Dieser einfachere Aufbau und die Strukturverkleinerung führen zu einem kleineren Silizium-Flächenbedarf , was wiederum geringere Kosten bedeutet .
1	Dieser	dies	DET	PDAT	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Dem	3	det	_	_
2	einfachere	einfach	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Cmp|Gender=Masc|Number=Sing	3	amod	_	_
3	Aufbau	Aufbau	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	7	nsubj	_	_
4	und	und	CCONJ	KON	_	6	cc	_	_
5	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
6	Strukturverkleinerung	Verkleinerung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	conj	_	_
7	führen	führen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
8	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
9	einem	einem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	11	det	_	_
10	kleineren	klein	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Number=Sing	11	amod	_	_
11	Silizium-Flächenbedarf	Bedarf	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	7	obj	_	_
12	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	17	punct	_	_
13	was	was	PRON	PRELS	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	17	nsubj	_	_
14	wiederum	wiederum	ADV	ADV	_	17	advmod	_	_
15	geringere	gering	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Number=Plur	16	amod	_	_
16	Kosten	Kosten	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	17	obj	_	_
17	bedeutet	bedeuten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	7	acl	_	_
18	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	7	punct	_	_
