Nach Angaben des Unternehmens gelang es , dünne Schichten aus so genannten III-V-Halbleitern wie Galliumarsenid ( GaAs ) oder Indiumphosphid ( InP ) auf einem darunterliegenden Siliziumwafer wachsen zu lassen .
1	Nach	Nach	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	2	case	_	_
2	Angaben	Angabe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	5	obl	_	_
3	des	des	DET	ART	Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	4	det	_	_
4	Unternehmens	Unternehmen	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
5	gelang	gelingen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
6	es	es	PRON	PPER	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Prs	5	expl	_	_
7	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	30	punct	_	_
8	dünne	dünn	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Plur	9	amod	_	_
9	Schichten	Schicht	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	30	obj	_	_
10	aus	aus	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	13	case	_	_
11	so	so	ADV	ADV	Degree=Pos	12	advmod	_	_
12	genannten	nennen	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Plur	13	amod	_	_
13	III-V-Halbleitern	Halbleiter	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	9	nmod	_	_
14	wie	wie	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	15	case	_	_
15	Galliumarsenid	Galliumarsenid	PROPN	NE	Person=3	13	obl	_	_
16	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	17	punct	_	_
17	GaAs	unknown	NOUN	NN	Person=3	15	appos	_	_
18	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	17	punct	_	_
19	oder	oder	CCONJ	KON	_	20	cc	_	_
20	Indiumphosphid	Indiumphosphid	PROPN	NE	Person=3	17	conj	_	_
21	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	22	punct	_	_
22	InP	unknown	NOUN	NN	Person=3	20	appos	_	_
23	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	22	punct	_	_
24	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	27	case	_	_
25	einem	einem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	27	det	_	_
26	darunterliegenden	darunterliegend	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	27	amod	_	_
27	Siliziumwafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	28	obl	_	_
28	wachsen	wachsen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	30	xcomp	_	_
29	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	30	mark	_	_
30	lassen	lassen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	5	csubj	_	_
31	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	5	punct	_	_
