Momentan findet ein weltweiter Wettlauf um die kommende Halbleiter-Lithografietechnik statt , mit der sich die zur weiteren Leistungssteigerung von Chips nötigen verkleinerten Strukturen herstellen lassen .
1	Momentan	momentan	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	2	advmod	_	_
2	findet	finden	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	ein	ein	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
4	weltweiter	weltweit	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	5	amod	_	_
5	Wettlauf	Wettlauf	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	2	nsubj	_	_
6	um	um	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	9	case	_	_
7	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
8	kommende	kommen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	9	amod	_	_
9	Halbleiter-Lithografietechnik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	5	nmod	_	_
10	statt	statt	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	2	compound:prt	_	_
11	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	26	punct	_	_
12	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	13	case	_	_
13	der	der	PRON	PRELS	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	25	obl	_	_
14	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	25	obj	_	_
15	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	24	det	_	_
16-17	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
16	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	19	case	_	_
17	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	19	det	_	_
18	weiteren	weit	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Number=Sing	19	amod	_	_
19	Leistungssteigerung	Steigerung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	22	obl	_	_
20	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	21	case	_	_
21	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	19	nmod	_	_
22	nötigen	nötig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	24	amod	_	_
23	verkleinerten	verkleinern	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	24	amod	_	_
24	Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	26	nsubj	_	_
25	herstellen	herstellen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	26	xcomp	_	_
26	lassen	lassen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	9	acl	_	_
27	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
