Die Firmen kooperieren mit den Universitäten in Kiel , Mannheim , Darmstadt und Erlangen , dem Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme in Ilmenau , mit Fraunhofer-Instituten in Freiburg , Jena und Duisburg sowie dem Heinrich-Hertz-Institut in Berlin .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	2	det	_	_
2	Firmen	Firma	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	3	nsubj	_	_
3	kooperieren	kooperieren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
4	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
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6	Universitäten	Universität	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	3	obl	_	_
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14	Erlangen	Erlangen	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	8	conj	_	_
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17	Institut	Institut	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	6	conj	_	_
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19	Mikroelektronik-	Mikroelektronik-	NOUN	TRUNC	Hyph=Yes	17	nmod	_	_
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22	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	23	case	_	_
23	Ilmenau	Ilmenau	PROPN	NE	Person=3	21	nmod	_	_
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26	Fraunhofer-Instituten	Institut	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	6	conj	_	_
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28	Freiburg	Freiburg	PROPN	NE	Person=3	26	nmod	_	_
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32	Duisburg	Duisburg	PROPN	NE	Person=3	28	conj	_	_
33	sowie	sowie	CCONJ	KON	_	35	cc	_	_
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35	Heinrich-Hertz-Institut	Institut	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	26	conj	_	_
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37	Berlin	Berlin	PROPN	NE	Number=Sing|Person=3	35	nmod	_	_
38	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
