Die Zeit nutzt Intel , um statt der ursprünglich vorgesehenen Maschinen für 200-mm-Wafer Anlagen für die Verarbeitung von 300-mm-Wafern zu installieren .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Zeit	Zeit	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	obj	_	_
3	nutzt	nutzen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
4	Intel	Intel	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	3	nsubj	_	_
5	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	21	punct	_	_
6	um	um	SCONJ	KOUI	_	21	mark	_	_
7	statt	statt	ADP	APPR	AdpType=Prep	11	case	_	_
8	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	11	det	_	_
9	ursprünglich	ursprünglich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	10	advmod	_	_
10	vorgesehenen	vorsehen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	11	amod	_	_
11	Maschinen	Maschine	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	21	obl	_	_
12	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	13	case	_	_
13	200-mm-Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	11	nmod	_	_
14	Anlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	21	obj	_	_
15	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	17	case	_	_
16	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	17	det	_	_
17	Verarbeitung	Verarbeitung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	14	nmod	_	_
18	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	19	case	_	_
19	300-mm-Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	17	nmod	_	_
20	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	21	mark	_	_
21	installieren	installieren	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	3	advcl	_	_
22	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
