Motoharu died in 1620, leaving the family heritage to his second son Sadaharu KUWAYAMA, who in turn died in 1629 without leaving an heir.
元晴は元和(日本)6年（1620年）に死去し、後を次男の桑山貞晴が継ぐが、貞晴は嗣子の無いまま寛永6年（1629年）に死去する。