Das will Motorola durch SOI-Technik ( Silicon On Isolator ) und eine effektive Strukturgröße von nur 0,10 µm erreichen .
1	Das	Das	PRON	PDS	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Dem	19	nsubj	_	_
2	will	wollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	19	aux	_	_
3	Motorola	Motorola	PROPN	NE	Case=Acc|Number=Sing|Person=3	19	obj	_	_
4	durch	durch	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	5	case	_	_
5	SOI-Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	19	obl	_	_
6	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	7	punct	_	_
7	Silicon	Silicon	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	5	appos	_	_
8	On	On	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	7	flat	_	_
9	Isolator	Isolator	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	7	flat	_	_
10	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	7	punct	_	_
11	und	und	CCONJ	KON	_	14	cc	_	_
12	eine	eine	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
13	effektive	effektiv	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	14	amod	_	_
14	Strukturgröße	Größe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	7	conj	_	_
15	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
16	nur	nur	ADV	ADV	_	17	advmod	_	_
17	0,10	0,10	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	18	nummod	_	_
18	µm	µm	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	14	nmod	_	_
19	erreichen	erreichen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
20	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	19	punct	_	_
