Das US-Unternehmen Standard MEMS und Philips Semiconductors wollen dort in einem Joint-Venture ab dem Jahr 2002 in 0,35- und 0,25-µm-Technik auf 8-Zoll-Wafern produzieren .
1	Das	Das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	US-Unternehmen	Unternehmen	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	23	nsubj	_	_
3	Standard	Standard	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	2	appos	_	_
4	MEMS	MEMS	PROPN	NE	Person=3	3	flat:name	_	_
5	und	und	CCONJ	KON	_	7	cc	_	_
6	Philips	Philips	PROPN	NE	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	7	nmod	_	_
7	Semiconductors	Semiconductors	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	2	conj	_	_
8	wollen	wollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	23	aux	_	_
9	dort	dort	ADV	ADV	_	23	advmod	_	_
10	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
11	einem	einem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	12	det	_	_
12	Joint-Venture	unknown	NOUN	NN	Person=3	23	obl	_	_
13	ab	ab	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	15	case	_	_
14	dem	dem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	15	det	_	_
15	Jahr	Jahr	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	23	obl	_	_
16	2002	2002	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	15	nmod	_	_
17	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
18	0,35-	0,35-	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	23	obl	_	_
19	und	und	CCONJ	KON	_	20	cc	_	_
20	0,25-µm-Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	18	conj	_	_
21	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	22	case	_	_
22	8-Zoll-Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	23	obl	_	_
23	produzieren	produzieren	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
24	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	23	punct	_	_
