Die effektive Gatelänge von in diesem Pozess gefertigten Transistoren soll sogar noch deutlicher unter der magischen 0,1-µm-Grenze liegen .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
2	effektive	effektiv	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	3	amod	_	_
3	Gatelänge	Länge	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	18	nsubj	_	_
4	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
5	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	7	case	_	_
6	diesem	dies	DET	PDAT	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Dem	7	det	_	_
7	Pozess	unknown	NOUN	NN	Person=3	8	obl	_	_
8	gefertigten	fertigen	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	9	amod	_	_
9	Transistoren	Transistor	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	3	nmod	_	_
10	soll	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	18	aux	_	_
11	sogar	sogar	ADV	ADV	_	18	advmod	_	_
12	noch	noch	ADV	ADV	_	13	advmod	_	_
13	deutlicher	deutlich	ADJ	ADJD	Degree=Cmp|Variant=Short	18	advmod	_	_
14	unter	unter	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	17	case	_	_
15	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	17	det	_	_
16	magischen	magisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	17	amod	_	_
17	0,1-µm-Grenze	Grenze	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	18	obl	_	_
18	liegen	liegen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
19	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	18	punct	_	_
