Dieselbe Zelle fällt bei TSMC mit 2,43 Quadratmikrometern etwas größer aus .
1	Dieselbe	derselbe	DET	PDAT	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Dem	2	det	_	_
2	Zelle	Zelle	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	nsubj	_	_
3	fällt	fallen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
4	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
5	TSMC	TSMC	PROPN	NE	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	obl	_	_
6	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
7	2,43	2,43	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	8	nummod	_	_
8	Quadratmikrometern	Mikrometer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	3	obl	_	_
9	etwas	etwas	ADV	ADV	_	10	advmod	_	_
10	größer	groß	ADJ	ADJD	Degree=Cmp|Variant=Short	3	advmod	_	_
11	aus	aus	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	3	compound:prt	_	_
12	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
