Die Kosten für die Entwicklung und die Anlagen zur Fertigung immer kleinerer Halbleiterstrukturen sind immens .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	2	det	_	_
2	Kosten	Kosten	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	16	nsubj	_	_
3	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	5	case	_	_
4	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
5	Entwicklung	Entwicklung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
6	und	und	CCONJ	KON	_	8	cc	_	_
7	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	8	det	_	_
8	Anlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	5	conj	_	_
9-10	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
9	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
10	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	11	det	_	_
11	Fertigung	Fertigung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	8	nmod	_	_
12	immer	immer	ADV	ADV	_	13	advmod	_	_
13	kleinerer	klein	ADJ	ADJA	Case=Gen|Degree=Cmp|Number=Plur	14	amod	_	_
14	Halbleiterstrukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	11	nmod	_	_
15	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	16	cop	_	_
16	immens	immens	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	0	root	_	_
17	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	16	punct	_	_
