Ziel des Forschungsprojekts ist die Entwicklung einer laserbasierten Lithographie , mit der man Chips mit minimalen Strukturbreiten von etwa 100 Nanometern fertigen kann .
1	Ziel	Ziel	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	0	root	_	_
2	des	des	DET	ART	Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	Forschungsprojekts	Projekt	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	1	nmod	_	_
4	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	1	cop	_	_
5	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
6	Entwicklung	Entwicklung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	1	nsubj	_	_
7	einer	einer	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
8	laserbasierten	laserbasierten	ADJ	ADJA	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing	9	amod	_	_
9	Lithographie	Lithographie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	6	nmod	_	_
10	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	22	punct	_	_
11	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
12	der	der	PRON	PRELS	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	22	obl	_	_
13	man	man	PRON	PIS	Case=Nom|Number=Sing|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	22	nsubj	_	_
14	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	22	obj	_	_
15	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	17	case	_	_
16	minimalen	minimal	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Plur	17	amod	_	_
17	Strukturbreiten	Breite	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	14	nmod	_	_
18	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	21	case	_	_
19	etwa	etwa	ADV	ADV	_	20	advmod	_	_
20	100	100	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	21	nummod	_	_
21	Nanometern	Meter	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	17	nmod	_	_
22	fertigen	fertigen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	9	acl	_	_
23	kann	können	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	22	aux	_	_
24	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	1	punct	_	_
