Nach Firmenangaben habe man auf Testwafern mit Schaltungen in 0,13-µm-Technik bereits eine Ausbeute guter Chips ( " Yield " ) von über 98 Prozent erreicht .
1	Nach	Nach	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	2	case	_	_
2	Firmenangaben	Angabe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	25	obl	_	_
3	habe	haben	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	25	aux	_	_
4	man	man	PRON	PIS	Case=Nom|Number=Sing|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	25	nsubj	_	_
5	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
6	Testwafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	25	obl	_	_
7	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
8	Schaltungen	Schaltung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	6	nmod	_	_
9	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
10	0,13-µm-Technik	0,13-µm-Technik	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	8	nmod	_	_
11	bereits	bereits	ADV	ADV	_	25	advmod	_	_
12	eine	eine	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	13	det	_	_
13	Ausbeute	Ausbeute	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	25	obj	_	_
14	guter	gut	ADJ	ADJA	Case=Gen|Degree=Pos|Number=Plur	15	amod	_	_
15	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	13	nmod	_	_
16	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	18	punct	_	_
17	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	18	punct	_	_
18	Yield	Yield	PROPN	NE	Person=3	13	appos	_	_
19	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	18	punct	_	_
20	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	18	punct	_	_
21	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	24	case	_	_
22	über	über	ADV	ADV	_	23	advmod	_	_
23	98	98	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	24	nummod	_	_
24	Prozent	Prozent	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	13	nmod	_	_
25	erreicht	erreichen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
26	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	25	punct	_	_
