Erste Test-Anlage für neue EUV-Lithografie läuft
1	Erste	erste	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	2	amod	_	_
2	Test-Anlage	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	6	nsubj	_	_
3	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	5	case	_	_
4	neue	neu	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	5	amod	_	_
5	EUV-Lithografie	unknown	NOUN	NN	Person=3	2	nmod	_	_
6	läuft	laufen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
