Vor wenigen Tagen schlossen LSI Logic und TSMC ein Kooperationsabkommen über die 0,13-µm-Fertigungstechnik .
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2	wenigen	wenig	ADJ	PIDAT	Case=Dat|Number=Plur|Person=3	3	amod	_	_
3	Tagen	Tag	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	4	obl	_	_
4	schlossen	schließen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
5	LSI	LSI	PROPN	NE	Person=3	4	nsubj	_	_
6	Logic	Logic	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	5	flat	_	_
7	und	und	CCONJ	KON	_	8	cc	_	_
8	TSMC	TSMC	PROPN	NE	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	5	conj	_	_
9	ein	ein	DET	ART	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	10	det	_	_
10	Kooperationsabkommen	Abkommen	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	4	obj	_	_
11	über	über	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	13	case	_	_
12	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	13	det	_	_
13	0,13-µm-Fertigungstechnik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	10	nmod	_	_
14	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	4	punct	_	_
