Weil weniger Verschnitt anfällt , passen sogar etwa 2,4-mal so viele Chips auf einen 300-mm-Wafer als auf die kleineren Siliziumscheiben .
1	Weil	Weil	SCONJ	KOUS	_	4	mark	_	_
2	weniger	wenig	DET	PIAT	Degree=Cmp|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	3	amod	_	_
3	Verschnitt	Verschnitt	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	4	nsubj	_	_
4	anfällt	anfallen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	6	ccomp	_	_
5	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	4	punct	_	_
6	passen	passen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
7	sogar	sogar	ADV	ADV	_	6	advmod	_	_
8	etwa	etwa	ADV	ADV	_	9	advmod	_	_
9	2,4-mal	2,4-mal	ADV	ADV	_	11	advmod	_	_
10	so	so	ADV	ADV	Degree=Pos	11	advmod	_	_
11	viele	viel	ADJ	PIDAT	Case=Nom|Number=Plur|Person=3	12	amod	_	_
12	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	6	nsubj	_	_
13	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	15	case	_	_
14	einen	einen	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	15	det	_	_
15	300-mm-Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	6	obl	_	_
16	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	20	case	_	_
17	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	20	case	_	_
18	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	20	det	_	_
19	kleineren	klein	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Number=Plur	20	amod	_	_
20	Siliziumscheiben	Scheibe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	15	obl	_	_
21	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	6	punct	_	_
