Bestimmte Parameter der mit den neuen Prozessmodulen hergestellten Bauelemente variierten von Chip zu Chip um 50 Prozent .
1	Bestimmte	bestimmen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	2	amod	_	_
2	Parameter	Meter	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	10	nsubj	_	_
3	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	9	det	_	_
4	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	7	case	_	_
5	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	7	det	_	_
6	neuen	neu	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	7	amod	_	_
7	Prozessmodulen	Modul	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	8	obl	_	_
8	hergestellten	herstellen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	9	amod	_	_
9	Bauelemente	Bauelement	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	2	nmod	_	_
10	variierten	variieren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
11	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
12	Chip	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	10	obl	_	_
13	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
14	Chip	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	10	obl	_	_
15	um	um	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	17	case	_	_
16	50	50	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	17	nummod	_	_
17	Prozent	Prozent	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	10	obl	_	_
18	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	10	punct	_	_
