Der Preis für isotopenreine Wafer werde so hoch sein , dass sich auf diesen nur Spezialprodukte wirtschaftlich fertigen ließen .
1	Der	Der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Preis	Preis	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	8	nsubj	_	_
3	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	5	case	_	_
4	isotopenreine	isotopenreine	ADJ	ADJA	_	5	amod	_	_
5	Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
6	werde	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	8	aux	_	_
7	so	so	ADV	ADV	Degree=Pos	8	advmod	_	_
8	hoch	hoch	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	0	root	_	_
9	sein	sein	AUX	VAINF	VerbForm=Inf	8	cop	_	_
10	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	19	punct	_	_
11	dass	dass	SCONJ	KOUS	_	19	mark	_	_
12	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	19	obj	_	_
13	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
14	diesen	diesen	PRON	PDS	Case=Dat|Number=Plur|Person=3|PronType=Dem	19	obl	_	_
15	nur	nur	ADV	ADV	_	16	advmod	_	_
16	Spezialprodukte	Produkt	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	19	nsubj	_	_
17	wirtschaftlich	wirtschaftlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	18	advmod	_	_
18	fertigen	fertigen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	19	xcomp	_	_
19	ließen	lassen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	8	advcl	_	_
20	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	8	punct	_	_
