Weitere technische Verbesserungen des UX6-Prozesses sind ein Low-K-Dielektrikum ( k < 2,4 ) und eine Silizium-Oxinitrid-Schicht als Gate-Isolator .
1	Weitere	weit	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Number=Plur	3	amod	_	_
2	technische	technisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	3	amod	_	_
3	Verbesserungen	Verbesserung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	0	root	_	_
4	des	des	DET	ART	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
5	UX6-Prozesses	Prozeß	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	3	nmod	_	_
6	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	3	cop	_	_
7	ein	ein	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
8	Low-K-Dielektrikum	unknown	NOUN	NN	Person=3	3	nsubj	_	_
9	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	10	punct	_	_
10	k	k	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	8	appos	_	_
11	<	<	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	10	appos	_	_
12	2,4	2,4	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	11	flat	_	_
13	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	10	punct	_	_
14	und	und	CCONJ	KON	_	16	cc	_	_
15	eine	eine	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	16	det	_	_
16	Silizium-Oxinitrid-Schicht	Schicht	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	10	conj	_	_
17	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	18	case	_	_
18	Gate-Isolator	Isolator	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	16	obl	_	_
19	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
