Ebenfalls erhalten bleibt dank der 0,13-µm-Strukturen die Die-Größe des auf 20 Millionen Transistoren angewachsenen Chips von 55 Quadratmillimeter .
1	Ebenfalls	Ebenfalls	ADV	ADV	_	2	advmod	_	_
2	erhalten	erhalten	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	3	xcomp	_	_
3	bleibt	bleiben	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
4	dank	dank	ADP	APPR	AdpType=Prep	6	case	_	_
5	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	6	det	_	_
6	0,13-µm-Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	3	obl	_	_
7	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
8	Die-Größe	Größe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	nsubj	_	_
9	des	des	DET	ART	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	15	det	_	_
10	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	13	case	_	_
11	20	20	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	12	nummod	_	_
12	Millionen	Million	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	13	nummod	_	_
13	Transistoren	Transistor	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	14	obl	_	_
14	angewachsenen	anwachsen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	15	amod	_	_
15	Chips	Chip	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	8	nmod	_	_
16	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
17	55	55	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	18	nummod	_	_
18	Quadratmillimeter	Millimeter	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	8	nmod	_	_
19	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
