Auch die US-Hersteller von Anlagen zur Halbleiterproduktion melden Rekordwerte :
1	Auch	Auch	ADV	ADV	_	3	advmod	_	_
2	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	3	det	_	_
3	US-Hersteller	Hersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	9	nsubj	_	_
4	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
5	Anlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	3	nmod	_	_
6-7	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
6	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
7	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
8	Halbleiterproduktion	Produktion	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	5	nmod	_	_
9	melden	melden	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
10	Rekordwerte	Wert	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	9	obj	_	_
11	:	:	PUNCT	$.	PunctType=Peri	9	punct	_	_
