Nach eigenen Angaben hat man bereits Prototypen solcher Zellen mit einer Fläche von etwa 0,25 µm2 hergestellt , die damit etwa acht bis zehmal kleiner sind , als in einem 0,13-µ-Siliziumprozess hergestellte SRAM-Speicherzellen mit sechs Transistoren .
1	Nach	Nach	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	3	case	_	_
2	eigenen	eigen	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	3	amod	_	_
3	Angaben	Angabe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	17	obl	_	_
4	hat	haben	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	17	aux	_	_
5	man	man	PRON	PIS	Case=Nom|Number=Sing|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	17	nsubj	_	_
6	bereits	bereits	ADV	ADV	_	17	advmod	_	_
7	Prototypen	Prototyp	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	17	obj	_	_
8	solcher	solch	DET	PIDAT	Case=Gen|Number=Plur|Person=3	9	det	_	_
9	Zellen	Zelle	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	7	nmod	_	_
10	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
11	einer	einer	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	12	det	_	_
12	Fläche	Fläche	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	7	nmod	_	_
13	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
14	etwa	etwa	ADV	ADV	_	15	advmod	_	_
15	0,25	0,25	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	16	nummod	_	_
16	µm2	µm2	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	12	nmod	_	_
17	hergestellt	herstellen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
18	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	25	punct	_	_
19	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	25	nsubj	_	_
20	damit	damit	ADV	PROAV	_	25	advmod	_	_
21	etwa	etwa	ADV	ADV	_	22	advmod	_	_
22	acht	acht	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	25	obl	_	_
23	bis	bis	ADP	APPR	AdpType=Prep	24	case	_	_
24	zehmal	zehmal	ADV	ADV	_	22	nmod	_	_
25	kleiner	klein	ADJ	ADJD	Degree=Cmp|Variant=Short	16	acl	_	_
26	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	25	cop	_	_
27	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	33	punct	_	_
28	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	33	case	_	_
29	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	31	case	_	_
30	einem	einem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	31	det	_	_
31	0,13-µ-Siliziumprozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	32	obl	_	_
32	hergestellte	herstellen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	33	amod	_	_
33	SRAM-Speicherzellen	Zelle	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	25	obl	_	_
34	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	36	case	_	_
35	sechs	sechs	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	36	nummod	_	_
36	Transistoren	Transistor	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	33	nmod	_	_
37	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	17	punct	_	_
