Im 0,18-µ-Prozess und darunter liefen erst 17 Prozent aller gefertigten Bausteine vom Band .
1-2	Im	_	_	_	_	_	_	_	_
1	In	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	3	case	_	_
2	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	0,18-µ-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	6	obl	_	_
4	und	und	CCONJ	KON	_	5	cc	_	_
5	darunter	darunter	ADV	PROAV	_	3	conj	_	_
6	liefen	laufen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
7	erst	erst	ADV	ADV	_	6	advmod	_	_
8	17	17	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	9	nummod	_	_
9	Prozent	Prozent	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	6	nsubj	_	_
10	aller	all	DET	PIDAT	Case=Gen|Number=Plur|Person=3	12	det	_	_
11	gefertigten	fertigen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	12	amod	_	_
12	Bausteine	Baustein	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	9	nmod	_	_
13-14	vom	_	_	_	_	_	_	_	_
13	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	15	case	_	_
14	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	15	det	_	_
15	Band	Band	NOUN	NN	Number=Sing|Person=3	6	obl	_	_
16	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	6	punct	_	_
