Mit der neuen Technik sollen sich auch 300-mm-Si-Wafer mit epitaktischen III-V-Schichten versehen lassen .
1	Mit	Mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
2	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	4	det	_	_
3	neuen	neu	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	4	amod	_	_
4	Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	13	obl	_	_
5	sollen	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	13	aux	_	_
6	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	13	obj	_	_
7	auch	auch	ADV	ADV	_	8	advmod	_	_
8	300-mm-Si-Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	13	nsubj	_	_
9	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
10	epitaktischen	epitaktischen	ADJ	ADJA	Gender=Fem|Number=Plur	11	amod	_	_
11	III-V-Schichten	Schicht	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	8	nmod	_	_
12	versehen	versehen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	13	xcomp	_	_
13	lassen	lassen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
14	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	13	punct	_	_
