Ein nur 50 µ betragender Abstand zwischen den Schichten stellt eine erhöhte Anforderung an die Fokussierung der Laserdiode .
1	Ein	Ein	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
2	nur	nur	ADV	ADV	_	3	advmod	_	_
3	50	50	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	4	nummod	_	_
4	µ	µ	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	5	obj	_	_
5	betragender	betragen	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	6	amod	_	_
6	Abstand	Abstand	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	10	nsubj	_	_
7	zwischen	zwischen	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
8	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	9	det	_	_
9	Schichten	Schicht	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	6	nmod	_	_
10	stellt	stellen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
11	eine	eine	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	13	det	_	_
12	erhöhte	erhöhen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	13	amod	_	_
13	Anforderung	Anforderung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	10	obj	_	_
14	an	an	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	16	case	_	_
15	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	16	det	_	_
16	Fokussierung	Fokussierung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	13	nmod	_	_
17	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	18	det	_	_
18	Laserdiode	unknown	NOUN	NN	Person=3	16	nmod	_	_
19	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	10	punct	_	_
