Die Carl Zeiss Semiconductor Manufacturing Technologies AG ( Carl Zeiss SMT AG ) sei aus dem Bereich Halbleitertechnik hervorgegangen , teilte das Unternehmen mit .
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19	hervorgegangen	hervorgehen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
20	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	21	punct	_	_
21	teilte	teilen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	19	parataxis	_	_
22	das	das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	23	det	_	_
23	Unternehmen	Unternehmen	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	21	nsubj	_	_
24	mit	mit	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	21	compound:prt	_	_
25	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	19	punct	_	_
