Die Carl Zeiss Laser Optics GmbH , die Carl Zeiss Microelectronic Systems GmbH und die LEO Elektronenmikroskopie GmbH .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Carl	Carl	PROPN	NE	Number=Sing|Person=3	0	root	_	_
3	Zeiss	Zeiss	PROPN	NE	Person=3	2	flat:name	_	_
4	Laser	Laser	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	2	flat	_	_
5	Optics	Optics	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	2	flat	_	_
6	GmbH	GmbH	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	appos	_	_
7	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	9	punct	_	_
8	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
9	Carl	Carl	PROPN	NE	Number=Sing|Person=3	2	conj	_	_
10	Zeiss	Zeiss	PROPN	NE	Person=3	9	flat:name	_	_
11	Microelectronic	Microelectronic	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	9	flat	_	_
12	Systems	Systems	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	9	flat	_	_
13	GmbH	GmbH	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	9	appos	_	_
14	und	und	CCONJ	KON	_	16	cc	_	_
15	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	16	det	_	_
16	LEO	LEO	PROPN	NE	Person=3	2	conj	_	_
17	Elektronenmikroskopie	Kopie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	16	appos	_	_
18	GmbH	GmbH	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	17	appos	_	_
19	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
