Lichtquelle und Linsensystem projizieren die Strukturen einer Maskenvorlage auf den mit einem lichtempfindlichen Film beschichteten Wafer .
1	Lichtquelle	Quelle	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	4	nsubj	_	_
2	und	und	CCONJ	KON	_	3	cc	_	_
3	Linsensystem	System	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	1	conj	_	_
4	projizieren	projizieren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
5	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	6	det	_	_
6	Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	4	obj	_	_
7	einer	einer	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
8	Maskenvorlage	Vorlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	6	nmod	_	_
9	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	16	case	_	_
10	den	den	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	16	det	_	_
11	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
12	einem	einem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
13	lichtempfindlichen	lichtempfindlichen	ADJ	ADJA	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing	14	amod	_	_
14	Film	Film	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	15	obl	_	_
15	beschichteten	beschichten	ADJ	ADJA	Case=Acc|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	16	amod	_	_
16	Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	4	obl	_	_
17	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	4	punct	_	_
