Nach Angaben von Infineon benötigt ein moderner Waferstepper für die Belichtung aller 925 DRAM-Schaltkreise auf einem 300-mm-Wafers 105 Einzelbelichtungen .
1	Nach	Nach	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	2	case	_	_
2	Angaben	Angabe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	5	obl	_	_
3	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
4	Infineon	Infineon	PROPN	NE	Case=Dat|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
5	benötigt	benötigen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
6	ein	ein	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
7	moderner	modern	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	8	amod	_	_
8	Waferstepper	unknown	NOUN	NN	Person=3	5	nsubj	_	_
9	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	11	case	_	_
10	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	11	det	_	_
11	Belichtung	Belichtung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	5	obl	_	_
12	aller	all	DET	PIDAT	Case=Gen|Number=Plur|Person=3	14	det	_	_
13	925	925	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	14	nummod	_	_
14	DRAM-Schaltkreise	Kreis	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	11	nmod	_	_
15	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	17	case	_	_
16	einem	einem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	17	det	_	_
17	300-mm-Wafers	300-mm-Wafers	PROPN	NE	Person=3	14	nmod	_	_
18	105	105	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	19	nummod	_	_
19	Einzelbelichtungen	Belichtung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	5	obj	_	_
20	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	5	punct	_	_
