壓電式微型超音波傳感器於超音波觸覺之應用 piezoelectric micromachined ultrasonic transducer applied in ultrasound haptics
概要-
超音波觸覺為利用高強度超音波聚焦而產生觸覺反饋的技術，其特點為非接觸式且具高解析度。實現方法為透過頻率40khz的傳感器陣列發射訊號，藉由調整各傳感器之發射時間差在空中形成焦點，並透過訊號的調變讓使用者在焦點感受到觸覺。
傳統用於觸覺的傳感器陣列體積過於龐大，不易整合於一般商用產品中，因此本實驗室致力於設計並製作能產生高強度超音波的壓電式微型超音波傳感器(pmut)，以求大幅縮小超音波觸覺裝置之尺寸，使其可廣泛應用於觸控面板或顯示器介面中。
!
概要-
微型壓電式超音波傳感器(pmut)是微機電系統裡一種新型的傳感器。有別於傳統塊材式壓電傳感器，pmut利用壓電薄膜，耦合於一可震動的結構上，當外加電訊號，元件便會開始產生震動，進而發射超音波，若是外加超音波，則元件便會將其轉換成電訊號。在元件結構中，傳感器的響應頻率決定於結構層厚度而非壓電材料本身之厚度，故帶來更大的設計彈性。雖然目前pmut的輸出功率仍小於傳統壓電傳感器，但其具有在結構設計上更大的彈性、水中良好的阻抗匹配性與低輸入電壓等優勢，故在未來極有可能成為新一代的超音波傳感器元件。
!