Zu diesen guten Ausbeuten tragen immer präzisere Steuerungsverfahren der Prozesse , höhere Qualität der Rohprodukte und ein allgemein besseres Wissen über die Grundlagen der Halbleiterphysik bei .
1	Zu	Zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
2	diesen	dies	DET	PDAT	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Dem	4	det	_	_
3	guten	gut	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	4	amod	_	_
4	Ausbeuten	Ausbeute	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	5	obj	_	_
5	tragen	tragen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
6	immer	immer	ADV	ADV	_	7	advmod	_	_
7	präzisere	präzise	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Number=Plur	8	amod	_	_
8	Steuerungsverfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	5	nsubj	_	_
9	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	10	det	_	_
10	Prozesse	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	8	nmod	_	_
11	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	13	punct	_	_
12	höhere	hoch	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Gender=Fem|Number=Sing	13	amod	_	_
13	Qualität	Qualität	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	8	conj	_	_
14	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	15	det	_	_
15	Rohprodukte	Produkt	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	13	nmod	_	_
16	und	und	CCONJ	KON	_	20	cc	_	_
17	ein	ein	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	20	det	_	_
18	allgemein	allgemein	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	19	advmod	_	_
19	besseres	gut	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Gender=Neut|Number=Sing	20	amod	_	_
20	Wissen	Wissen	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	8	conj	_	_
21	über	über	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	23	case	_	_
22	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	23	det	_	_
23	Grundlagen	Grundlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	20	nmod	_	_
24	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	25	det	_	_
25	Halbleiterphysik	Physik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	23	nmod	_	_
26	bei	bei	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	5	compound:prt	_	_
27	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	5	punct	_	_
