Durch enge Kooperation innerhalb der Branche und langfristige " Roadmaps " zur Weiterentwicklung der Fertigungstechnik gewährleisten die Halbleiterfirmen , dass die nötigen Anlagen , etwa Laser oder Masken für EUV-Lithografie rechtzeitig fertig sind und Materialien wie 300-mm-Wafer oder Fotolacke für 0,13-µm-Strukturen zur Verfügung stehen .
1	Durch	Durch	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	3	case	_	_
2	enge	eng	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	3	amod	_	_
3	Kooperation	Kooperation	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	17	obl	_	_
4	innerhalb	innerhalb	ADP	APPR	AdpType=Prep	6	case	_	_
5	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
6	Branche	Branche	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	nmod	_	_
7	und	und	CCONJ	KON	_	10	cc	_	_
8	langfristige	langfristig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	10	amod	_	_
9	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	10	punct	_	_
10	Roadmaps	Roadmap	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	6	conj	_	_
11	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	10	punct	_	_
12-13	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
12	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
13	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
14	Weiterentwicklung	Entwicklung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	10	nmod	_	_
15	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	16	det	_	_
16	Fertigungstechnik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	14	nmod	_	_
17	gewährleisten	gewährleisten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
18	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	19	det	_	_
19	Halbleiterfirmen	Firma	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	17	nsubj	_	_
20	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	33	punct	_	_
21	dass	dass	SCONJ	KOUS	_	33	mark	_	_
22	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	24	det	_	_
23	nötigen	nötig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	24	amod	_	_
24	Anlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	33	nsubj	_	_
25	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	27	punct	_	_
26	etwa	etwa	ADV	ADV	_	27	advmod	_	_
27	Laser	Laser	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	24	conj	_	_
28	oder	oder	CCONJ	KON	_	29	cc	_	_
29	Masken	Maske	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	24	conj	_	_
30	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	31	case	_	_
31	EUV-Lithografie	unknown	NOUN	NN	Person=3	29	nmod	_	_
32	rechtzeitig	rechtzeitig	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	33	advmod	_	_
33	fertig	fertig	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	17	ccomp	_	_
34	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	33	cop	_	_
35	und	und	CCONJ	KON	_	46	cc	_	_
36	Materialien	Material	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	46	nsubj	_	_
37	wie	wie	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	38	case	_	_
38	300-mm-Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	36	obl	_	_
39	oder	oder	CCONJ	KON	_	40	cc	_	_
40	Fotolacke	Lack	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	38	conj	_	_
41	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	42	case	_	_
42	0,13-µm-Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	46	obl	_	_
43-44	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
43	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	45	case	_	_
44	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	45	det	_	_
45	Verfügung	Verfügung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	46	obl	_	_
46	stehen	stehen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	33	conj	_	_
47	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	17	punct	_	_
