Der größte taiwanische Chiphersteller TSMC hat nach eigenen Angaben erste Fertigungsmodule für Halbleiterstrukturen von 100 Nanometern fertig gestellt .
1	Der	Der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	4	det	_	_
2	größte	groß	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Sup|Gender=Masc|Number=Sing	4	amod	_	_
3	taiwanische	taiwanisch	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	4	amod	_	_
4	Chiphersteller	Chiphersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	18	nsubj	_	_
5	TSMC	TSMC	PROPN	NE	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	4	flat:name	_	_
6	hat	haben	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	18	aux	_	_
7	nach	nach	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
8	eigenen	eigen	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	9	amod	_	_
9	Angaben	Angabe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	18	obl	_	_
10	erste	erste	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	11	amod	_	_
11	Fertigungsmodule	Modul	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	18	obj	_	_
12	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	13	case	_	_
13	Halbleiterstrukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	11	nmod	_	_
14	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
15	100	100	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	16	nummod	_	_
16	Nanometern	Meter	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	13	nmod	_	_
17	fertig	fertig	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	18	compound:prt	_	_
18	gestellt	stellen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
19	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	18	punct	_	_
