Die Kapazität soll bei 300.000 Scheiben pro Jahr liegen , auf denen CMOS-Schaltkreise und MEMS , also mikro-mechatronische Systeme ( Micro Electro Mechanical Systems ) , entstehen .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Kapazität	Kapazität	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	9	nsubj	_	_
3	soll	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	9	aux	_	_
4	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
5	300.000	300.000	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	6	nummod	_	_
6	Scheiben	Scheibe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	9	obl	_	_
7	pro	pro	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
8	Jahr	Jahr	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	6	nmod	_	_
9	liegen	liegen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
10	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	27	punct	_	_
11	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
12	denen	denen	PRON	PRELS	Case=Dat|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	27	obl	_	_
13	CMOS-Schaltkreise	Kreis	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	27	nsubj	_	_
14	und	und	CCONJ	KON	_	15	cc	_	_
15	MEMS	unknown	NOUN	NN	Person=3	13	conj	_	_
16	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	19	punct	_	_
17	also	also	ADV	ADV	_	18	advmod	_	_
18	mikro-mechatronische	mikro-mechatronische	ADJ	ADJA	_	19	amod	_	_
19	Systeme	System	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	15	conj	_	_
20	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	21	punct	_	_
21	Micro	Micro	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	19	appos	_	_
22	Electro	Electro	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	21	flat	_	_
23	Mechanical	Mechanical	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	21	flat	_	_
24	Systems	Systems	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	21	flat	_	_
25	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	21	punct	_	_
26	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	27	punct	_	_
27	entstehen	entstehen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	6	acl	_	_
28	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	9	punct	_	_
