클린룸(Clean room)에 대한 등급을 나타내는 방법으로 미연방규격을 준용하여, 1fit3의 체적 내에 들어 있는 불순 미립자의 수를 Class 등급으로 나타내는 방법이 있다, 예를 들어 class 100 이라고 함은 입경이 얼마인 불순 미립자의 수를 100으로 제한 한다는 의미인가?
0.1 μm
0.2 μm
0.3 μm
0.5 μm
클린룸(Clean room)에 대한 등급을 나타내는 방법으로 미연방규격을 준용하여, 1fit3의 체적 내에 들어 있는 불순 미립자의 수를 Class 등급으로 나타내는 방법이 있다, 예를 들어 class 100 이라고 함은 입경이 얼마인 불순 미립자의 수를 100으로 제한 한다는 의미인가?
A. 0.1 μm
B. 0.2 μm
C. 0.3 μm
D. 0.5 μm