In Agrate stellt ST Flash-Chips in 0,18-µm-Technik auf 200-mm-Wafern her , die 0,13-µm-Prozesse sind in Arbeit .
1	In	In	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	2	case	_	_
2	Agrate	Rate	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	obl	_	_
3	stellt	stellen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
4	ST	ST	PROPN	NE	Person=3	3	nsubj	_	_
5	Flash-Chips	Flash-Chips	PROPN	NE	Person=3	3	obj	_	_
6	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	7	case	_	_
7	0,18-µm-Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	obl	_	_
8	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
9	200-mm-Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	3	obl	_	_
10	her	her	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	3	compound:prt	_	_
11	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	16	punct	_	_
12	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	13	det	_	_
13	0,13-µm-Prozesse	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	16	nsubj	_	_
14	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	16	cop	_	_
15	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
16	Arbeit	Arbeit	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	conj	_	_
17	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
