Das französische LETI-Institut der Atomenergiebehörde CEA hat bereits im vergangenen Jahr einen Transistor mit 20 nm Gatelänge vorgestellt ;
1	Das	Das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
2	französische	französisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Neut|Number=Sing	3	amod	_	_
3	LETI-Institut	Institut	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	19	nsubj	_	_
4	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
5	Atomenergiebehörde	Behörde	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	nmod	_	_
6	CEA	CEA	PROPN	NE	Person=3	5	flat:name	_	_
7	hat	haben	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	19	aux	_	_
8	bereits	bereits	ADV	ADV	_	19	advmod	_	_
9-10	im	_	_	_	_	_	_	_	_
9	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
10	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	12	det	_	_
11	vergangenen	vergehen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	12	amod	_	_
12	Jahr	Jahr	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	19	obl	_	_
13	einen	einen	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
14	Transistor	Transistor	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	19	obj	_	_
15	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	17	case	_	_
16	20	20	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	17	nummod	_	_
17	nm	nm	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	14	nmod	_	_
18	Gatelänge	Länge	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	17	appos	_	_
19	vorgestellt	vorstellen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
20	;	;	PUNCT	$.	PunctType=Peri	19	punct	_	_
