Infineon ist etwa an dem vom deutschen Forschungsminister geförderten 157-Nanometer-Projekt beteiligt , sprang aber im letzten Jahr auf den fahrenden EUV-Zug auf .
1	Infineon	Infineon	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	12	nsubj:pass	_	_
2	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	12	aux:pass	_	_
3	etwa	etwa	ADV	ADV	_	11	advmod	_	_
4	an	an	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
5	dem	dem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	11	det	_	_
6-7	vom	_	_	_	_	_	_	_	_
6	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
7	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
8	deutschen	deutsch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	9	amod	_	_
9	Forschungsminister	Minister	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	10	obl	_	_
10	geförderten	fördern	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	11	amod	_	_
11	157-Nanometer-Projekt	Projekt	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	12	obl	_	_
12	beteiligt	beteiligen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
13	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	14	punct	_	_
14	sprang	springen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	12	conj	_	_
15	aber	aber	ADV	ADV	_	14	advmod	_	_
16-17	im	_	_	_	_	_	_	_	_
16	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	19	case	_	_
17	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	19	det	_	_
18	letzten	letzte	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	19	amod	_	_
19	Jahr	Jahr	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	14	obl	_	_
20	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	23	case	_	_
21	den	den	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	23	det	_	_
22	fahrenden	fahren	ADJ	ADJA	Case=Acc|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	23	amod	_	_
23	EUV-Zug	Zug	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	14	obl	_	_
24	auf	auf	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	14	compound:prt	_	_
25	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	12	punct	_	_
