Die dort geplante Halbleiterfabrik Communicant soll SiGe:C-BiCMOS-Halbleiter in einem 0,18-µm-Prozess herstellen .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	4	det	_	_
2	dort	dort	ADV	ADV	_	3	advmod	_	_
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4	Halbleiterfabrik	Fabrik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	11	nsubj	_	_
5	Communicant	Communicant	PROPN	NE	Person=3	4	flat:name	_	_
6	soll	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	11	aux	_	_
7	SiGe:C-BiCMOS-Halbleiter	Halbleiter	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	11	obj	_	_
8	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
9	einem	einem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	10	det	_	_
10	0,18-µm-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	11	obl	_	_
11	herstellen	herstellen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
12	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	11	punct	_	_
