Bei den zu erwartenden superdünnen Trennschichten in den Transistoren reduziert diese spezielle Schicht den Leckstrom .
1	Bei	Bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
2	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	6	det	_	_
3	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	4	mark	_	_
4	erwartenden	erwarten	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	6	amod	_	_
5	superdünnen	superdünnen	ADJ	ADJA	_	6	amod	_	_
6	Trennschichten	Schicht	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	10	obl	_	_
7	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
8	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	9	det	_	_
9	Transistoren	Transistor	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	6	nmod	_	_
10	reduziert	reduzieren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
11	diese	dies	DET	PDAT	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Dem	13	det	_	_
12	spezielle	speziell	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	13	amod	_	_
13	Schicht	Schicht	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	10	nsubj	_	_
14	den	den	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	15	det	_	_
15	Leckstrom	Strom	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	10	obj	_	_
16	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	10	punct	_	_
