Infineon liefert bereits die ersten 64-MBit-DRAM-Chips aus , die auf Siliziumwafern mit 300 Millimetern Scheibendurchmesser hergestellt wurden .
1	Infineon	Infineon	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	2	nsubj	_	_
2	liefert	liefern	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	bereits	bereits	ADV	ADV	_	2	advmod	_	_
4	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	6	det	_	_
5	ersten	erste	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	6	amod	_	_
6	64-MBit-DRAM-Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	2	obj	_	_
7	aus	aus	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	2	compound:prt	_	_
8	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	16	punct	_	_
9	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	16	nsubj:pass	_	_
10	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
11	Siliziumwafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	16	obl	_	_
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13	300	300	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	14	nummod	_	_
14	Millimetern	Millimeter	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	11	nmod	_	_
15	Scheibendurchmesser	Durchmesser	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	14	appos	_	_
16	hergestellt	herstellen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	6	acl	_	_
17	wurden	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	16	aux:pass	_	_
18	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
