Zwischen August 2000 und Februar 2001 soll auf 3,4 Hektar eine Anlage zur Verarbeitung von 8-Zoll- ( 200-mm- ) Wafern entstehen .
1	Zwischen	Zwischen	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	2	case	_	_
2	August	August	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	22	obl	_	_
3	2000	2000	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	2	nmod	_	_
4	und	und	CCONJ	KON	_	5	cc	_	_
5	Februar	Februar	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	2	conj	_	_
6	2001	2001	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	5	nmod	_	_
7	soll	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	22	aux	_	_
8	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
9	3,4	3,4	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	10	nummod	_	_
10	Hektar	Hektar	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	22	obl	_	_
11	eine	eine	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	12	det	_	_
12	Anlage	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	22	nsubj	_	_
13-14	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
13	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	15	case	_	_
14	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	15	det	_	_
15	Verarbeitung	Verarbeitung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	12	nmod	_	_
16	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	17	case	_	_
17	8-Zoll-	8-Zoll-	NOUN	TRUNC	Hyph=Yes	15	nmod	_	_
18	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	19	punct	_	_
19	200-mm-	200-mm-	NOUN	TRUNC	Hyph=Yes	17	appos	_	_
20	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	19	punct	_	_
21	Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	19	appos	_	_
22	entstehen	entstehen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
23	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	22	punct	_	_
