Der 0,13-µm-Prozess , in dem der kommende " Tualatin " ( wie bereits berichtet ) produziert werden soll , kann ein Transistorgate ( Bild ) auf bis zu 70 nm ( 0,07 µm ) verkleinert werden .
1	Der	Der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	0,13-µm-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	0	root	_	_
3	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	16	punct	_	_
4	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
5	dem	dem	PRON	PRELS	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	16	obl	_	_
6	der	der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
7	kommende	kommen	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	9	amod	_	_
8	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	9	punct	_	_
9	Tualatin	Tualatin	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	16	nsubj:pass	_	_
10	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	9	punct	_	_
11	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	14	punct	_	_
12	wie	wie	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	14	mark	_	_
13	bereits	bereits	ADV	ADV	_	14	advmod	_	_
14	berichtet	berichten	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	16	advcl	_	_
15	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	14	punct	_	_
16	produziert	produzieren	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	2	acl	_	_
17	werden	werden	AUX	VAINF	VerbForm=Inf	16	aux:pass	_	_
18	soll	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	16	aux	_	_
19	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	35	punct	_	_
20	kann	können	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	35	aux	_	_
21	ein	ein	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	22	det	_	_
22	Transistorgate	unknown	NOUN	NN	Person=3	35	nsubj:pass	_	_
23	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	24	punct	_	_
24	Bild	Bild	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	22	appos	_	_
25	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	24	punct	_	_
26	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	30	case	_	_
27	bis	bis	ADP	APPR	AdpType=Prep	28	case	_	_
28	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	29	nmod	_	_
29	70	70	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	30	nummod	_	_
30	nm	nm	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	35	obl	_	_
31	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	33	punct	_	_
32	0,07	0,07	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	33	nummod	_	_
33	µm	µm	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	30	appos	_	_
34	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	33	punct	_	_
35	verkleinert	verkleinern	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	2	parataxis	_	_
36	werden	werden	AUX	VAINF	VerbForm=Inf	35	aux:pass	_	_
37	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
