Erste 0,13-Mikrometer-Chips noch in diesem Jahr
1	Erste	erste	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	2	amod	_	_
2	0,13-Mikrometer-Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	0	root	_	_
3	noch	noch	ADV	ADV	_	2	advmod	_	_
4	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
5	diesem	dies	DET	PDAT	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Dem	6	det	_	_
6	Jahr	Jahr	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
