เทอร์โมพลาสติก
เทอร์โมพลาสติก เป็นพลาสติกที่มีจุดหลอมเหลว และมีจุดอ่อนตัว (ต่างจากเทอร์โมเซ็ทพลาสติก) มีโครงสร้างแบบสายยาวหรือแบบสาขาสามารถนำกลับมาใช้ใหม่ได้อีก เทอร์โมพลาสติกจะเกิดการอ่อนตัวและหลอมเหลวเมื่อได้รับความร้อน และจะเกิดแข็งตัวเมื่อทำให้เย็นลง พลาสติกที่แข็งตัวแล้วสามารถนำมาหลอมซ้ำได้ ด้วยความร้อนเทอร์โมพลาสติก ดังนั้นเทอร์โมพลาสติกจึงเป็นวัสดุที่มีสมบัติเหมาะสม สำหรับการขึ้นรูปเป็นผลิตภัณฑ์ต่าง ๆ เทอร์โมพลาสติกจะอ่อนตัว และหลอมเหลวเมื่อได้รับความร้อนและจะแข็งตัวเมื่อทำให้เย็นลง พลาสติกที่แข็งตัวแล้วสามารถนำมาหลอมซ้ำได้ ด้วยความร้อนเทอร์โมพลาสติก
ตัวต้านทาน
เพราะช่วงเวลาระหว่างการทำสปัตเตอร์จะสามารถควบคุมได้ ความหนาของฟิล์มบางจึงสามารถ ควบคุมได้อย่างแม่นยำ ชนิดของวัสดุก็ยังแตกต่างกัน มักจะประกอบด้วยตัวนำเซรามิก (cermet )หนึ่งตัวนำหรือมากกว่า เช่น แทนทาลัมไนไตรด์ (TaN), รูทีเนียมออกไซด์(RuO), ตะกั่วออกไซด์ (PbO), bismuth ruthenate ( BiRUO), นิกเกิลโครเมียม (NiCr) หรือ bismuth iridate (BiIrO)