Der 0,13-µm-Fertigungsprozess wurde in den IBM-Labors im US-amerikanischen East Fishkill entwickelt und kommt in US-Fabs von IBM , europäischen Infineon-Werken und in Taiwan bei UMC zum Einsatz .
1	Der	Der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	0,13-µm-Fertigungsprozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	12	nsubj:pass	_	_
3	wurde	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	12	aux:pass	_	_
4	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
5	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	6	det	_	_
6	IBM-Labors	Labor	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	12	obl	_	_
7-8	im	_	_	_	_	_	_	_	_
7	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
8	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	10	det	_	_
9	US-amerikanischen	amerikanisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	10	amod	_	_
10	East	unknown	NOUN	NN	Person=3	6	nmod	_	_
11	Fishkill	Fishkill	PROPN	NE	Person=3	10	flat:name	_	_
12	entwickelt	entwickeln	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
13	und	und	CCONJ	KON	_	14	cc	_	_
14	kommt	kommen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	12	conj	_	_
15	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
16	US-Fabs	Fab	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	14	obl	_	_
17	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
18	IBM	IBM	PROPN	NE	Case=Dat|Number=Sing|Person=3	16	nmod	_	_
19	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	21	punct	_	_
20	europäischen	europäisch	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	21	amod	_	_
21	Infineon-Werken	Werk	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	16	conj	_	_
22	und	und	CCONJ	KON	_	26	cc	_	_
23	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	24	case	_	_
24	Taiwan	Taiwan	PROPN	NE	Number=Sing|Person=3	26	nmod	_	_
25	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	26	case	_	_
26	UMC	UMC	PROPN	NE	Person=3	16	conj	_	_
27-28	zum	_	_	_	_	_	_	_	_
27	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	29	case	_	_
28	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	29	det	_	_
29	Einsatz	Einsatz	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	14	obl	_	_
30	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	12	punct	_	_
