Statt herkömmlicher Fertigungsstraßen sollen künftig hochintegrierte und intelligente Prozessmodule komplette Schritte der Waferbearbeitung übernehmen .
1	Statt	Statt	ADP	APPR	AdpType=Prep	3	case	_	_
2	herkömmlicher	herkömmlich	ADJ	ADJA	Case=Gen|Degree=Pos|Number=Plur	3	amod	_	_
3	Fertigungsstraßen	Straße	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	14	obl	_	_
4	sollen	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	14	aux	_	_
5	künftig	künftig	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	14	advmod	_	_
6	hochintegrierte	hochintegrierte	ADJ	ADJA	_	9	amod	_	_
7	und	und	CCONJ	KON	_	8	cc	_	_
8	intelligente	intelligent	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Neut|Number=Sing	6	conj	_	_
9	Prozessmodule	Modul	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	14	nsubj	_	_
10	komplette	komplett	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	11	amod	_	_
11	Schritte	Schritt	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	14	obj	_	_
12	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	13	det	_	_
13	Waferbearbeitung	Bearbeitung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	11	nmod	_	_
14	übernehmen	übernehmen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
15	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	14	punct	_	_
