Die Hersteller solcher Anlagen und Geräte sowie die Zulieferer von Materialien setzen weltweit etwa 65 Milliarden US-Dollar um und sind im Verband SEMI zusammengeschlossen ( Semiconductor Equipment and Materials Industry ) .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	2	det	_	_
2	Hersteller	Hersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	12	nsubj	_	_
3	solcher	solch	DET	PIDAT	Case=Gen|Number=Plur|Person=3	4	det	_	_
4	Anlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	2	nmod	_	_
5	und	und	CCONJ	KON	_	6	cc	_	_
6	Geräte	Gerät	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	4	conj	_	_
7	sowie	sowie	CCONJ	KON	_	9	cc	_	_
8	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	9	det	_	_
9	Zulieferer	Zulieferer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	2	conj	_	_
10	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
11	Materialien	Material	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	9	nmod	_	_
12	setzen	setzen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
13	weltweit	weltweit	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	12	advmod	_	_
14	etwa	etwa	ADV	ADV	_	15	advmod	_	_
15	65	65	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	16	nummod	_	_
16	Milliarden	Milliarde	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	17	nummod	_	_
17	US-Dollar	Dollar	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	12	obj	_	_
18	um	um	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	12	compound:prt	_	_
19	und	und	CCONJ	KON	_	25	cc	_	_
20	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	25	aux:pass	_	_
21-22	im	_	_	_	_	_	_	_	_
21	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	23	case	_	_
22	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	23	det	_	_
23	Verband	Verband	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	25	obl	_	_
24	SEMI	SEMI	PROPN	NE	Case=Dat|Number=Sing|Person=3	23	flat:name	_	_
25	zusammengeschlossen	zusammenschließen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	12	conj	_	_
26	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	27	punct	_	_
27	Semiconductor	Semiconductor	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	23	appos	_	_
28	Equipment	Equipment	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	27	flat	_	_
29	and	and	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	27	flat	_	_
30	Materials	Materials	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	27	flat	_	_
31	Industry	Industry	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	27	flat	_	_
32	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	27	punct	_	_
33	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	12	punct	_	_
