Die EUV-Lithografie untersucht auch die vom mächtigen japanischen Ministerium für Wirtschaft , Handel und Industrie ( METI ) geförderte ASET .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	2	det	_	_
2	EUV-Lithografie	unknown	NOUN	NN	Person=3	3	obj	_	_
3	untersucht	untersuchen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
4	auch	auch	ADV	ADV	_	21	advmod	_	_
5	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	21	det	_	_
6-7	vom	_	_	_	_	_	_	_	_
6	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
7	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	10	det	_	_
8	mächtigen	mächtig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	10	amod	_	_
9	japanischen	japanisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	10	amod	_	_
10	Ministerium	Ministerium	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	20	obl	_	_
11	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	12	case	_	_
12	Wirtschaft	Wirtschaft	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	10	nmod	_	_
13	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	14	punct	_	_
14	Handel	Handel	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	12	conj	_	_
15	und	und	CCONJ	KON	_	16	cc	_	_
16	Industrie	Industrie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	12	conj	_	_
17	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	18	punct	_	_
18	METI	METI	PROPN	NE	Person=3	10	appos	_	_
19	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	18	punct	_	_
20	geförderte	fördern	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	21	amod	_	_
21	ASET	ASET	PROPN	NE	Person=3	3	nsubj	_	_
22	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
