Dank eines neuen 0,12-µm-Prozesses sollen auf einen Siliziumwafer rund 47 Prozent mehr Chips als mit heutiger Technik passen .
1	Dank	Dank	ADP	APPR	AdpType=Prep	4	case	_	_
2	eines	eines	DET	ART	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	4	det	_	_
3	neuen	neu	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	4	amod	_	_
4	0,12-µm-Prozesses	Prozeß	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	18	obl	_	_
5	sollen	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	18	aux	_	_
6	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	8	case	_	_
7	einen	einen	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
8	Siliziumwafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	18	obl	_	_
9	rund	rund	ADV	ADV	_	10	advmod	_	_
10	47	47	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	11	nummod	_	_
11	Prozent	Prozent	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	12	obl	_	_
12	mehr	mehr	DET	PIAT	Degree=Cmp|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	13	det	_	_
13	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	18	nsubj	_	_
14	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	17	case	_	_
15	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	17	case	_	_
16	heutiger	heutig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	17	amod	_	_
17	Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	13	obl	_	_
18	passen	passen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
19	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	18	punct	_	_
