Auf BiCMOS-Wafern lassen sich jetzt auch Silizium-Germanium-Kohlenstoff-Strukturen ( SiGe:C ) einbauen .
1	Auf	Auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	2	case	_	_
2	BiCMOS-Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	3	obl	_	_
3	lassen	lassen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
4	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	3	obj	_	_
5	jetzt	jetzt	ADV	ADV	_	11	advmod	_	_
6	auch	auch	ADV	ADV	_	7	advmod	_	_
7	Silizium-Germanium-Kohlenstoff-Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	3	nsubj	_	_
8	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	9	punct	_	_
9	SiGe:C	SiGe:C	PROPN	NE	Person=3	7	appos	_	_
10	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	9	punct	_	_
11	einbauen	einbauen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	3	xcomp	_	_
12	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
