Nach US-Berichten plant IBM jetzt den Einstieg bei EUV LLC , einer Industrievereinigung zur Enwticklung einer neuen Lithografietechnik für noch kleinere Chipstrukturen ( Extreme-Ultraviolet ) .
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25	Extreme-Ultraviolet	Extreme-Ultraviolet	PROPN	NE	Person=3	23	appos	_	_
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