Die geplante monatliche Kapazität beträgt 25.000 Wafer .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	4	det	_	_
2	geplante	planen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	4	amod	_	_
3	monatliche	monatlich	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	4	amod	_	_
4	Kapazität	Kapazität	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	5	nsubj	_	_
5	beträgt	betragen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
6	25.000	25.000	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	7	nummod	_	_
7	Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	5	obj	_	_
8	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	5	punct	_	_
