Wie schon bei der Entwicklung der 300-mm-Produktionstechnik fließen kräftige Finanzspritzen der öffentlichen Hand in die Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG , an der sich der Freistaat Sachsen und die Firma M+W Zander beteiligen wollen .
1	Wie	Wie	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	5	case	_	_
2	schon	schon	ADV	ADV	_	5	advmod	_	_
3	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
4	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
5	Entwicklung	Entwicklung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	8	obl	_	_
6	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	7	det	_	_
7	300-mm-Produktionstechnik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	5	nmod	_	_
8	fließen	fließen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
9	kräftige	kräftig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	10	amod	_	_
10	Finanzspritzen	Spritze	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	8	nsubj	_	_
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12	öffentlichen	öffentlich	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	13	amod	_	_
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18	SC300	SC300	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	16	flat	_	_
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21	Co.	unknown	NOUN	NN	Person=3	16	conj	_	_
22	KG	unknown	NOUN	NN	Person=3	21	appos	_	_
23	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	35	punct	_	_
24	an	an	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	25	case	_	_
25	der	der	PRON	PRELS	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	35	obl	_	_
26	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	35	expl:pv	_	_
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35	beteiligen	beteiligen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	22	acl	_	_
36	wollen	wollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	35	aux	_	_
37	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	8	punct	_	_
