Die EUV-Technik setzt wie bisher auf Masken , die die Belichtung größerer Bereiche eines Wafers in einem Schritt erlauben .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	EUV-Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	nsubj	_	_
3	setzt	setzen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
4	wie	wie	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	5	mark	_	_
5	bisher	bisher	ADV	ADV	_	3	advcl	_	_
6	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	7	case	_	_
7	Masken	Maske	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	3	obj	_	_
8	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	19	punct	_	_
9	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	19	nsubj	_	_
10	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	11	det	_	_
11	Belichtung	Belichtung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	19	obj	_	_
12	größerer	groß	ADJ	ADJA	Case=Gen|Degree=Cmp|Number=Plur	13	amod	_	_
13	Bereiche	Bereich	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	11	nmod	_	_
14	eines	eines	DET	ART	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	15	det	_	_
15	Wafers	Wafer	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	13	nmod	_	_
16	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
17	einem	einem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	18	det	_	_
18	Schritt	Schritt	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	11	nmod	_	_
19	erlauben	erlauben	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	7	acl	_	_
20	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
