Die verkleinerten Strukturen lassen sich mit bestehender Prozesstechnik für 0,18-µm-Strukturen nur mit riesigem Aufwand fertigen .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	3	det	_	_
2	verkleinerten	verkleinern	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	3	amod	_	_
3	Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	4	nsubj	_	_
4	lassen	lassen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
5	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	4	obj	_	_
6	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
7	bestehender	bestehen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	8	amod	_	_
8	Prozesstechnik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	15	obl	_	_
9	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	10	case	_	_
10	0,18-µm-Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	8	nmod	_	_
11	nur	nur	ADV	ADV	_	14	advmod	_	_
12	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
13	riesigem	riesig	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Sing	14	amod	_	_
14	Aufwand	Aufwand	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	15	obl	_	_
15	fertigen	fertigen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	4	xcomp	_	_
16	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	4	punct	_	_
