Das Werk ist für die Fertigung von Halbleiterschaltungen in den von IBM , Infineon und UMC gemeinsam entwickelten 0,13- und 0,10-µm-Prozessen vorgesehen .
1	Das	Das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Werk	Werk	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	22	nsubj:pass	_	_
3	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	22	aux:pass	_	_
4	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	6	case	_	_
5	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
6	Fertigung	Fertigung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	22	obl	_	_
7	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
8	Halbleiterschaltungen	Schaltung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	6	nmod	_	_
9	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	19	case	_	_
10	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	19	det	_	_
11	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
12	IBM	IBM	PROPN	NE	Case=Dat|Number=Sing|Person=3	18	obl	_	_
13	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	14	punct	_	_
14	Infineon	Infineon	PROPN	NE	Case=Dat|Number=Sing|Person=3	12	conj	_	_
15	und	und	CCONJ	KON	_	16	cc	_	_
16	UMC	UMC	PROPN	NE	Person=3	12	conj	_	_
17	gemeinsam	gemeinsam	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	18	advmod	_	_
18	entwickelten	entwickeln	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	19	amod	_	_
19	0,13-	0,13-	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	6	nmod	_	_
20	und	und	CCONJ	KON	_	21	cc	_	_
21	0,10-µm-Prozessen	Prozeß	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	19	conj	_	_
22	vorgesehen	vorsehen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
23	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	22	punct	_	_
