Die für die EUV nötigen Laser- und Optotechnologien wurden maßgeblich von den DOE-Instituten entwickelt , die unter anderen für die Atomwaffenprogramme und andere militärische Entwicklungsziele der USA zuständig sind .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	6	det	_	_
2	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	4	case	_	_
3	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	4	det	_	_
4	EUV	unknown	NOUN	NN	Person=3	5	obj	_	_
5	nötigen	nötig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	6	amod	_	_
6	Laser-	Laser-	NOUN	TRUNC	Hyph=Yes	14	nsubj:pass	_	_
7	und	und	CCONJ	KON	_	8	cc	_	_
8	Optotechnologien	Technologie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	6	conj	_	_
9	wurden	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	14	aux:pass	_	_
10	maßgeblich	maßgeblich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	14	advmod	_	_
11	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	13	case	_	_
12	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	13	det	_	_
13	DOE-Instituten	Institut	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	14	obl	_	_
14	entwickelt	entwickeln	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
15	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	28	punct	_	_
16	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	28	nsubj	_	_
17	unter	unter	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
18	anderen	ander	PRON	PIS	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	28	obl	_	_
19	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	21	case	_	_
20	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	21	det	_	_
21	Atomwaffenprogramme	Programm	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	28	obj	_	_
22	und	und	CCONJ	KON	_	25	cc	_	_
23	andere	ander	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	25	amod	_	_
24	militärische	militärisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	25	amod	_	_
25	Entwicklungsziele	Ziel	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	21	conj	_	_
26	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	27	det	_	_
27	USA	USA	PROPN	NE	Number=Plur|Person=3	25	nmod	_	_
28	zuständig	zuständig	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	13	acl	_	_
29	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	28	cop	_	_
30	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	14	punct	_	_
