Dem wachsenden Kostendruck können die Halbleiterhersteller allerdings nur durch neue Technik wie 300-mm-Wafer oder kleinere Strukturen standhalten .
1	Dem	Dem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
2	wachsenden	wachsen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	3	amod	_	_
3	Kostendruck	Druck	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	17	obj	_	_
4	können	können	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	17	aux	_	_
5	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	6	det	_	_
6	Halbleiterhersteller	Hersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	17	nsubj	_	_
7	allerdings	allerdings	ADV	ADV	_	17	advmod	_	_
8	nur	nur	ADV	ADV	_	11	advmod	_	_
9	durch	durch	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	11	case	_	_
10	neue	neu	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	11	amod	_	_
11	Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	17	obl	_	_
12	wie	wie	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	13	mark	_	_
13	300-mm-Wafer	300-mm-Wafer	ADJ	ADJA	_	11	advcl	_	_
14	oder	oder	CCONJ	KON	_	16	cc	_	_
15	kleinere	klein	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Number=Plur	16	amod	_	_
16	Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	11	conj	_	_
17	standhalten	standhalten	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
18	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	17	punct	_	_
