Standard MEMS arbeitet schon seit einiger Zeit mit dem Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ( ISiT ) in Itzehoe zusammen .
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2	MEMS	MEMS	PROPN	NE	Person=3	1	flat:name	_	_
3	arbeitet	arbeiten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
4	schon	schon	ADV	ADV	_	3	advmod	_	_
5	seit	seit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	7	case	_	_
6	einiger	einig	DET	PIAT	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	7	det	_	_
7	Zeit	Zeit	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	obl	_	_
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9	dem	dem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	10	det	_	_
10	Fraunhofer-Institut	Institut	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	3	obl	_	_
11	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	12	case	_	_
12	Siliziumtechnologie	Technologie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	10	nmod	_	_
13	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	14	punct	_	_
14	ISiT	ISiT	PROPN	NE	Person=3	12	appos	_	_
15	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	14	punct	_	_
16	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	17	case	_	_
17	Itzehoe	unknown	NOUN	NN	Person=3	10	nmod	_	_
18	zusammen	zusammen	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	3	compound:prt	_	_
19	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
