Zunächst soll die Anlage wöchentlich bis zu 1000 Siliziumscheiben verarbeiten können , eine spätere Verdopplung der Kapazität sowie die Einführung von 0,12- und dann auch 0,10-Mikrometer-Prozesstechnik ist bereits geplant .
1	Zunächst	Zunächst	ADV	ADV	_	10	advmod	_	_
2	soll	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	10	aux	_	_
3	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	4	det	_	_
4	Anlage	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	10	nsubj	_	_
5	wöchentlich	wöchentlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	10	advmod	_	_
6	bis	bis	ADP	APPR	AdpType=Prep	7	case	_	_
7	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	nmod	_	_
8	1000	1000	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	9	nummod	_	_
9	Siliziumscheiben	Scheibe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	10	obj	_	_
10	verarbeiten	verarbeiten	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
11	können	können	AUX	VMINF	VerbForm=Inf|VerbType=Mod	10	aux	_	_
12	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	29	punct	_	_
13	eine	eine	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	15	det	_	_
14	spätere	spät	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Gender=Fem|Number=Sing	15	amod	_	_
15	Verdopplung	Verdopplung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	29	nsubj:pass	_	_
16	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	17	det	_	_
17	Kapazität	Kapazität	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	15	nmod	_	_
18	sowie	sowie	CCONJ	KON	_	20	cc	_	_
19	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	20	det	_	_
20	Einführung	Einführung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	15	conj	_	_
21	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	22	case	_	_
22	0,12-	0,12-	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	20	nmod	_	_
23	und	und	CCONJ	KON	_	26	cc	_	_
24	dann	dann	ADV	ADV	_	26	advmod	_	_
25	auch	auch	ADV	ADV	_	26	advmod	_	_
26	0,10-Mikrometer-Prozesstechnik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	22	conj	_	_
27	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	29	aux:pass	_	_
28	bereits	bereits	ADV	ADV	_	29	advmod	_	_
29	geplant	planen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	10	conj	_	_
30	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	10	punct	_	_
