Der japanische Elektronikkonzern NEC und der taiwanische Chip-Fertigungsspezialist TSMC kooperieren bei der Fertigungs- und Entwicklungstechnik für Halbleiter mit nur noch 0,10 µm Strukturgröße .
1	Der	Der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
2	japanische	japanisch	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	3	amod	_	_
3	Elektronikkonzern	Konzern	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	10	nsubj	_	_
4	NEC	NEC	PROPN	NE	Number=Sing|Person=3	3	flat:name	_	_
5	und	und	CCONJ	KON	_	8	cc	_	_
6	der	der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
7	taiwanische	taiwanisch	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	8	amod	_	_
8	Chip-Fertigungsspezialist	Spezialist	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	3	conj	_	_
9	TSMC	TSMC	PROPN	NE	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	8	flat:name	_	_
10	kooperieren	kooperieren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
11	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	13	case	_	_
12	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	13	det	_	_
13	Fertigungs-	Fertigungs-	NOUN	TRUNC	Hyph=Yes	10	obl	_	_
14	und	und	CCONJ	KON	_	15	cc	_	_
15	Entwicklungstechnik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	13	conj	_	_
16	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	17	case	_	_
17	Halbleiter	Halbleiter	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	15	nmod	_	_
18	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	22	case	_	_
19	nur	nur	ADV	ADV	_	21	advmod	_	_
20	noch	noch	ADV	ADV	_	21	advmod	_	_
21	0,10	0,10	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	22	nummod	_	_
22	µm	µm	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	17	nmod	_	_
23	Strukturgröße	Größe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	22	appos	_	_
24	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	10	punct	_	_
