In der US-Firma EUV LLC forschen vorrangig US-amerikanische Chipfirmen an einer Technik für noch kleinere Halbleiterstrukturen , gemeinsam mit öffentlich finanzierten Instituten .
1	In	In	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	3	case	_	_
2	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	US-Firma	Firma	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	6	obl	_	_
4	EUV	EUV	PROPN	NE	Person=3	3	flat:name	_	_
5	LLC	LLC	PROPN	NE	Person=3	3	flat:name	_	_
6	forschen	forschen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
7	vorrangig	vorrangig	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	6	advmod	_	_
8	US-amerikanische	amerikanisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	9	amod	_	_
9	Chipfirmen	Firma	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	6	nsubj	_	_
10	an	an	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
11	einer	einer	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	12	det	_	_
12	Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	6	obl	_	_
13	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	16	case	_	_
14	noch	noch	ADV	ADV	_	15	advmod	_	_
15	kleinere	klein	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Number=Plur	16	amod	_	_
16	Halbleiterstrukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	12	nmod	_	_
17	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	18	punct	_	_
18	gemeinsam	gemeinsam	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	6	advmod	_	_
19	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	22	case	_	_
20	öffentlich	öffentlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	21	advmod	_	_
21	finanzierten	finanzieren	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	22	amod	_	_
22	Instituten	Institut	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	18	obl	_	_
23	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	6	punct	_	_
