Dadurch werden diese Bauelemente kleiner als ihre bisher im 0,21- und 0,18-µm-Prozessen hergestellten Vorgänger , außerdem sinkt die Betriebsspannung und damit die Leistungsaufnahme .
1	Dadurch	Dadurch	ADV	PROAV	_	2	advmod	_	_
2	werden	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	diese	dies	DET	PDAT	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Dem	4	det	_	_
4	Bauelemente	Bauelement	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	2	nsubj	_	_
5	kleiner	klein	ADJ	ADJD	Degree=Cmp|Variant=Short	2	advmod	_	_
6	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	15	case	_	_
7	ihre	sein	PRON	PPOSAT	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|Poss=Yes|PronType=Prs	15	det	_	_
8	bisher	bisher	ADV	ADV	_	14	advmod	_	_
9-10	im	_	_	_	_	_	_	_	_
9	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
10	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	11	det	_	_
11	0,21-	0,21-	NOUN	TRUNC	Hyph=Yes	14	obl	_	_
12	und	und	CCONJ	KON	_	13	cc	_	_
13	0,18-µm-Prozessen	Prozeß	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	11	conj	_	_
14	hergestellten	herstellen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	15	amod	_	_
15	Vorgänger	Vorgänger	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	5	obl	_	_
16	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	18	punct	_	_
17	außerdem	außerdem	ADV	PROAV	_	18	advmod	_	_
18	sinkt	sinken	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	2	conj	_	_
19	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	20	det	_	_
20	Betriebsspannung	Spannung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	18	nsubj	_	_
21	und	und	CCONJ	KON	_	24	cc	_	_
22	damit	damit	ADV	PROAV	_	24	advmod	_	_
23	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	24	det	_	_
24	Leistungsaufnahme	Aufnahme	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	20	conj	_	_
25	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
