Weitere technische Neuerungen der Produktionsstätte sind der Silicon-on-Insulator-Prozess , die von IBM entwickelten Low-K-Dielektrika sowie Kupfermetallisierung .
1	Weitere	weit	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Number=Plur	3	amod	_	_
2	technische	technisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	3	amod	_	_
3	Neuerungen	Neuerung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	0	root	_	_
4	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
5	Produktionsstätte	Stätte	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	nmod	_	_
6	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	3	cop	_	_
7	der	der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
8	Silicon-on-Insulator-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	3	nsubj	_	_
9	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	14	punct	_	_
10	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	14	det	_	_
11	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
12	IBM	IBM	PROPN	NE	Case=Dat|Number=Sing|Person=3	13	obl	_	_
13	entwickelten	entwickeln	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	14	amod	_	_
14	Low-K-Dielektrika	Low-K-Dielektrika	PROPN	NE	Person=3	8	conj	_	_
15	sowie	sowie	CCONJ	KON	_	16	cc	_	_
16	Kupfermetallisierung	unknown	NOUN	NN	Person=3	8	conj	_	_
17	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
