Die neue Fabrik ist für die Produktion von Wafern der 200-mm-Generation vorgesehen .
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5	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep	7	case	_	_
6	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	7	det	_	_
7	Produktion	Produktion	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	12	obl	_	_
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10	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	11	det	_	_
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13	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	12	punct	_	_
