Intels neuer 0,13-µm-Prozess bietet sechs Kupfer-Metalllagen , die Transistoren haben wegen eines besonderen Aufbaus nur eine Gatelänge von 70 Nanometern sowie eine Gate-Oxid-Schichtdicke von nur 1,5 nm .
1	Intels	Intels	PROPN	NE	Case=Gen|Number=Sing|Person=3	3	nmod	_	_
2	neuer	neu	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	3	amod	_	_
3	0,13-µm-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	4	nsubj	_	_
4	bietet	bieten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
5	sechs	sechs	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	6	nummod	_	_
6	Kupfer-Metalllagen	Lage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	4	obj	_	_
7	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	10	punct	_	_
8	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	9	det	_	_
9	Transistoren	Transistor	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	10	nsubj	_	_
10	haben	haben	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	4	conj	_	_
11	wegen	wegen	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Gen	14	case	_	_
12	eines	eines	DET	ART	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
13	besonderen	besondere	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	14	amod	_	_
14	Aufbaus	Aufbau	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	10	obl	_	_
15	nur	nur	ADV	ADV	_	17	advmod	_	_
16	eine	eine	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	17	det	_	_
17	Gatelänge	Länge	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	10	obj	_	_
18	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	20	case	_	_
19	70	70	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	20	nummod	_	_
20	Nanometern	Meter	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	17	nmod	_	_
21	sowie	sowie	CCONJ	KON	_	23	cc	_	_
22	eine	eine	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	23	det	_	_
23	Gate-Oxid-Schichtdicke	Dicke	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	17	conj	_	_
24	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	27	case	_	_
25	nur	nur	ADV	ADV	_	26	advmod	_	_
26	1,5	1,5	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	27	nummod	_	_
27	nm	nm	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	23	nmod	_	_
28	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	4	punct	_	_
