Während der Stilllegung installiert das Unternehmen allerdings neue Anlagen , um bei der Wiederaufnahme der Produktion Anfang 2002 im kostengünstigeren 0,16-µm-Prozess fertigen zu können .
1	Während	Während	ADP	APPR	AdpType=Prep	3	case	_	_
2	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	Stilllegung	Stilllegung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	4	obl	_	_
4	installiert	installieren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
5	das	das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
6	Unternehmen	Unternehmen	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	4	nsubj	_	_
7	allerdings	allerdings	ADV	ADV	_	4	advmod	_	_
8	neue	neu	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	9	amod	_	_
9	Anlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	4	obj	_	_
10	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	23	punct	_	_
11	um	um	SCONJ	KOUI	_	23	mark	_	_
12	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
13	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
14	Wiederaufnahme	Wiederaufnahme	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	23	obl	_	_
15	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	16	det	_	_
16	Produktion	Produktion	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	14	nmod	_	_
17	Anfang	Anfang	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	23	obl	_	_
18	2002	2002	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	17	nmod	_	_
19-20	im	_	_	_	_	_	_	_	_
19	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	22	case	_	_
20	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	22	det	_	_
21	kostengünstigeren	kostengünstigeren	ADJ	ADJA	_	22	amod	_	_
22	0,16-µm-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	23	obl	_	_
23	fertigen	fertigen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	4	advcl	_	_
24	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	23	mark	_	_
25	können	können	AUX	VMINF	VerbForm=Inf|VerbType=Mod	23	aux	_	_
26	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	4	punct	_	_
