Mittels kürzerer Wellenlängen will die vom BMBF geförderte Deutsche Initiative 157-Nanometer-Lithografie ein Verfahren zur Herstellung von 100 Nanometer kleinen Halbleiterstrukturen entwickeln .
1	Mittels	Mittels	ADP	APPR	AdpType=Prep	3	case	_	_
2	kürzerer	kurz	ADJ	ADJA	Case=Gen|Degree=Cmp|Number=Plur	3	amod	_	_
3	Wellenlängen	Wellenlänge	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	23	obl	_	_
4	will	wollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	23	aux	_	_
5	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	11	det	_	_
6-7	vom	_	_	_	_	_	_	_	_
6	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
7	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
8	BMBF	BMBF	PROPN	NE	Person=3	9	obl	_	_
9	geförderte	fördern	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	11	amod	_	_
10	Deutsche	deutsch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	11	amod	_	_
11	Initiative	Initiative	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	23	nsubj	_	_
12	157-Nanometer-Lithografie	unknown	NOUN	NN	Person=3	11	appos	_	_
13	ein	ein	DET	ART	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
14	Verfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	23	obj	_	_
15-16	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
15	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	17	case	_	_
16	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	17	det	_	_
17	Herstellung	Herstellung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	14	nmod	_	_
18	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	22	case	_	_
19	100	100	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	20	nummod	_	_
20	Nanometer	Meter	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	21	obl	_	_
21	kleinen	klein	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	22	amod	_	_
22	Halbleiterstrukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	17	nmod	_	_
23	entwickeln	entwickeln	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
24	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	23	punct	_	_
