Nach eigenen Angaben forscht Intel bereits seit 1999 an MEMS .
1	Nach	Nach	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	3	case	_	_
2	eigenen	eigen	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	3	amod	_	_
3	Angaben	Angabe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	4	obl	_	_
4	forscht	forschen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
5	Intel	Intel	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	4	nsubj	_	_
6	bereits	bereits	ADV	ADV	_	4	advmod	_	_
7	seit	seit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
8	1999	1999	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	4	obl	_	_
9	an	an	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
10	MEMS	MEMS	PROPN	NE	Person=3	4	obl	_	_
11	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	4	punct	_	_
