전극 재료를 제조하기 위해 전극 재료를 선택하고자 할 때의 조건으로 틀린 것은?
비저항이 클 것
SiO2와 밀착성이 우수할 것
산화 분위기에서 내식성이 클 것
금속 규화물의 용융점이 웨이퍼 처리 온도보다 높을 것
전극 재료를 제조하기 위해 전극 재료를 선택하고자 할 때의 조건으로 틀린 것은?
A. 비저항이 클 것
B. SiO2와 밀착성이 우수할 것
C. 산화 분위기에서 내식성이 클 것
D. 금속 규화물의 용융점이 웨이퍼 처리 온도보다 높을 것