Die belichteten Bereiche des Fotoresists werden mit einem Entwickler herausgelöst , und die übrigbleibenden Resiststrukturen dienen jetzt selbst als ätzresistente Maske für die nachfolgenden Prozesse , bei denen die nichtabgedeckten Flächen dotiert , geätzt oder auch gefüllt werden .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	3	det	_	_
2	belichteten	belichten	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Plur	3	amod	_	_
3	Bereiche	Bereich	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	10	nsubj:pass	_	_
4	des	des	DET	ART	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
5	Fotoresists	Fotoresists	NOUN	NN	Person=3	3	nmod	_	_
6	werden	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	10	aux:pass	_	_
7	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
8	einem	einem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
9	Entwickler	Entwickler	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	10	obl	_	_
10	herausgelöst	herauslösen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
11	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	16	punct	_	_
12	und	und	CCONJ	KON	_	16	cc	_	_
13	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	15	det	_	_
14	übrigbleibenden	übrigbleibenden	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Plur	15	amod	_	_
15	Resiststrukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	16	nsubj	_	_
16	dienen	dienen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	10	conj	_	_
17	jetzt	jetzt	ADV	ADV	_	16	advmod	_	_
18	selbst	selbst	ADV	ADV	_	21	advmod	_	_
19	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	21	case	_	_
20	ätzresistente	ätzresistente	ADJ	ADJA	Gender=Fem|Number=Sing	21	amod	_	_
21	Maske	Maske	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	16	obl	_	_
22	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep	25	case	_	_
23	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	25	det	_	_
24	nachfolgenden	nachfolgenden	ADJ	ADJA	Case=Acc|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Plur	25	amod	_	_
25	Prozesse	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	21	nmod	_	_
26	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	32	punct	_	_
27	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	28	case	_	_
28	denen	denen	PRON	PRELS	Case=Dat|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	32	obl	_	_
29	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	31	det	_	_
30	nichtabgedeckten	nichtabgedeckten	ADJ	ADJA	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Plur	31	amod	_	_
31	Flächen	Fläche	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	32	nsubj:pass	_	_
32	dotiert	dotieren	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	25	acl	_	_
33	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	34	punct	_	_
34	geätzt	ätzen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	32	conj	_	_
35	oder	oder	CCONJ	KON	_	37	cc	_	_
36	auch	auch	ADV	ADV	_	37	advmod	_	_
37	gefüllt	füllen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	32	conj	_	_
38	werden	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	32	aux:pass	_	_
39	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	10	punct	_	_
