Noch in diesem Halbjahr soll in Motorolas Werk MOS13 in Austin die Fertigung von Chips im neuen HiPerMOS7-Prozess auf 200-mm-Wafern starten .
1	Noch	Noch	ADV	ADV	_	4	advmod	_	_
2	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
3	diesem	dies	DET	PDAT	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Dem	4	det	_	_
4	Halbjahr	Halbjahr	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	22	obl	_	_
5	soll	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	22	aux	_	_
6	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
7	Motorolas	Motorolas	PROPN	NE	Case=Gen|Number=Sing|Person=3	8	nmod	_	_
8	Werk	Werk	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	22	obl	_	_
9	MOS13	MOS13	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	8	appos	_	_
10	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
11	Austin	Austin	PROPN	NE	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	9	nmod	_	_
12	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	13	det	_	_
13	Fertigung	Fertigung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	22	nsubj	_	_
14	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	15	case	_	_
15	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	13	nmod	_	_
16-17	im	_	_	_	_	_	_	_	_
16	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	19	case	_	_
17	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	19	det	_	_
18	neuen	neu	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	19	amod	_	_
19	HiPerMOS7-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	13	nmod	_	_
20	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	21	case	_	_
21	200-mm-Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	13	nmod	_	_
22	starten	starten	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
23	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	22	punct	_	_
