Unsicherheit bei Herstellern von Chip-Fertigungsanlagen
1	Unsicherheit	Unsicherheit	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	0	root	_	_
2	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	3	case	_	_
3	Herstellern	Hersteller	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	1	nmod	_	_
4	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
5	Chip-Fertigungsanlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	3	nmod	_	_
