Kürzlich stellte IBM ein Verfahren vor , mit dem sich Siliziumkristallschichten strecken lassen ; das führt zu höherer Beweglichkeit der Ladungsträger .
1	Kürzlich	Kürzlich	ADV	ADV	_	2	advmod	_	_
2	stellte	stellen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	IBM	IBM	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	2	nsubj	_	_
4	ein	ein	DET	ART	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
5	Verfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	2	obj	_	_
6	vor	vor	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	2	compound:prt	_	_
7	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	13	punct	_	_
8	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
9	dem	dem	PRON	PRELS	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	13	obl	_	_
10	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	13	obj	_	_
11	Siliziumkristallschichten	Schicht	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	13	nsubj	_	_
12	strecken	strecken	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	13	xcomp	_	_
13	lassen	lassen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	5	acl	_	_
14	;	;	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
15	das	das	PRON	PDS	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Dem	16	nsubj	_	_
16	führt	führen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	2	parataxis	_	_
17	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	19	case	_	_
18	höherer	hoch	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Gender=Fem|Number=Sing	19	amod	_	_
19	Beweglichkeit	Beweglichkeit	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	16	obj	_	_
20	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	21	det	_	_
21	Ladungsträger	Träger	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	19	nmod	_	_
22	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
