Gemeinsam können die beiden Firmen nun nicht nur Lithografiesysteme , sondern auch Anlagen zur Bearbeitung der Fotolacke ( Photoresists ) und zur thermischen Behandlung von Wafern liefern .
1	Gemeinsam	gemeinsam	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	29	advmod	_	_
2	können	können	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	29	aux	_	_
3	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	5	det	_	_
4	beiden	beide	ADJ	PIDAT	Case=Nom|Number=Plur|Person=3	5	amod	_	_
5	Firmen	Firma	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	29	nsubj	_	_
6	nun	nun	ADV	ADV	_	29	advmod	_	_
7	nicht	nicht	PART	PTKNEG	Polarity=Neg	9	advmod	_	_
8	nur	nur	ADV	ADV	_	9	advmod	_	_
9	Lithografiesysteme	System	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	29	obj	_	_
10	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	13	punct	_	_
11	sondern	sondern	CCONJ	KON	_	13	cc	_	_
12	auch	auch	ADV	ADV	_	13	advmod	_	_
13	Anlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	9	conj	_	_
14-15	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
14	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
15	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	16	det	_	_
16	Bearbeitung	Bearbeitung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	13	nmod	_	_
17	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	18	det	_	_
18	Fotolacke	Lack	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	16	nmod	_	_
19	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	20	punct	_	_
20	Photoresists	Photoresists	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	18	appos	_	_
21	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	20	punct	_	_
22	und	und	CCONJ	KON	_	26	cc	_	_
23-24	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
23	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	26	case	_	_
24	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	26	det	_	_
25	thermischen	thermisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	26	amod	_	_
26	Behandlung	Behandlung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	16	conj	_	_
27	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	28	case	_	_
28	Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	26	nmod	_	_
29	liefern	liefern	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
30	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	29	punct	_	_
