Das LETI besitzt eigene Reinräume und stellte im vergangenen Jahr den Prototyp eines 20-Nanometer-Transistors vor .
1	Das	Das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	LETI	LETI	PROPN	NE	Person=3	3	nsubj	_	_
3	besitzt	besitzen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
4	eigene	eigen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	5	amod	_	_
5	Reinräume	Raum	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	3	obj	_	_
6	und	und	CCONJ	KON	_	7	cc	_	_
7	stellte	stellen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	3	conj	_	_
8-9	im	_	_	_	_	_	_	_	_
8	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
9	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	11	det	_	_
10	vergangenen	vergehen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	11	amod	_	_
11	Jahr	Jahr	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	7	obl	_	_
12	den	den	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	13	det	_	_
13	Prototyp	Prototyp	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	7	obj	_	_
14	eines	eines	DET	ART	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	15	det	_	_
15	20-Nanometer-Transistors	Transistor	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	13	nmod	_	_
16	vor	vor	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	7	compound:prt	_	_
17	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
