Mittlerweile belichte man rund 65 Prozent aller Wafer mit Strukturbreiten von 0,25 µm und weniger .
1	Mittlerweile	Mittlerweile	ADV	ADV	_	2	advmod	_	_
2	belichte	belichten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	man	man	PRON	PIS	Case=Nom|Number=Sing|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	2	nsubj	_	_
4	rund	rund	ADV	ADV	_	5	advmod	_	_
5	65	65	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	6	nummod	_	_
6	Prozent	Prozent	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	2	obj	_	_
7	aller	all	DET	PIDAT	Case=Gen|Number=Plur|Person=3	8	det	_	_
8	Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	6	nmod	_	_
9	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
10	Strukturbreiten	Breite	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	2	obl	_	_
11	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	13	case	_	_
12	0,25	0,25	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	13	nummod	_	_
13	µm	µm	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	10	nmod	_	_
14	und	und	CCONJ	KON	_	15	cc	_	_
15	weniger	wenig	ADJ	ADJD	Degree=Cmp|Variant=Short	13	conj	_	_
16	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
