Der taiwanische Chiphersteller TSMC fertigt bereits erste Prototypen mit 0,13-µm-Strukturen .
1	Der	Der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
2	taiwanische	taiwanisch	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	3	amod	_	_
3	Chiphersteller	Chiphersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	5	nsubj	_	_
4	TSMC	TSMC	PROPN	NE	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	flat:name	_	_
5	fertigt	fertigen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
6	bereits	bereits	ADV	ADV	_	5	advmod	_	_
7	erste	erste	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	8	amod	_	_
8	Prototypen	Prototyp	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	5	obj	_	_
9	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
10	0,13-µm-Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	8	nmod	_	_
11	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	5	punct	_	_
