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
11	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	12	det	_	_
12	0,13-Micron-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	13	obl	_	_
13	erfolgen	erfolgen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
14	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	13	punct	_	_
