Die " Flughöhe " der Köpfe über der Oberfläche betrug nur 28 Nanometer ( in heutigen Produkten sind etwa 50 nm üblich ) .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
2	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	3	punct	_	_
3	Flughöhe	Höhe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	10	nsubj	_	_
4	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	3	punct	_	_
5	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	6	det	_	_
6	Köpfe	Kopf	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	3	nmod	_	_
7	über	über	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
8	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
9	Oberfläche	Oberfläche	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	6	nmod	_	_
10	betrug	betragen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
11	nur	nur	ADV	ADV	_	12	advmod	_	_
12	28	28	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	13	nummod	_	_
13	Nanometer	Meter	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	10	obj	_	_
14	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	22	punct	_	_
15	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	17	case	_	_
16	heutigen	heutig	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Gender=Neut|Number=Plur	17	amod	_	_
17	Produkten	Produkt	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	22	obl	_	_
18	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	22	cop	_	_
19	etwa	etwa	ADV	ADV	_	20	advmod	_	_
20	50	50	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	21	nummod	_	_
21	nm	nm	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	22	nsubj	_	_
22	üblich	üblich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	10	parataxis	_	_
23	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	22	punct	_	_
24	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	10	punct	_	_
