In dem Verbund arbeiten neben einigen Forschungsinstituten die deutschen Unternehmen Carl Zeiss , Lambda Physik , Jenoptik , Schott und Siemens , sowie der niederländische Hersteller spezieller Belichtungsgeräte ASML .
1	In	In	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	3	case	_	_
2	dem	dem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	Verbund	Verbund	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	4	obl	_	_
4	arbeiten	arbeiten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
5	neben	neben	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	7	case	_	_
6	einigen	einig	DET	PIAT	Case=Dat|Number=Plur|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	7	det	_	_
7	Forschungsinstituten	Institut	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	4	obl	_	_
8	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	10	det	_	_
9	deutschen	deutsch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	10	amod	_	_
10	Unternehmen	Unternehmen	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	4	nsubj	_	_
11	Carl	Carl	PROPN	NE	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	10	flat:name	_	_
12	Zeiss	Zeiss	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	10	flat:name	_	_
13	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	14	punct	_	_
14	Lambda	Lambda	PROPN	NE	Person=3	10	conj	_	_
15	Physik	Physik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	14	appos	_	_
16	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	17	punct	_	_
17	Jenoptik	Jenoptik	PROPN	NE	Person=3	10	conj	_	_
18	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	19	punct	_	_
19	Schott	Schott	PROPN	NE	Number=Sing|Person=3	10	conj	_	_
20	und	und	CCONJ	KON	_	21	cc	_	_
21	Siemens	Siemens	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	10	conj	_	_
22	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	26	punct	_	_
23	sowie	sowie	CCONJ	KON	_	26	cc	_	_
24	der	der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	26	det	_	_
25	niederländische	niederländisch	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	26	amod	_	_
26	Hersteller	Hersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	21	conj	_	_
27	spezieller	speziell	ADJ	ADJA	Case=Gen|Degree=Pos|Number=Plur	28	amod	_	_
28	Belichtungsgeräte	Gerät	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	26	nmod	_	_
29	ASML	ASML	PROPN	NE	Person=3	26	flat:name	_	_
30	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	4	punct	_	_
