Nur mit solchen Lithografiesystemen lassen sich 0,13-µm-Chips wirtschaftlich fertigen .
1	Nur	Nur	ADV	ADV	_	4	advmod	_	_
2	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
3	solchen	solch	DET	PIDAT	Case=Dat|Number=Plur|Person=3	4	det	_	_
4	Lithografiesystemen	System	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	5	obl	_	_
5	lassen	lassen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
6	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	5	obj	_	_
7	0,13-µm-Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	5	nsubj	_	_
8	wirtschaftlich	wirtschaftlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	9	advmod	_	_
9	fertigen	fertigen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	5	xcomp	_	_
10	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	5	punct	_	_
