Exponential will es jedoch geschafft haben , einen Fertigungsprozeß zu entwickeln , in dem komplexe bipolare Logik und CMOS-Speicherzellen auf demselben Chip kombiniert werden können .
1	Exponential	unknown	NOUN	NN	Person=3	5	nsubj	_	_
2	will	wollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	5	aux	_	_
3	es	es	PRON	PPER	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Prs	5	expl	_	_
4	jedoch	jedoch	ADV	ADV	_	5	advmod	_	_
5	geschafft	schaffen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
6	haben	haben	AUX	VAINF	VerbForm=Inf	5	aux	_	_
7	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	11	punct	_	_
8	einen	einen	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
9	Fertigungsprozeß	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	11	obj	_	_
10	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	11	mark	_	_
11	entwickeln	entwickeln	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	5	xcomp	_	_
12	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	23	punct	_	_
13	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
14	dem	dem	PRON	PRELS	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	23	obl	_	_
15	komplexe	komplex	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	17	amod	_	_
16	bipolare	bipolare	ADJ	ADJA	_	17	amod	_	_
17	Logik	Logik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	23	nsubj:pass	_	_
18	und	und	CCONJ	KON	_	19	cc	_	_
19	CMOS-Speicherzellen	Zelle	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	17	conj	_	_
20	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	22	case	_	_
21	demselben	demselben	ADJ	ADJA	_	22	amod	_	_
22	Chip	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	23	obl	_	_
23	kombiniert	kombinieren	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	9	acl	_	_
24	werden	werden	AUX	VAINF	VerbForm=Inf	23	aux:pass	_	_
25	können	können	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	23	aux	_	_
26	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	5	punct	_	_
