Die 300-mm-Pilotlinie in der TSMC-Fab 6 im taiwanischen Tainan produzierte als erstes gut eingeführte Bauelemente im 0,18-µm-Prozess , die bislang auf 200-mm-Wafern entstehen .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	300-mm-Pilotlinie	Linie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	11	nsubj	_	_
3	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
4	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
5	TSMC-Fab	Fab	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
6	6	6	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	5	flat	_	_
7-8	im	_	_	_	_	_	_	_	_
7	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
8	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	10	det	_	_
9	taiwanischen	taiwanisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	10	amod	_	_
10	Tainan	unknown	NOUN	NN	Person=3	5	nmod	_	_
11	produzierte	produzieren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
12	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	13	mark	_	_
13	erstes	erste	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Neut|Number=Sing	11	advcl	_	_
14	gut	gut	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	15	advmod	_	_
15	eingeführte	einführen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	16	amod	_	_
16	Bauelemente	Bauelement	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	11	obj	_	_
17-18	im	_	_	_	_	_	_	_	_
17	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	19	case	_	_
18	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	19	det	_	_
19	0,18-µm-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	11	obl	_	_
20	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	25	punct	_	_
21	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	25	nsubj	_	_
22	bislang	bislang	ADV	ADV	_	25	advmod	_	_
23	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	24	case	_	_
24	200-mm-Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	25	obl	_	_
25	entstehen	entstehen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	16	acl	_	_
26	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	11	punct	_	_
