Một khi PaO2 được ổn định, có thể tiến hành cai, thực hiện bằng cách giảm FIO2 giảm dần từ 2 đến 3%, sau đó giảm áp lực thở máy; thay đổi nên được dần dần, bởi vì một sự giảm lớn của PaO2 có thể gây co động mạch phổi tái phát.