Bislang war das nicht möglich , unter anderem weil die unterschiedliche Kristallstruktur der Materialien zu Fehlern in den III-V-Halbleitern führte .
1	Bislang	Bislang	ADV	ADV	_	5	advmod	_	_
2	war	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	5	cop	_	_
3	das	das	PRON	PDS	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Dem	5	nsubj	_	_
4	nicht	nicht	PART	PTKNEG	Polarity=Neg	5	advmod	_	_
5	möglich	möglich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	0	root	_	_
6	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	8	punct	_	_
7	unter	unter	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
8	anderem	ander	PRON	PIS	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	5	obl	_	_
9	weil	weil	SCONJ	KOUS	_	20	mark	_	_
10	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	12	det	_	_
11	unterschiedliche	unterschiedlich	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	12	amod	_	_
12	Kristallstruktur	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	20	nsubj	_	_
13	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	14	det	_	_
14	Materialien	Material	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	12	nmod	_	_
15	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
16	Fehlern	Fehler	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	20	obj	_	_
17	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	19	case	_	_
18	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	19	det	_	_
19	III-V-Halbleitern	Halbleiter	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	16	nmod	_	_
20	führte	führen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	5	ccomp	_	_
21	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	5	punct	_	_
