Dort sollen ab Anfang 2002 bis zu 30.000 300-mm-Wafer wöchentlich vom Band laufen .
1	Dort	Dort	ADV	ADV	_	14	advmod	_	_
2	sollen	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	14	aux	_	_
3	ab	ab	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
4	Anfang	Anfang	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	14	obl	_	_
5	2002	2002	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	4	nmod	_	_
6	bis	bis	ADP	APPR	AdpType=Prep	7	case	_	_
7	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	nmod	_	_
8	30.000	30.000	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	9	nummod	_	_
9	300-mm-Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	14	nsubj	_	_
10	wöchentlich	wöchentlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	14	advmod	_	_
11-12	vom	_	_	_	_	_	_	_	_
11	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	13	case	_	_
12	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	13	det	_	_
13	Band	Band	NOUN	NN	Number=Sing|Person=3	14	obl	_	_
14	laufen	laufen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
15	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	14	punct	_	_
