Ihm folgt der C5C , der zum Teil in 0,13-µm-Prozess gefertigt werden soll ( 1,2 V , 733 bis 867 MHz ) .
1	Ihm	Ihm	PRON	PPER	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3|PronType=Prs	2	obj	_	_
2	folgt	folgen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	der	der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	4	det	_	_
4	C5C	C5C	PROPN	NE	Person=3	2	nsubj	_	_
5	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	12	punct	_	_
6	der	der	PRON	PRELS	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	12	nsubj:pass	_	_
7-8	zum	_	_	_	_	_	_	_	_
7	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
8	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
9	Teil	Teil	NOUN	NN	Number=Sing|Person=3	12	obl	_	_
10	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
11	0,13-µm-Prozess	Prozess	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	12	obl	_	_
12	gefertigt	fertigen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	4	acl	_	_
13	werden	werden	AUX	VAINF	VerbForm=Inf	12	aux:pass	_	_
14	soll	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	12	aux	_	_
15	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	16	punct	_	_
16	1,2	1,2	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	4	appos	_	_
17	V	V	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	16	flat	_	_
18	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	19	punct	_	_
19	733	733	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	16	appos	_	_
20	bis	bis	ADP	APPR	AdpType=Prep	22	case	_	_
21	867	867	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	22	nummod	_	_
22	MHz	MHz	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	19	nmod	_	_
23	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	16	punct	_	_
24	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
