Der US-amerikanische Verband der Hersteller von Chip-Fertigungsanlagen , SEMI , meldet dagegen für Juni 2000 einen leichten Rückgang der Wachstumsrate .
1	Der	Der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
2	US-amerikanische	amerikanisch	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	3	amod	_	_
3	Verband	Verband	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	11	nsubj	_	_
4	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	5	det	_	_
5	Hersteller	Hersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	3	nmod	_	_
6	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	7	case	_	_
7	Chip-Fertigungsanlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	5	nmod	_	_
8	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	9	punct	_	_
9	SEMI	SEMI	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	3	appos	_	_
10	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	9	punct	_	_
11	meldet	melden	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
12	dagegen	dagegen	ADV	PROAV	_	11	advmod	_	_
13	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	14	case	_	_
14	Juni	Juni	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	11	obl	_	_
15	2000	2000	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	14	nmod	_	_
16	einen	einen	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	18	det	_	_
17	leichten	leicht	ADJ	ADJA	Case=Acc|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	18	amod	_	_
18	Rückgang	Rückgang	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	11	obj	_	_
19	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	20	det	_	_
20	Wachstumsrate	Wachstumsrate	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	18	nmod	_	_
21	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	11	punct	_	_
