Gleichzeitig liefert TSMC die ersten Produkte aus , die auf 300-mm-Wafern hergestellt wurden .
1	Gleichzeitig	gleichzeitig	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	2	advmod	_	_
2	liefert	liefern	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	TSMC	TSMC	PROPN	NE	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	nsubj	_	_
4	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	6	det	_	_
5	ersten	erste	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	6	amod	_	_
6	Produkte	Produkt	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	2	obj	_	_
7	aus	aus	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	2	compound:prt	_	_
8	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	12	punct	_	_
9	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	12	nsubj:pass	_	_
10	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
11	300-mm-Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	12	obl	_	_
12	hergestellt	herstellen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	6	acl	_	_
13	wurden	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	12	aux:pass	_	_
14	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
