Các bước cuối cùng trong cai máy thở bao gồm rút nội khí quản, có thể hỗ trợ bằng CPAP hoặc NIPPV đường mũi (hoặc mũi họng) và cuối cùng là sử dụng liều oxy hoặc ống thông mũi để cung cấp O2 đã làm ẩm hay không khí.