Die Prozesstechnik ist für 0,18- , 0,15- und 0,13-µm-Strukturen geeignet .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Prozesstechnik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	10	nsubj:pass	_	_
3	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	10	aux:pass	_	_
4	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	5	case	_	_
5	0,18-	0,18-	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	10	obl	_	_
6	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	7	punct	_	_
7	0,15-	0,15-	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	5	conj	_	_
8	und	und	CCONJ	KON	_	9	cc	_	_
9	0,13-µm-Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	5	conj	_	_
10	geeignet	eignen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
11	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	10	punct	_	_
