Bei dieser Strukturgröße sind die fertigen Dies nur etwa halb so groß wie die heute im 0,18-µm-Prozess hergestellten .
1	Bei	Bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	3	case	_	_
2	dieser	dies	DET	PDAT	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Dem	3	det	_	_
3	Strukturgröße	Größe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	12	obl	_	_
4	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	12	cop	_	_
5	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	7	det	_	_
6	fertigen	fertig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	7	amod	_	_
7	Dies	unknown	NOUN	NN	Person=3	12	nsubj	_	_
8	nur	nur	ADV	ADV	_	10	advmod	_	_
9	etwa	etwa	ADV	ADV	_	10	advmod	_	_
10	halb	halb	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	12	advmod	_	_
11	so	so	ADV	ADV	Degree=Pos	12	advmod	_	_
12	groß	groß	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	0	root	_	_
13	wie	wie	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	19	mark	_	_
14	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	19	det	_	_
15	heute	heute	ADV	ADV	_	19	advmod	_	_
16-17	im	_	_	_	_	_	_	_	_
16	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
17	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	18	det	_	_
18	0,18-µm-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	19	obl	_	_
19	hergestellten	herstellen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	12	advcl	_	_
20	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	12	punct	_	_
