EUV LLC , das Forschungkonsortium zur Entwicklung von Halbleiter-Produktionstechnik mittels extremem Ultraviolettlicht ( EUV ) , hat eine Anlage für Tests der neuen Technik fertig gestellt .
1	EUV	EUV	PROPN	NE	Person=3	27	nsubj	_	_
2	LLC	LLC	PROPN	NE	Person=3	1	flat:name	_	_
3	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	5	punct	_	_
4	das	das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
5	Forschungkonsortium	Konsortium	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	1	appos	_	_
6-7	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
6	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
7	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
8	Entwicklung	Entwicklung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	5	nmod	_	_
9	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
10	Halbleiter-Produktionstechnik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	8	nmod	_	_
11	mittels	mittels	ADP	APPR	AdpType=Prep	13	case	_	_
12	extremem	extrem	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Sing	13	amod	_	_
13	Ultraviolettlicht	Licht	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	10	nmod	_	_
14	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	15	punct	_	_
15	EUV	EUV	PROPN	NE	Person=3	13	appos	_	_
16	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	15	punct	_	_
17	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	5	punct	_	_
18	hat	haben	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	27	aux	_	_
19	eine	eine	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	20	det	_	_
20	Anlage	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	27	obj	_	_
21	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	22	case	_	_
22	Tests	Test	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	20	nmod	_	_
23	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	25	det	_	_
24	neuen	neu	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	25	amod	_	_
25	Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	22	nmod	_	_
26	fertig	fertig	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	27	compound:prt	_	_
27	gestellt	stellen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
28	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	27	punct	_	_
