Die Industriepartner von EUV LLC finanzieren das Projekt noch bis 2002 , ab 2005 sollen die Verfahren marktreif sein .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	2	det	_	_
2	Industriepartner	Partner	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	6	nsubj	_	_
3	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
4	EUV	EUV	PROPN	NE	Person=3	2	nmod	_	_
5	LLC	LLC	PROPN	NE	Person=3	4	flat:name	_	_
6	finanzieren	finanzieren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
7	das	das	DET	ART	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
8	Projekt	Projekt	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	6	obj	_	_
9	noch	noch	ADV	ADV	_	11	advmod	_	_
10	bis	bis	ADP	APPR	AdpType=Prep	11	case	_	_
11	2002	2002	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	6	obl	_	_
12	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	18	punct	_	_
13	ab	ab	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
14	2005	2005	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	18	obl	_	_
15	sollen	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	18	aux	_	_
16	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	17	det	_	_
17	Verfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	18	nsubj	_	_
18	marktreif	marktreif	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	6	conj	_	_
19	sein	sein	AUX	VAINF	VerbForm=Inf	18	cop	_	_
20	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	6	punct	_	_
