Bereits der Beitritt von Infineon zur EUV LLC rief Kritiker auf den Plan .
1	Bereits	Bereits	ADV	ADV	_	3	advmod	_	_
2	der	der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	Beitritt	Beitritt	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	10	nsubj	_	_
4	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
5	Infineon	Infineon	PROPN	NE	Case=Dat|Number=Sing|Person=3	3	nmod	_	_
6-7	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
6	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
7	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
8	EUV	EUV	PROPN	NE	Person=3	3	nmod	_	_
9	LLC	LLC	PROPN	NE	Person=3	8	flat:name	_	_
10	rief	rufen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
11	Kritiker	Kritiker	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	10	obj	_	_
12	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	14	case	_	_
13	den	den	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
14	Plan	Plan	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	10	obl	_	_
15	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	10	punct	_	_
