Die Kooperation mit TSMC , wo man schon im April erste Arbeiten am 0,10-Mikrometer-Prozess ankündigte , soll die Fertigungskapazität von Chips steigern und die Verbreitung der von NEC entwickelten Technik beschleunigen .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Kooperation	Kooperation	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	24	nsubj	_	_
3	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
4	TSMC	TSMC	PROPN	NE	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
5	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	17	punct	_	_
6	wo	wo	ADV	PWAV	PronType=Int	17	advmod	_	_
7	man	man	PRON	PIS	Case=Nom|Number=Sing|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	17	nsubj	_	_
8	schon	schon	ADV	ADV	_	11	advmod	_	_
9-10	im	_	_	_	_	_	_	_	_
9	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
10	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	11	det	_	_
11	April	April	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	17	obl	_	_
12	erste	erste	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	13	amod	_	_
13	Arbeiten	Arbeit	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	17	obj	_	_
14-15	am	_	_	_	_	_	_	_	_
14	an	an	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
15	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	16	det	_	_
16	0,10-Mikrometer-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	13	nmod	_	_
17	ankündigte	ankündigen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	4	acl	_	_
18	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	17	punct	_	_
19	soll	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	24	aux	_	_
20	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	21	det	_	_
21	Fertigungskapazität	Kapazität	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	24	obj	_	_
22	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	23	case	_	_
23	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	21	nmod	_	_
24	steigern	steigern	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
25	und	und	CCONJ	KON	_	33	cc	_	_
26	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	27	det	_	_
27	Verbreitung	Verbreitung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	33	obj	_	_
28	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	32	det	_	_
29	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	30	case	_	_
30	NEC	NEC	PROPN	NE	Number=Sing|Person=3	31	obl	_	_
31	entwickelten	entwickeln	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	32	amod	_	_
32	Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	27	nmod	_	_
33	beschleunigen	beschleunigen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	24	conj	_	_
34	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	24	punct	_	_
