Der Nachfolger Samuel 2 soll dagegen in einem 0,15-µm-Prozess hergestellt werden .
1	Der	Der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Nachfolger	Nachfolger	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	10	nsubj:pass	_	_
3	Samuel	Samuel	PROPN	NE	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	2	flat:name	_	_
4	2	2	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	2	flat	_	_
5	soll	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	10	aux	_	_
6	dagegen	dagegen	ADV	PROAV	_	10	advmod	_	_
7	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
8	einem	einem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
9	0,15-µm-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	10	obl	_	_
10	hergestellt	herstellen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
11	werden	werden	AUX	VAINF	VerbForm=Inf	10	aux:pass	_	_
12	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	10	punct	_	_
