Fast ein Viertel davon fließt in Anlagen zur Produktion von Chips mit 0,18- und 0,15-µm-Strukturen .
1	Fast	Fast	ADV	ADV	_	2	advmod	_	_
2	ein	ein	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	Viertel	Viertel	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	5	nsubj	_	_
4	davon	davon	ADV	PROAV	_	3	advmod	_	_
5	fließt	fließen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
6	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	7	case	_	_
7	Anlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	5	obl	_	_
8-9	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
8	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
9	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	10	det	_	_
10	Produktion	Produktion	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	7	nmod	_	_
11	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
12	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	10	nmod	_	_
13	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
14	0,18-	0,18-	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	12	nmod	_	_
15	und	und	CCONJ	KON	_	16	cc	_	_
16	0,15-µm-Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	14	conj	_	_
17	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	5	punct	_	_
