Als nächste Schritte der Miniaturisierung arbeiten weltweit alle Halbleiterfirmen an Prozessen für 0,15- und 0,13-µm-Strukturen .
1	Als	Als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	3	case	_	_
2	nächste	nah	ADJ	ADJA	Degree=Sup|Number=Plur	3	amod	_	_
3	Schritte	Schritt	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	6	obl	_	_
4	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	5	det	_	_
5	Miniaturisierung	unknown	NOUN	NN	Person=3	3	nmod	_	_
6	arbeiten	arbeiten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
7	weltweit	weltweit	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	6	advmod	_	_
8	alle	all	DET	PIDAT	Case=Nom|Number=Plur|Person=3	9	det	_	_
9	Halbleiterfirmen	Firma	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	6	nsubj	_	_
10	an	an	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
11	Prozessen	Prozeß	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	6	obl	_	_
12	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	13	case	_	_
13	0,15-	0,15-	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	11	nmod	_	_
14	und	und	CCONJ	KON	_	15	cc	_	_
15	0,13-µm-Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	13	conj	_	_
16	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	6	punct	_	_
