Bund fördert Entwicklung von 157-nm-Lithographie
1	Bund	Bund	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	2	nsubj	_	_
2	fördert	fördern	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	Entwicklung	Entwicklung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	obj	_	_
4	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
5	157-nm-Lithographie	Lithographie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	nmod	_	_
