Die etwa 3,5 Milliarden Mark teure Übernahme bezahlt ASML in Aktien .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	7	det	_	_
2	etwa	etwa	ADV	ADV	_	3	advmod	_	_
3	3,5	3,5	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	4	nummod	_	_
4	Milliarden	Milliarde	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	5	nummod	_	_
5	Mark	Mark	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	6	obl	_	_
6	teure	teuer	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	7	amod	_	_
7	Übernahme	Übernahme	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	8	obj	_	_
8	bezahlt	bezahlen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
9	ASML	ASML	PROPN	NE	Person=3	8	nsubj	_	_
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11	Aktien	Aktie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	8	obl	_	_
12	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	8	punct	_	_
