Der Übergang zur Verarbeitung immer größerer Wafer bei gleichzeitiger Reduktion der Strukturgröße führt zu gewaltig gesteigerter Produktionsausbeute .
1	Der	Der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Übergang	Übergang	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	14	nsubj	_	_
3-4	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
3	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
4	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
5	Verarbeitung	Verarbeitung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
6	immer	immer	ADV	ADV	_	7	advmod	_	_
7	größerer	groß	ADJ	ADJA	Case=Gen|Degree=Cmp|Number=Plur	8	amod	_	_
8	Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	5	nmod	_	_
9	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
10	gleichzeitiger	gleichzeitig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	11	amod	_	_
11	Reduktion	Reduktion	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	5	nmod	_	_
12	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	13	det	_	_
13	Strukturgröße	Größe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	11	nmod	_	_
14	führt	führen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
15	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
16	gewaltig	gewaltig	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	17	advmod	_	_
17	gesteigerter	steigern	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	18	amod	_	_
18	Produktionsausbeute	Ausbeute	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	14	obj	_	_
19	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	14	punct	_	_
