Von 300-mm-Wafern ( 12-Zoll ) versprechen sich die Halbleiterhersteller geringere Fertigungskosten , weil sich auf den größeren Siliziumscheiben etwa zweieinhalb mal mehr Chips unterbringen lassen als auf den derzeit verwendeten 200-mm-Wafern .
1	Von	Von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	2	case	_	_
2	300-mm-Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	6	obl	_	_
3	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	4	punct	_	_
4	12-Zoll	Zoll	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	2	appos	_	_
5	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	4	punct	_	_
6	versprechen	versprechen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
7	sich	sich	PRON	PRF	Case=Dat|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	6	expl:pv	_	_
8	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	9	det	_	_
9	Halbleiterhersteller	Hersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	6	nsubj	_	_
10	geringere	gering	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Number=Plur	11	amod	_	_
11	Fertigungskosten	Kosten	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	6	obj	_	_
12	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	25	punct	_	_
13	weil	weil	SCONJ	KOUS	_	25	mark	_	_
14	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	25	obj	_	_
15	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
16	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	18	det	_	_
17	größeren	groß	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Number=Plur	18	amod	_	_
18	Siliziumscheiben	Scheibe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	24	obl	_	_
19	etwa	etwa	ADV	ADV	_	20	advmod	_	_
20	zweieinhalb	zweieinhalb	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	21	advmod	_	_
21	mal	mal	ADV	ADV	_	24	advmod	_	_
22	mehr	mehr	DET	PIAT	Degree=Cmp|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	23	det	_	_
23	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	25	nsubj	_	_
24	unterbringen	unterbringen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	25	xcomp	_	_
25	lassen	lassen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	6	advcl	_	_
26	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	31	case	_	_
27	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	31	case	_	_
28	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	31	det	_	_
29	derzeit	derzeit	ADV	ADV	_	30	advmod	_	_
30	verwendeten	verwenden	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	31	amod	_	_
31	200-mm-Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	25	obl	_	_
32	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	6	punct	_	_
