Demnach betrug die Fertigungskapazität für MOS-Prozesse insgesamt rund 1,74 Millionen Wafer wöchentlich , berechnet als 6-Zoll-Äquivalent .
1	Demnach	Demnach	ADV	PROAV	_	2	advmod	_	_
2	betrug	betragen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	4	det	_	_
4	Fertigungskapazität	Kapazität	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	nsubj	_	_
5	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	6	case	_	_
6	MOS-Prozesse	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	4	nmod	_	_
7	insgesamt	insgesamt	ADV	ADV	_	9	advmod	_	_
8	rund	rund	ADV	ADV	_	9	advmod	_	_
9	1,74	1,74	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	10	nummod	_	_
10	Millionen	Million	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	11	nummod	_	_
11	Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	2	obj	_	_
12	wöchentlich	wöchentlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	11	advmod	_	_
13	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	14	punct	_	_
14	berechnet	berechnen	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	11	advmod	_	_
15	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	16	case	_	_
16	6-Zoll-Äquivalent	Äquivalent	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	14	obl	_	_
17	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
