Zusätzlich entsteht die Fab M6 , die zwar zunächst auf 200-mm-Wafer setzt , jedoch bereits zur Aufrüstung auf 300-mm-Wafertechnik vorbereitet wird .
1	Zusätzlich	zusätzlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	2	advmod	_	_
2	entsteht	entstehen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	4	det	_	_
4	Fab	Fab	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	nsubj	_	_
5	M6	M6	PROPN	NE	Person=3	4	flat:name	_	_
6	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	12	punct	_	_
7	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	12	nsubj	_	_
8	zwar	zwar	ADV	ADV	_	12	advmod	_	_
9	zunächst	zunächst	ADV	ADV	_	12	advmod	_	_
10	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	11	case	_	_
11	200-mm-Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	12	obj	_	_
12	setzt	setzen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	4	acl	_	_
13	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	21	punct	_	_
14	jedoch	jedoch	CCONJ	KON	_	21	cc	_	_
15	bereits	bereits	ADV	ADV	_	21	advmod	_	_
16-17	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
16	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
17	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	18	det	_	_
18	Aufrüstung	Aufrüstung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	21	obl	_	_
19	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	20	case	_	_
20	300-mm-Wafertechnik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	18	nmod	_	_
21	vorbereitet	vorbereiten	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	12	conj	_	_
22	wird	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	21	aux:pass	_	_
23	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
