Ebenso wie FASL setzt Intel bei der Fertigung auf 0,18-µm-Strukturen , wodurch die Chip-Ausbeute pro Wafer steigt .
1	Ebenso	so	ADV	ADV	_	4	advmod	_	_
2	wie	wie	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	3	case	_	_
3	FASL	FASL	PROPN	NE	Person=3	1	obl	_	_
4	setzt	setzen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
5	Intel	Intel	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	4	nsubj	_	_
6	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
7	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
8	Fertigung	Fertigung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	4	obl	_	_
9	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	10	case	_	_
10	0,18-µm-Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	4	obj	_	_
11	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	17	punct	_	_
12	wodurch	wodurch	ADV	PWAV	PronType=Int	17	advmod	_	_
13	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
14	Chip-Ausbeute	Ausbeute	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	17	nsubj	_	_
15	pro	pro	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
16	Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	14	nmod	_	_
17	steigt	steigen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	4	acl	_	_
18	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	4	punct	_	_
