Die winzigen Intel-Transistoren müssen mit einer Gate-Isolierschicht von nur noch drei Atomen auskommen .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	3	det	_	_
2	winzigen	winzig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	3	amod	_	_
3	Intel-Transistoren	Transistor	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	13	nsubj	_	_
4	müssen	müssen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	13	aux	_	_
5	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	7	case	_	_
6	einer	einer	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	7	det	_	_
7	Gate-Isolierschicht	Schicht	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	13	obl	_	_
8	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
9	nur	nur	ADV	ADV	_	11	advmod	_	_
10	noch	noch	ADV	ADV	_	11	advmod	_	_
11	drei	drei	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	12	nummod	_	_
12	Atomen	Atom	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	7	nmod	_	_
13	auskommen	auskommen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
14	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	13	punct	_	_
