Nach Angaben der MEMS Industry Group setzte die Branche in 1999 rund 2 Milliarden US-Dollar um , bis 2004 soll sich diese Zahl vervierfachen .
1	Nach	Nach	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	2	case	_	_
2	Angaben	Angabe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	7	obl	_	_
3	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	4	det	_	_
4	MEMS	unknown	NOUN	NN	Person=3	2	nmod	_	_
5	Industry	Industry	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	4	appos	_	_
6	Group	Group	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	5	flat	_	_
7	setzte	setzen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
8	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
9	Branche	Branche	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	7	nsubj	_	_
10	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
11	1999	1999	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	7	obl	_	_
12	rund	rund	ADV	ADV	_	13	advmod	_	_
13	2	2	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	14	nummod	_	_
14	Milliarden	Milliarde	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	15	nummod	_	_
15	US-Dollar	Dollar	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	7	obj	_	_
16	um	um	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	7	compound:prt	_	_
17	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	24	punct	_	_
18	bis	bis	ADP	APPR	AdpType=Prep	19	case	_	_
19	2004	2004	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	24	obl	_	_
20	soll	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	24	aux	_	_
21	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	24	expl:pv	_	_
22	diese	dies	DET	PDAT	Case=Nom|Number=Sing|PronType=Dem	23	det	_	_
23	Zahl	Zahl	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	24	nsubj	_	_
24	vervierfachen	vervierfachen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	7	conj	_	_
25	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	7	punct	_	_
