Neu und besonders vorteilhaft ist die Verwendung der größeren Siliziumscheiben , die wesentlich mehr Fläche und damit mehr Ausbeute als die üblichen 200-mm-Scheiben bieten .
1	Neu	neu	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	0	root	_	_
2	und	und	CCONJ	KON	_	4	cc	_	_
3	besonders	besonders	ADV	ADV	_	4	advmod	_	_
4	vorteilhaft	vorteilhaft	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	1	conj	_	_
5	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	1	cop	_	_
6	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	7	det	_	_
7	Verwendung	Verwendung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	1	nsubj	_	_
8	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	10	det	_	_
9	größeren	groß	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Number=Plur	10	amod	_	_
10	Siliziumscheiben	Scheibe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	7	nmod	_	_
11	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	24	punct	_	_
12	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	24	nsubj	_	_
13	wesentlich	wesentlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	14	advmod	_	_
14	mehr	mehr	DET	PIAT	Degree=Cmp|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	15	det	_	_
15	Fläche	Fläche	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	24	obj	_	_
16	und	und	CCONJ	KON	_	19	cc	_	_
17	damit	damit	ADV	PROAV	_	19	advmod	_	_
18	mehr	mehr	DET	PIAT	Degree=Cmp|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	19	det	_	_
19	Ausbeute	Ausbeute	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	15	conj	_	_
20	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	23	case	_	_
21	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	23	det	_	_
22	üblichen	üblich	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	23	amod	_	_
23	200-mm-Scheiben	Scheibe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	19	obl	_	_
24	bieten	bieten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	10	acl	_	_
25	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	1	punct	_	_
