Bei IBM heißt der neue Prozess CMOS 9S ; außer den besonders kleinen Strukturen bietet er auch Techniken wie Silicon-on-Insulator für verlustärmere Transistoren , Low-K-Dielektrika zur kapazitätsarmen Isolierung der Leiterbahnen und Kupfermetallisierung .
1	Bei	Bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	2	case	_	_
2	IBM	IBM	PROPN	NE	Case=Dat|Number=Sing|Person=3	3	obl	_	_
3	heißt	heißen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
4	der	der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
5	neue	neu	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	6	amod	_	_
6	Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	3	nsubj	_	_
7	CMOS	CMOS	PROPN	NE	Person=3	6	flat:name	_	_
8	9S	unknown	NOUN	NN	Person=3	6	appos	_	_
9	;	;	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
10	außer	außer	ADP	APPR	AdpType=Prep	14	case	_	_
11	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	14	det	_	_
12	besonders	besonders	ADV	ADV	_	13	advmod	_	_
13	kleinen	klein	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	14	amod	_	_
14	Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	15	obl	_	_
15	bietet	bieten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	3	parataxis	_	_
16	er	er	PRON	PPER	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3|PronType=Prs	15	nsubj	_	_
17	auch	auch	ADV	ADV	_	18	advmod	_	_
18	Techniken	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	15	obj	_	_
19	wie	wie	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	20	case	_	_
20	Silicon-on-Insulator	unknown	NOUN	NN	Person=3	18	obl	_	_
21	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	23	case	_	_
22	verlustärmere	verlustärmere	ADJ	ADJA	_	23	amod	_	_
23	Transistoren	Transistor	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	20	nmod	_	_
24	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	25	punct	_	_
25	Low-K-Dielektrika	Low-K-Dielektrika	PROPN	NE	Person=3	20	conj	_	_
26-27	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
26	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	29	case	_	_
27	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	29	det	_	_
28	kapazitätsarmen	kapazitätsarmen	ADJ	ADJA	_	29	amod	_	_
29	Isolierung	Isolierung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	25	nmod	_	_
30	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	31	det	_	_
31	Leiterbahnen	Bahn	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	29	nmod	_	_
32	und	und	CCONJ	KON	_	33	cc	_	_
33	Kupfermetallisierung	unknown	NOUN	NN	Person=3	20	conj	_	_
34	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
