Da in immer mehr Fabriken auf immer größeren Wafern Chips mit immer kleineren Strukturen entstehen , explodiert die Herstellungskapazität förmlich .
1	Da	Da	SCONJ	KOUS	_	15	mark	_	_
2	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
3	immer	immer	ADV	ADV	_	4	advmod	_	_
4	mehr	mehr	DET	PIAT	Degree=Cmp|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	5	det	_	_
5	Fabriken	Fabrik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	15	obl	_	_
6	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
7	immer	immer	ADV	ADV	_	8	advmod	_	_
8	größeren	groß	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Cmp|Number=Plur	9	amod	_	_
9	Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	15	obl	_	_
10	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	15	nsubj	_	_
11	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
12	immer	immer	ADV	ADV	_	13	advmod	_	_
13	kleineren	klein	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Cmp|Number=Plur	14	amod	_	_
14	Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	10	nmod	_	_
15	entstehen	entstehen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	17	ccomp	_	_
16	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	15	punct	_	_
17	explodiert	explodieren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
18	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	19	det	_	_
19	Herstellungskapazität	Kapazität	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	17	nsubj	_	_
20	förmlich	förmlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	17	advmod	_	_
21	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	17	punct	_	_
