Die Nutzung von Kohlenstoff bietet Vorteile bei der Herstellung und der Rauscharmut der in diesem 0,35-µm-Prozess hergestellten Heterojunction-Bipolar-Transistoren ( HBT ) für Frequenzen oberhalb 45 GHz .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Nutzung	Nutzung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	5	nsubj	_	_
3	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
4	Kohlenstoff	Stoff	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
5	bietet	bieten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
6	Vorteile	Vorteil	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	5	obj	_	_
7	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
8	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
9	Herstellung	Herstellung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	5	obl	_	_
10	und	und	CCONJ	KON	_	12	cc	_	_
11	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	12	det	_	_
12	Rauscharmut	Armut	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	9	conj	_	_
13	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	18	det	_	_
14	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
15	diesem	dies	DET	PDAT	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Dem	16	det	_	_
16	0,35-µm-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	17	obl	_	_
17	hergestellten	herstellen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	18	amod	_	_
18	Heterojunction-Bipolar-Transistoren	Transistor	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	12	nmod	_	_
19	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	20	punct	_	_
20	HBT	HBT	PROPN	NE	Person=3	18	appos	_	_
21	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	20	punct	_	_
22	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	23	case	_	_
23	Frequenzen	Frequenz	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	20	nmod	_	_
24	oberhalb	oberhalb	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Gen	26	case	_	_
25	45	45	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	26	nummod	_	_
26	GHz	GHz	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	23	nmod	_	_
27	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	5	punct	_	_
