So sind für den Übergang zu immer feineren Strukturen neue Lithografiesystem nötig .
1	So	so	ADV	ADV	_	12	advmod	_	_
2	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	12	cop	_	_
3	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	5	case	_	_
4	den	den	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
5	Übergang	Übergang	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	12	obl	_	_
6	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
7	immer	immer	ADV	ADV	_	8	advmod	_	_
8	feineren	fein	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Cmp|Number=Plur	9	amod	_	_
9	Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	5	nmod	_	_
10	neue	neu	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	11	amod	_	_
11	Lithografiesystem	System	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	12	nsubj	_	_
12	nötig	nötig	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	0	root	_	_
13	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	12	punct	_	_
