Ziel ist es , innerhalb der nächsten fünf Jahre die Technik zur Herstellung von 70-Nanometer-Strukturen serienreif zu machen .
1	Ziel	Ziel	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	0	root	_	_
2	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	1	cop	_	_
3	es	es	PRON	PPER	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Prs	1	expl	_	_
4	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	19	punct	_	_
5	innerhalb	innerhalb	ADP	APPR	AdpType=Prep	9	case	_	_
6	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	9	det	_	_
7	nächsten	nächste	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	9	amod	_	_
8	fünf	fünf	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	9	nummod	_	_
9	Jahre	Jahr	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	19	obl	_	_
10	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	11	det	_	_
11	Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	19	obj	_	_
12-13	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
12	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
13	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
14	Herstellung	Herstellung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	11	nmod	_	_
15	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
16	70-Nanometer-Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	14	nmod	_	_
17	serienreif	serienreif	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	19	xcomp	_	_
18	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	19	mark	_	_
19	machen	machen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	1	csubj	_	_
20	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	1	punct	_	_
