Die nächsten Schritte des Technologietransfers zielen auf Fertigungsprozesse für 0,18- , 0,15- , 0,13- und schließlich 0,10-µm-Strukturen .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	3	det	_	_
2	nächsten	nah	ADJ	ADJA	Degree=Sup|Number=Plur	3	amod	_	_
3	Schritte	Schritt	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	6	nsubj	_	_
4	des	des	DET	ART	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
5	Technologietransfers	Transfer	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	3	nmod	_	_
6	zielen	zielen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
7	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	8	case	_	_
8	Fertigungsprozesse	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	6	obl	_	_
9	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	10	case	_	_
10	0,18-	0,18-	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	8	nmod	_	_
11	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	12	punct	_	_
12	0,15-	0,15-	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	10	conj	_	_
13	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	14	punct	_	_
14	0,13-	0,13-	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	10	conj	_	_
15	und	und	CCONJ	KON	_	17	cc	_	_
16	schließlich	schließlich	ADV	ADV	_	17	advmod	_	_
17	0,10-µm-Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	10	conj	_	_
18	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	6	punct	_	_
