Beide Firmen stellen Anlagen zur Produktion von Halbleiterchips her .
1	Beide	beide	DET	PIDAT	Case=Nom|Number=Plur|Person=3	2	det	_	_
2	Firmen	Firma	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	3	nsubj	_	_
3	stellen	stellen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
4	Anlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	3	obj	_	_
5-6	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
5	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	7	case	_	_
6	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	7	det	_	_
7	Produktion	Produktion	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	4	nmod	_	_
8	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
9	Halbleiterchips	Halbleiterchips	PROPN	NE	Person=3	7	nmod	_	_
10	her	her	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	3	compound:prt	_	_
11	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
