Rund 30 Prozent aller MOS-Bauelemente wurden auf 8-Zoll-Wafern gefertigt , ebenfalls rund 30 Prozent der weltweiten MOS-Halbleiterfertigung nutzt Strukturgrößen von weniger als 0,30 Mikrometern .
1	Rund	Rund	ADV	ADV	_	2	advmod	_	_
2	30	30	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	3	nummod	_	_
3	Prozent	Prozent	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	9	nsubj:pass	_	_
4	aller	all	DET	PIDAT	Case=Gen|Number=Plur|Person=3	5	det	_	_
5	MOS-Bauelemente	Bauelement	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	3	nmod	_	_
6	wurden	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	9	aux:pass	_	_
7	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
8	8-Zoll-Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	9	obl	_	_
9	gefertigt	fertigen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
10	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	18	punct	_	_
11	ebenfalls	ebenfalls	ADV	ADV	_	13	advmod	_	_
12	rund	rund	ADV	ADV	_	13	advmod	_	_
13	30	30	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	14	nummod	_	_
14	Prozent	Prozent	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	18	nsubj	_	_
15	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	17	det	_	_
16	weltweiten	weltweit	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	17	amod	_	_
17	MOS-Halbleiterfertigung	Fertigung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	14	nmod	_	_
18	nutzt	nutzen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	9	conj	_	_
19	Strukturgrößen	Größe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	18	obj	_	_
20	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	24	case	_	_
21	weniger	weniger	ADV	ADV	Degree=Cmp	23	advmod	_	_
22	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	21	case	_	_
23	0,30	0,30	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	24	nummod	_	_
24	Mikrometern	Mikrometer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	19	nmod	_	_
25	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	9	punct	_	_
