Die geplante Fertigungskapazität im Endausbau beträgt 20.000 Wafer pro Monat .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
2	geplante	planen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	3	amod	_	_
3	Fertigungskapazität	Kapazität	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	7	nsubj	_	_
4-5	im	_	_	_	_	_	_	_	_
4	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
5	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
6	Endausbau	Ausbau	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	3	nmod	_	_
7	beträgt	betragen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
8	20.000	20.000	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	9	nummod	_	_
9	Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	7	obj	_	_
10	pro	pro	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
11	Monat	Monat	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	7	obl	_	_
12	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	7	punct	_	_
