Diese Anlagen sind mit Argonfluoridlasern ausgerüstet , die Licht mit einer Wellenlänge von 193 Nanometern emittieren .
1	Diese	dies	DET	PDAT	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Dem	2	det	_	_
2	Anlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	6	nsubj:pass	_	_
3	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	6	aux:pass	_	_
4	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
5	Argonfluoridlasern	Laser	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	6	obl	_	_
6	ausgerüstet	ausrüsten	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
7	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	16	punct	_	_
8	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	16	nsubj	_	_
9	Licht	Licht	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	16	obj	_	_
10	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
11	einer	einer	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	12	det	_	_
12	Wellenlänge	Wellenlänge	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	16	obl	_	_
13	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	15	case	_	_
14	193	193	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	15	nummod	_	_
15	Nanometern	Meter	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	12	nmod	_	_
16	emittieren	emittieren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	5	acl	_	_
17	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	6	punct	_	_
