Nach Angaben von TSMC benötigt eine SRAM-Speicherzelle aus sechs Transistoren im 0,13-µm-Prozess 52 Prozent weniger Fläche als bei der Herstellung im 0,18-µm-Prozess .
1	Nach	Nach	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	2	case	_	_
2	Angaben	Angabe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	5	obl	_	_
3	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
4	TSMC	TSMC	PROPN	NE	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
5	benötigt	benötigen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
6	eine	eine	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	7	det	_	_
7	SRAM-Speicherzelle	Zelle	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	5	nsubj	_	_
8	aus	aus	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
9	sechs	sechs	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	10	nummod	_	_
10	Transistoren	Transistor	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	7	nmod	_	_
11-12	im	_	_	_	_	_	_	_	_
11	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	13	case	_	_
12	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	13	det	_	_
13	0,13-µm-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	5	obl	_	_
14	52	52	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	15	nummod	_	_
15	Prozent	Prozent	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	16	obl	_	_
16	weniger	wenig	DET	PIAT	Degree=Cmp|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	17	amod	_	_
17	Fläche	Fläche	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	5	obj	_	_
18	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	24	case	_	_
19	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	21	case	_	_
20	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	21	det	_	_
21	Herstellung	Herstellung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	24	nmod	_	_
22-23	im	_	_	_	_	_	_	_	_
22	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	24	case	_	_
23	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	24	det	_	_
24	0,18-µm-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	5	obl	_	_
25	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	5	punct	_	_
