Intels P860-Prozess weist bis zu sechs Kupfer-Metalllagen und Low-K-Dielektrika auf .
1	Intels	Intels	PROPN	NE	Case=Gen|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
2	P860-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	3	nsubj	_	_
3	weist	weisen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
4	bis	bis	ADP	APPR	AdpType=Prep	5	case	_	_
5	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	nmod	_	_
6	sechs	sechs	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	7	nummod	_	_
7	Kupfer-Metalllagen	Lage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	3	obj	_	_
8	und	und	CCONJ	KON	_	9	cc	_	_
9	Low-K-Dielektrika	Low-K-Dielektrika	PROPN	NE	Person=3	7	conj	_	_
10	auf	auf	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	3	compound:prt	_	_
11	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
