Bisher konnte man dort nur Chips mit 0,22-µm-Strukturen fertigen .
1	Bisher	Bisher	ADV	ADV	_	9	advmod	_	_
2	konnte	können	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	9	aux	_	_
3	man	man	PRON	PIS	Case=Nom|Number=Sing|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	9	nsubj	_	_
4	dort	dort	ADV	ADV	_	9	advmod	_	_
5	nur	nur	ADV	ADV	_	6	advmod	_	_
6	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	9	obj	_	_
7	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
8	0,22-µm-Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	6	nmod	_	_
9	fertigen	fertigen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
10	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	9	punct	_	_
