Die Dicke der isolierenden Gate-Oxidschicht beträgt nur noch drei Atomlagen .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Dicke	Dicke	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	6	nsubj	_	_
3	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
4	isolierenden	isolieren	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	5	amod	_	_
5	Gate-Oxidschicht	Schicht	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
6	beträgt	betragen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
7	nur	nur	ADV	ADV	_	9	advmod	_	_
8	noch	noch	ADV	ADV	_	9	advmod	_	_
9	drei	drei	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	10	nummod	_	_
10	Atomlagen	Lage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	6	obj	_	_
11	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	6	punct	_	_
