In die 300-mm-Wafer-Technik will man aber weiter wie geplant investieren .
1	In	In	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	3	case	_	_
2	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	300-mm-Wafer-Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	10	obj	_	_
4	will	wollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	10	aux	_	_
5	man	man	PRON	PIS	Case=Nom|Number=Sing|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	10	nsubj	_	_
6	aber	aber	ADV	ADV	_	10	advmod	_	_
7	weiter	weit	ADJ	ADJD	Degree=Cmp|Variant=Short	10	advmod	_	_
8	wie	wie	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	9	mark	_	_
9	geplant	planen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	10	advcl	_	_
10	investieren	investieren	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
11	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	10	punct	_	_
