Stickstoff ist als Prozessgas für die Chipproduktion essenziell .
1	Stickstoff	Stoff	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	8	nsubj	_	_
2	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	8	cop	_	_
3	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	4	case	_	_
4	Prozessgas	Prozessgas	NOUN	NN	Person=3	8	obl	_	_
5	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep	7	case	_	_
6	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	7	det	_	_
7	Chipproduktion	Produktion	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	4	nmod	_	_
8	essenziell	essenziell	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	0	root	_	_
9	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	8	punct	_	_
