현재 널리 사용되고 있는 유도결합 플라스마의 고주파 전원으로 알맞은 것은?
라디오고주파 발생기의 27.12 MHz 로 1 kW 출력
라디오고주파 발생기의 40.68 MHz 로 5 kW 출력
라디오고주파 발생기의 27.12 MHz 로 100 kW 출력
라디오고주파 발생기의 40.68 MHz 로 1000 kW 출력
현재 널리 사용되고 있는 유도결합 플라스마의 고주파 전원으로 알맞은 것은?
A. 라디오고주파 발생기의 27.12 MHz 로 1 kW 출력
B. 라디오고주파 발생기의 40.68 MHz 로 5 kW 출력
C. 라디오고주파 발생기의 27.12 MHz 로 100 kW 출력
D. 라디오고주파 발생기의 40.68 MHz 로 1000 kW 출력