Dort sollen im Endausbau etwa 5000 200-mm-Wafer wöchentlich von den Bändern laufen .
1	Dort	Dort	ADV	ADV	_	13	advmod	_	_
2	sollen	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	13	aux	_	_
3-4	im	_	_	_	_	_	_	_	_
3	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
4	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
5	Endausbau	Ausbau	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	13	obl	_	_
6	etwa	etwa	ADV	ADV	_	7	advmod	_	_
7	5000	5000	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	8	nummod	_	_
8	200-mm-Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	13	nsubj	_	_
9	wöchentlich	wöchentlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	13	advmod	_	_
10	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
11	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	12	det	_	_
12	Bändern	Band	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	13	obl	_	_
13	laufen	laufen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
14	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	13	punct	_	_
