Das Gewicht der 300-mm-Wafer ist deutlich höher als das der 200-mm-Scheiben , weshalb zu ihrer Handhabung neu konstruierte Automaten nötig sind .
1	Das	Das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Gewicht	Gewicht	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	7	nsubj	_	_
3	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	4	det	_	_
4	300-mm-Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	2	nmod	_	_
5	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	7	cop	_	_
6	deutlich	deutlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	7	advmod	_	_
7	höher	hoch	ADJ	ADJD	Degree=Cmp|Variant=Short	0	root	_	_
8	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	9	case	_	_
9	das	das	PRON	PDS	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Dem	7	obl	_	_
10	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	11	det	_	_
11	200-mm-Scheiben	Scheibe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	9	nmod	_	_
12	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	20	punct	_	_
13	weshalb	weshalb	ADV	PWAV	PronType=Int	20	advmod	_	_
14	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
15	ihrer	ihrer	PRON	PPOSAT	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|Person=3|Poss=Yes|PronType=Prs	16	det	_	_
16	Handhabung	Handhabung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	20	obl	_	_
17	neu	neu	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	18	advmod	_	_
18	konstruierte	konstruieren	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Plur	19	amod	_	_
19	Automaten	Automat	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	20	nsubj	_	_
20	nötig	nötig	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	7	acl	_	_
21	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	20	cop	_	_
22	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	7	punct	_	_
