Weltweit forschen die größten Chiphersteller fieberhaft an Verfahren , um Chips mit Strukturgrößen im 100-Nanometerbereich oder darunter in großer Stückzahl zu fertigen .
1	Weltweit	Weltweit	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	2	advmod	_	_
2	forschen	forschen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	5	det	_	_
4	größten	groß	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Sup|Gender=Masc|Number=Plur	5	amod	_	_
5	Chiphersteller	Chiphersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	2	nsubj	_	_
6	fieberhaft	fieberhaft	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	2	advmod	_	_
7	an	an	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
8	Verfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	2	obl	_	_
9	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	23	punct	_	_
10	um	um	SCONJ	KOUI	_	23	mark	_	_
11	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	23	obj	_	_
12	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	13	case	_	_
13	Strukturgrößen	Größe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	11	nmod	_	_
14-15	im	_	_	_	_	_	_	_	_
14	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
15	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	16	det	_	_
16	100-Nanometerbereich	Bereich	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	13	nmod	_	_
17	oder	oder	CCONJ	KON	_	18	cc	_	_
18	darunter	darunter	ADV	PROAV	_	16	conj	_	_
19	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	21	case	_	_
20	großer	groß	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	21	amod	_	_
21	Stückzahl	Stückzahl	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	23	obl	_	_
22	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	23	mark	_	_
23	fertigen	fertigen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	2	ccomp	_	_
24	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
