Im HiP7-Prozess , der mit Kupfermetallisierung und 0,13-µm-Masken arbeitet , lassen sich ebenso wie bei Intels P860-Prozess bis zu 70 Nanometer ( 0,07 µm ) kleine Details fertigen .
1-2	Im	_	_	_	_	_	_	_	_
1	In	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	3	case	_	_
2	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	HiP7-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	12	obl	_	_
4	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	10	punct	_	_
5	der	der	PRON	PRELS	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	10	nsubj	_	_
6	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	7	case	_	_
7	Kupfermetallisierung	unknown	NOUN	NN	Person=3	10	obl	_	_
8	und	und	CCONJ	KON	_	9	cc	_	_
9	0,13-µm-Masken	Maske	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	7	conj	_	_
10	arbeitet	arbeiten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	3	acl	_	_
11	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	10	punct	_	_
12	lassen	lassen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
13	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	12	obj	_	_
14	ebenso	so	ADV	ADV	_	18	advmod	_	_
15	wie	wie	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	18	case	_	_
16	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
17	Intels	Intels	PROPN	NE	Case=Gen|Number=Sing|Person=3	18	nmod	_	_
18	P860-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	29	obl	_	_
19	bis	bis	ADP	APPR	AdpType=Prep	20	case	_	_
20	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	21	nmod	_	_
21	70	70	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	22	nummod	_	_
22	Nanometer	Meter	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	27	obl	_	_
23	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	25	punct	_	_
24	0,07	0,07	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	25	nummod	_	_
25	µm	µm	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	22	appos	_	_
26	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	25	punct	_	_
27	kleine	klein	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	28	amod	_	_
28	Details	Detail	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	12	nsubj	_	_
29	fertigen	fertigen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	12	xcomp	_	_
30	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	12	punct	_	_
