TSMC arbeitet an 0,10-µm-Prozesstechnik
1	TSMC	TSMC	PROPN	NE	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	nsubj	_	_
2	arbeitet	arbeiten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	an	an	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
4	0,10-µm-Prozesstechnik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	obl	_	_
