Einige größere Halbleiterfirmen , darunter Hynix und auch UMC , fahren zwar jetzt die Produktion zurück , wollen aber diese Zeit für eine beschleunigte Umrüstung ihrer Anlagen auf kostensparendere Produktionsverfahren wie 300-mm-Wafer und 0,13-µm-Prozesse nutzen .
1	Einige	einig	DET	PIAT	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	3	det	_	_
2	größere	groß	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Number=Plur	3	amod	_	_
3	Halbleiterfirmen	Firma	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	11	nsubj	_	_
4	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	6	punct	_	_
5	darunter	darunter	ADV	PROAV	_	6	advmod	_	_
6	Hynix	Hynix	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	3	appos	_	_
7	und	und	CCONJ	KON	_	9	cc	_	_
8	auch	auch	ADV	ADV	_	9	advmod	_	_
9	UMC	UMC	PROPN	NE	Person=3	6	conj	_	_
10	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	6	punct	_	_
11	fahren	fahren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
12	zwar	zwar	ADV	ADV	_	11	advmod	_	_
13	jetzt	jetzt	ADV	ADV	_	11	advmod	_	_
14	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	15	det	_	_
15	Produktion	Produktion	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	11	obj	_	_
16	zurück	zurück	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	11	compound:prt	_	_
17	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	35	punct	_	_
18	wollen	wollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	35	aux	_	_
19	aber	aber	ADV	ADV	_	35	advmod	_	_
20	diese	dies	DET	PDAT	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Dem	21	det	_	_
21	Zeit	Zeit	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	35	obj	_	_
22	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep	25	case	_	_
23	eine	eine	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	25	det	_	_
24	beschleunigte	beschleunigen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	25	amod	_	_
25	Umrüstung	Umrüstung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	35	obl	_	_
26	ihrer	ihrer	PRON	PPOSAT	Case=Gen|Number=Plur|Person=3|Poss=Yes|PronType=Prs	27	det	_	_
27	Anlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	25	nmod	_	_
28	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	30	case	_	_
29	kostensparendere	kostensparendere	ADJ	ADJA	_	30	amod	_	_
30	Produktionsverfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	25	nmod	_	_
31	wie	wie	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	32	case	_	_
32	300-mm-Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	30	obl	_	_
33	und	und	CCONJ	KON	_	34	cc	_	_
34	0,13-µm-Prozesse	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	32	conj	_	_
35	nutzen	nutzen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	11	conj	_	_
36	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	11	punct	_	_
