Siemens hatte erst kürzlich bekanntgeben , daß es zusammen mit Motorola gelungen sei , die bislang größten Siliziumscheiben für die Chipfertigung zu entwickeln und hatte dies als einen Durchbruch in der Chiptechnologie gefeiert .
1	Siemens	Siemens	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	5	nsubj	_	_
2	hatte	haben	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	5	aux	_	_
3	erst	erst	ADV	ADV	_	4	advmod	_	_
4	kürzlich	kürzlich	ADV	ADV	_	5	advmod	_	_
5	bekanntgeben	bekanntgeben	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
6	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	12	punct	_	_
7	daß	daß	SCONJ	KOUS	_	12	mark	_	_
8	es	es	PRON	PPER	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Prs	12	expl	_	_
9	zusammen	zusammen	ADV	ADV	_	11	advmod	_	_
10	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
11	Motorola	Motorola	PROPN	NE	Case=Dat|Number=Sing|Person=3	12	obl	_	_
12	gelungen	gelingen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	5	ccomp	_	_
13	sei	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	12	aux:pass	_	_
14	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	23	punct	_	_
15	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	18	det	_	_
16	bislang	bislang	ADV	ADV	_	17	advmod	_	_
17	größten	groß	ADJ	ADJA	Degree=Sup|Number=Plur	18	amod	_	_
18	Siliziumscheiben	Scheibe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	23	obj	_	_
19	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	21	case	_	_
20	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	21	det	_	_
21	Chipfertigung	Fertigung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	23	obl	_	_
22	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	23	mark	_	_
23	entwickeln	entwickeln	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	12	csubj:pass	_	_
24	und	und	CCONJ	KON	_	33	cc	_	_
25	hatte	haben	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	33	aux	_	_
26	dies	dies	PRON	PDS	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Dem	33	obj	_	_
27	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	29	case	_	_
28	einen	einen	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	29	det	_	_
29	Durchbruch	Durchbruch	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	33	obl	_	_
30	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	32	case	_	_
31	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	32	det	_	_
32	Chiptechnologie	Technologie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	29	nmod	_	_
33	gefeiert	feiern	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	5	conj	_	_
34	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	5	punct	_	_
