Der DRAM-Fertigungsprozess auf der neuen 300-mm-Linie verwendet eine Strukturbreite von 0,25 Mikrometern und stellt damit ein durchaus konventionelles Verfahren dar .
1	Der	Der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	DRAM-Fertigungsprozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	7	nsubj	_	_
3	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
4	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
5	neuen	neu	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	6	amod	_	_
6	300-mm-Linie	Linie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
7	verwendet	verwenden	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
8	eine	eine	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
9	Strukturbreite	Breite	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	7	obj	_	_
10	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
11	0,25	0,25	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	12	nummod	_	_
12	Mikrometern	Mikrometer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	9	nmod	_	_
13	und	und	CCONJ	KON	_	14	cc	_	_
14	stellt	stellen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	7	conj	_	_
15	damit	damit	ADV	PROAV	_	14	advmod	_	_
16	ein	ein	DET	ART	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	19	det	_	_
17	durchaus	durchaus	ADV	ADV	_	18	advmod	_	_
18	konventionelles	konventionell	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Neut|Number=Sing	19	amod	_	_
19	Verfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	14	obj	_	_
20	dar	dar	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	14	compound:prt	_	_
21	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	7	punct	_	_
