Fortschritte bei 130-Nanometer-Chips und 300-mm-Wafern
1	Fortschritte	Fortschritt	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	0	root	_	_
2	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	3	case	_	_
3	130-Nanometer-Chips	130-Nanometer-Chips	PROPN	NE	Person=3	1	nmod	_	_
4	und	und	CCONJ	KON	_	5	cc	_	_
5	300-mm-Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	3	conj	_	_
