Die fertigen 28Si-Epitaxial-Wafer eigenen sich für Forschungszwecke , doch da bei heutigen Flip-Chip-Prozessoren die Kühlung durch den Wafer hindurch erfolgt , sind die thermischen Vorteile in der Praxis gering .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	3	det	_	_
2	fertigen	fertig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	3	amod	_	_
3	28Si-Epitaxial-Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	4	nsubj	_	_
4	eigenen	-	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|VerbForm=Fin	0	root	_	_
5	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	4	obj	_	_
6	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	7	case	_	_
7	Forschungszwecke	Zwecke	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	4	obl	_	_
8	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	29	punct	_	_
9	doch	doch	CCONJ	KON	_	29	cc	_	_
10	da	da	SCONJ	KOUS	_	20	mark	_	_
11	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	13	case	_	_
12	heutigen	heutig	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	13	amod	_	_
13	Flip-Chip-Prozessoren	Prozessor	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	20	obl	_	_
14	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	15	det	_	_
15	Kühlung	Kühlung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	20	nsubj	_	_
16	durch	durch	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	18	case	_	_
17	den	den	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	18	det	_	_
18	Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	20	obl	_	_
19	hindurch	hindurch	ADV	ADV	_	20	advmod	_	_
20	erfolgt	erfolgen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	29	ccomp	_	_
21	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	20	punct	_	_
22	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	29	cop	_	_
23	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	25	det	_	_
24	thermischen	thermisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	25	amod	_	_
25	Vorteile	Vorteil	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	29	nsubj	_	_
26	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	28	case	_	_
27	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	28	det	_	_
28	Praxis	Praxis	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	29	obl	_	_
29	gering	gering	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	4	conj	_	_
30	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	4	punct	_	_
