51 Prozent dieses Umsatzes entfielen auf Wafer mit Strukturgrößen von 0,25 Mikrometern und weniger .
1	51	51	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	2	nummod	_	_
2	Prozent	Prozent	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	5	nsubj	_	_
3	dieses	dies	DET	PDAT	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Dem	4	det	_	_
4	Umsatzes	Umsatz	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
5	entfielen	entfallen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
6	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	7	case	_	_
7	Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	5	obl	_	_
8	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
9	Strukturgrößen	Größe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	7	nmod	_	_
10	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
11	0,25	0,25	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	12	nummod	_	_
12	Mikrometern	Mikrometer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	9	nmod	_	_
13	und	und	CCONJ	KON	_	14	cc	_	_
14	weniger	wenig	PRON	PIS	Degree=Cmp|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	12	conj	_	_
15	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	5	punct	_	_
