Der Übernahmevertrag sieht vor , dass Atmel in dem Werk Anlagen zur Herstellung von Flash-Speicherchips und Mikrocontrollern in 0,18-µm-Strukturen für CMOS- , BiCMOS- und SiGe-Prozesse installiert .
1	Der	Der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Übernahmevertrag	Vertrag	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	3	nsubj	_	_
3	sieht	sehen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
4	vor	vor	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	3	compound:prt	_	_
5	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	27	punct	_	_
6	dass	dass	SCONJ	KOUS	_	27	mark	_	_
7	Atmel	unknown	NOUN	NN	Person=3	27	nsubj	_	_
8	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
9	dem	dem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	10	det	_	_
10	Werk	Werk	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	27	obl	_	_
11	Anlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	27	obj	_	_
12-13	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
12	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
13	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
14	Herstellung	Herstellung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	11	nmod	_	_
15	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
16	Flash-Speicherchips	Flash-Speicherchips	PROPN	NE	Person=3	14	nmod	_	_
17	und	und	CCONJ	KON	_	18	cc	_	_
18	Mikrocontrollern	Roller	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	16	conj	_	_
19	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	20	case	_	_
20	0,18-µm-Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	18	nmod	_	_
21	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	22	case	_	_
22	CMOS-	CMOS-	NOUN	TRUNC	Hyph=Yes	18	nmod	_	_
23	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	24	punct	_	_
24	BiCMOS-	BiCMOS-	NOUN	TRUNC	Hyph=Yes	22	conj	_	_
25	und	und	CCONJ	KON	_	26	cc	_	_
26	SiGe-Prozesse	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	22	conj	_	_
27	installiert	installieren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	3	ccomp	_	_
28	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
