Die 128- und 256-Megabit-Bausteine fertigt das Unternehmen mit Strukturbreiten von nur 0,15 µm .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	2	det	_	_
2	128-	128-	NOUN	TRUNC	Hyph=Yes	5	obj	_	_
3	und	und	CCONJ	KON	_	4	cc	_	_
4	256-Megabit-Bausteine	Baustein	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	2	conj	_	_
5	fertigt	fertigen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
6	das	das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	7	det	_	_
7	Unternehmen	Unternehmen	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	5	nsubj	_	_
8	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
9	Strukturbreiten	Breite	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	5	obl	_	_
10	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	13	case	_	_
11	nur	nur	ADV	ADV	_	12	advmod	_	_
12	0,15	0,15	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	13	nummod	_	_
13	µm	µm	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	9	nmod	_	_
14	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	5	punct	_	_
