Auch wenn Intel ein anderes Verfahren als 193-nm-Laser zur Belichtung von 0,13-µm-Strukturen nutzt , könnten prinzipielle Probleme mit dieser Technik andere große Hersteller wie TSMC oder Motorola und deren Kunden in Schwierigkeiten bringen .
1	Auch	Auch	ADV	ADV	_	2	advmod	_	_
2	wenn	wenn	SCONJ	KOUS	_	14	mark	_	_
3	Intel	Intel	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	14	nsubj	_	_
4	ein	ein	DET	ART	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
5	anderes	ander	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Neut|Number=Sing	6	amod	_	_
6	Verfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	14	obj	_	_
7	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	8	mark	_	_
8	193-nm-Laser	193-nm-Laser	ADJ	ADJA	_	14	advcl	_	_
9-10	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
9	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
10	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	11	det	_	_
11	Belichtung	Belichtung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	14	obl	_	_
12	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	13	case	_	_
13	0,13-µm-Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	11	nmod	_	_
14	nutzt	nutzen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	34	advcl	_	_
15	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	14	punct	_	_
16	könnten	können	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	34	aux	_	_
17	prinzipielle	prinzipiell	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	18	amod	_	_
18	Probleme	Problem	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	34	nsubj	_	_
19	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	21	case	_	_
20	dieser	dies	DET	PDAT	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Dem	21	det	_	_
21	Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	18	nmod	_	_
22	andere	ander	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	24	amod	_	_
23	große	groß	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	24	amod	_	_
24	Hersteller	Hersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	34	obj	_	_
25	wie	wie	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	26	case	_	_
26	TSMC	TSMC	PROPN	NE	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	24	obl	_	_
27	oder	oder	CCONJ	KON	_	28	cc	_	_
28	Motorola	Motorola	PROPN	NE	Case=Acc|Number=Sing|Person=3	26	conj	_	_
29	und	und	CCONJ	KON	_	31	cc	_	_
30	deren	deren	DET	PDAT	PronType=Dem	31	det	_	_
31	Kunden	Kunde	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	28	conj	_	_
32	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	33	case	_	_
33	Schwierigkeiten	Schwierigkeit	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	34	obl	_	_
34	bringen	bringen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
35	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	34	punct	_	_
