Damit ließen sich Mikroprozessoren mit 0,045-Mikron-Strukturen fertigen , hieß es .
1	Damit	Damit	ADV	PROAV	_	2	advmod	_	_
2	ließen	lassen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	2	obj	_	_
4	Mikroprozessoren	Prozessor	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	2	nsubj	_	_
5	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
6	0,045-Mikron-Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	4	nmod	_	_
7	fertigen	fertigen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	2	xcomp	_	_
8	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	9	punct	_	_
9	hieß	heißen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	2	parataxis	_	_
10	es	es	PRON	PPER	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Prs	9	nsubj	_	_
11	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
