Durch feinere Strukturen lassen sich mehr Transistoren pro Flächeneinheit unterbringen .
1	Durch	Durch	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	3	case	_	_
2	feinere	fein	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Number=Plur	3	amod	_	_
3	Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	4	obl	_	_
4	lassen	lassen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
5	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	4	obj	_	_
6	mehr	mehr	DET	PIAT	Degree=Cmp|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	7	det	_	_
7	Transistoren	Transistor	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	4	nsubj	_	_
8	pro	pro	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
9	Flächeneinheit	Einheit	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	10	obl	_	_
10	unterbringen	unterbringen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	4	xcomp	_	_
11	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	4	punct	_	_
