Fast alle Halbleiterhersteller investieren derzeit gewaltige Summen in neue Fertigungslinien für die größeren Wafer .
1	Fast	Fast	ADV	ADV	_	2	advmod	_	_
2	alle	all	DET	PIDAT	Case=Nom|Number=Plur|Person=3	3	det	_	_
3	Halbleiterhersteller	Hersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	4	nsubj	_	_
4	investieren	investieren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
5	derzeit	derzeit	ADV	ADV	_	4	advmod	_	_
6	gewaltige	gewaltig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	7	amod	_	_
7	Summen	Summe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	4	obj	_	_
8	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	10	case	_	_
9	neue	neu	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	10	amod	_	_
10	Fertigungslinien	Linie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	4	obj	_	_
11	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	14	case	_	_
12	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	14	det	_	_
13	größeren	groß	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Number=Plur	14	amod	_	_
14	Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	10	nmod	_	_
15	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	4	punct	_	_
