Die im 0,17-µm-Prozess gefertigten 128- und 256-MBit-Chips seien relativ gut nachgefragt worden .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	6	det	_	_
2-3	im	_	_	_	_	_	_	_	_
2	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
3	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	4	det	_	_
4	0,17-µm-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	5	obl	_	_
5	gefertigten	fertigen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	6	amod	_	_
6	128-	128-	NOUN	TRUNC	Hyph=Yes	12	nsubj:pass	_	_
7	und	und	CCONJ	KON	_	8	cc	_	_
8	256-MBit-Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	6	conj	_	_
9	seien	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	12	aux	_	_
10	relativ	relativ	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	11	advmod	_	_
11	gut	gut	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	12	advmod	_	_
12	nachgefragt	nachfragen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
13	worden	werden	AUX	VAPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	12	aux:pass	_	_
14	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	12	punct	_	_
