Der Zeiss-Unternehmensbereich Halbleitertechnik liefert Lithografiesysteme und setzte im vergangen Jahr rund 518 Millionen Mark um .
1	Der	Der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Zeiss-Unternehmensbereich	Bereich	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	4	nsubj	_	_
3	Halbleitertechnik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	appos	_	_
4	liefert	liefern	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
5	Lithografiesysteme	System	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	4	obj	_	_
6	und	und	CCONJ	KON	_	7	cc	_	_
7	setzte	setzen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	4	conj	_	_
8-9	im	_	_	_	_	_	_	_	_
8	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
9	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	11	det	_	_
10	vergangen	vergangen	ADJ	ADJA	_	11	amod	_	_
11	Jahr	Jahr	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	7	obl	_	_
12	rund	rund	ADV	ADV	_	13	advmod	_	_
13	518	518	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	14	nummod	_	_
14	Millionen	Million	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	15	nummod	_	_
15	Mark	Mark	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	7	obj	_	_
16	um	um	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	7	compound:prt	_	_
17	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	4	punct	_	_
