Auf der laufenden Branchenausstellung Semicon West präsentieren die Fertigungsspezialisten ihre ersten Prozessmodule , die noch in diesem Jahr ausgeliefert werden sollen .
1	Auf	Auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
2	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	4	det	_	_
3	laufenden	laufen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	4	amod	_	_
4	Branchenausstellung	Ausstellung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	7	obl	_	_
5	Semicon	Semicon	PROPN	NE	Person=3	4	flat:name	_	_
6	West	West	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	4	appos	_	_
7	präsentieren	präsentieren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
8	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	9	det	_	_
9	Fertigungsspezialisten	Spezialist	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	7	nsubj	_	_
10	ihre	ihre	PRON	PPOSAT	Case=Acc|Number=Plur|Person=3|Poss=Yes|PronType=Prs	12	det	_	_
11	ersten	erste	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	12	amod	_	_
12	Prozessmodule	Modul	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	7	obj	_	_
13	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	19	punct	_	_
14	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	19	nsubj:pass	_	_
15	noch	noch	ADV	ADV	_	18	advmod	_	_
16	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
17	diesem	dies	DET	PDAT	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Dem	18	det	_	_
18	Jahr	Jahr	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	19	obl	_	_
19	ausgeliefert	ausliefern	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	12	acl	_	_
20	werden	werden	AUX	VAINF	VerbForm=Inf	19	aux:pass	_	_
21	sollen	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	19	aux	_	_
22	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	7	punct	_	_
