In der Massenfertigung wenden einige Chip-Hersteller , darunter TSMC und Intel , zurzeit 0,13-µm-Prozesse an .
1	In	In	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	3	case	_	_
2	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	Massenfertigung	Fertigung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	4	obl	_	_
4	wenden	wenden	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
5	einige	einig	DET	PIAT	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	6	det	_	_
6	Chip-Hersteller	Hersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	4	nsubj	_	_
7	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	9	punct	_	_
8	darunter	darunter	ADV	PROAV	_	9	advmod	_	_
9	TSMC	TSMC	PROPN	NE	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	6	conj	_	_
10	und	und	CCONJ	KON	_	11	cc	_	_
11	Intel	Intel	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	6	conj	_	_
12	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	13	punct	_	_
13	zurzeit	zurzeit	ADV	ADV	_	4	advmod	_	_
14	0,13-µm-Prozesse	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	4	obj	_	_
15	an	an	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	4	compound:prt	_	_
16	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	4	punct	_	_
