Faits: Faits: A. Le 25 mars 2003, B._, en tant que propriétaire, et TDC Suisse SA/Sunrise (TDC), en tant que locataire, ont déposé une demande de permis de construire une installation émettrice de téléphonie mobile sur le toit de la villa sise au chemin de la Bergerie 27, à Saint-Légier-La Chiésaz. Celle-ci se situe sur la parcelle n° 1079, en zone de villas. L'installation comprend trois antennes GSM émettant à 900 MHz d'une puissance de 290 W chacune, et deux antennes UMTS émettant à 1800-2100 MHz d'une puissance de 360 W. Les antennes doivent être réparties dans une fausse cheminée et une fausse lucarne sur le pan sud du toit, et une fausse cheminée sur le pan nord. La fiche de données spécifiques du 17 mars 2003 mentionne trois lieux à utilisation sensibles (LUS) soit l'étage supérieur de la villa, la maisonnette située au nord sur la même parcelle (bâtiment n ° 953) et la villa n° 1079 située sur la parcelle n° 1085, voisine au nord-est; pour ces trois lieux, l'intensité du champ électrique est de 4,9, 4,45 et 2,9 V/m. Selon les fiches complémentaires, d'autres LUS sont mentionnés: les maisons n° 1586 sur la parcelle n° 1768 au sud-ouest (intensité: 2,49 V/m), 1274 sur la parcelle n° 1978 au sud (intensité: 1,8 V/m) et 1267 sur la parcelle n° 1762 à l'est (intensité: 2,45 V/m). Mis à l'enquête publique le 13 juin 2003, le projet a suscité neuf oppositions individuelles et quatre oppositions collectives, soit au total 131 signatures. Dans sa synthèse du 21 juillet 2003, la centrale des autorisations CAMAC a fait état du préavis positif du Service de l'environnement et de l'énergie (SEVEN); une nouvelle fiche de données avait été établie le 6 mai 2003, en raison d'une erreur affectant la fiche du 17 mars 2003. Une fiche avait encore été établie le 2 juillet 2003 afin de déterminer les immissions dans le secteur nord, sur la parcelle n° 1719. Les valeurs limites de l'installation combinée, de 5 V/m pour les expositions permanentes et de 4,9 V/m pour les bâtiments voisins les plus exposés, étaient respectées. L'opérateur devrait effectuer des mesures lors de la mise en exploitation; au besoin, l'installation devrait être adaptée, le cas échéant par la fixation de nouvelles puissances d'émission. Sous cette réserve, les exigences de l'ordonnance sur la protection contre le rayonnement non ionisant (ORNI, RS 814.710) étaient respectées. Le 7 août 2003, la Municipalité a refusé le permis de construire, compte tenu des nombreuses oppositions et de l'intérêt à la protection de la population. Le 7 août 2003, la Municipalité a refusé le permis de construire, compte tenu des nombreuses oppositions et de l'intérêt à la protection de la population. B. Par arrêt du 27 juillet 2003, le Tribunal administratif vaudois a admis le recours formé par TDC, et renvoyé le dossier à la Municipalité pour nouvelle décision. Selon la jurisprudence, il n'y avait pas à vérifier si l'installation correspondait à un besoin, mais uniquement si les valeurs limites fixées dans l'ORNI étaient respectées. Ces valeurs étaient près de dix fois inférieures aux valeurs limites d'immissions, dans le but de limiter les effets nuisibles - notamment non thermiques -, conformément à l'art. 11 al. 2 LPE. Se fondant sur l'ATF 126 II 399 et l'arrêt 1A.251/2002 du 24 octobre 2003, le Tribunal administratif a considéré qu'il ne se justifiait pas de revoir ces valeurs, car c'était à l'OFEFP qu'il appartenait de suivre l'évolution des connaissances techniques et scientifiques en la matière. Aucun élément nouveau n'était intervenu depuis le dernier arrêt du Tribunal fédéral, qui justifierait un réexamen des valeurs limites de l'ORNI. Au cours de la procédure, l'opérateur s'était engagé à poser un grillage métallique sur le toit de la villa, dont l'effet était une atténuation de 10 dB du rayonnement dans le bâtiment. Selon les calculs vérifiés par le SEVEN, les valeurs limites de l'installation et d'immissions étaient respectées. Les opposants soutenaient que le bâtiment était non conforme à la zone, ce qui excluait toute transformation; toutefois, il n'était pas prétendu que la non conformité résultait d'un changement de réglementation, de sorte que l'art. 80 de la loi vaudoise sur l'aménagement du territoire et les constructions (LATC) n'était pas applicable. Les antennes étaient camouflées dans des superstructures qui, conformément à la réglementation, n'étaient pas "trop visibles". Les frais de la cause, ainsi qu'une indemnité de dépens allouée aux opposants, ont été mis à la charge de TDC, car ce n'est qu'en procédure de recours qu'avait été prévue l'installation d'un grillage métallique influant de manière déterminante sur les calculs. B. Par arrêt du 27 juillet 2003, le Tribunal administratif vaudois a admis le recours formé par TDC, et renvoyé le dossier à la Municipalité pour nouvelle décision. Selon la jurisprudence, il n'y avait pas à vérifier si l'installation correspondait à un besoin, mais uniquement si les valeurs limites fixées dans l'ORNI étaient respectées. Ces valeurs étaient près de dix fois inférieures aux valeurs limites d'immissions, dans le but de limiter les effets nuisibles - notamment non thermiques -, conformément à l'art. 11 al. 2 LPE. Se fondant sur l'ATF 126 II 399 et l'arrêt 1A.251/2002 du 24 octobre 2003, le Tribunal administratif a considéré qu'il ne se justifiait pas de revoir ces valeurs, car c'était à l'OFEFP qu'il appartenait de suivre l'évolution des connaissances techniques et scientifiques en la matière. Aucun élément nouveau n'était intervenu depuis le dernier arrêt du Tribunal fédéral, qui justifierait un réexamen des valeurs limites de l'ORNI. Au cours de la procédure, l'opérateur s'était engagé à poser un grillage métallique sur le toit de la villa, dont l'effet était une atténuation de 10 dB du rayonnement dans le bâtiment. Selon les calculs vérifiés par le SEVEN, les valeurs limites de l'installation et d'immissions étaient respectées. Les opposants soutenaient que le bâtiment était non conforme à la zone, ce qui excluait toute transformation; toutefois, il n'était pas prétendu que la non conformité résultait d'un changement de réglementation, de sorte que l'art. 80 de la loi vaudoise sur l'aménagement du territoire et les constructions (LATC) n'était pas applicable. Les antennes étaient camouflées dans des superstructures qui, conformément à la réglementation, n'étaient pas "trop visibles". Les frais de la cause, ainsi qu'une indemnité de dépens allouée aux opposants, ont été mis à la charge de TDC, car ce n'est qu'en procédure de recours qu'avait été prévue l'installation d'un grillage métallique influant de manière déterminante sur les calculs. C. A._ et consorts, tous opposants dans la procédure cantonale, forment un recours de droit administratif, subsidiairement de droit public contre cet arrêt; ils en demandent l'annulation, ainsi que le renvoi de la cause au Tribunal administratif pour nouvelle décision sur les frais et dépens. Le Tribunal administratif se réfère aux considérants de son arrêt. TDC conclut au rejet du recours. La Municipalité se réfère aux moyens développés dans le recours, tout en renonçant à déposer une écriture. Le SEVEN conclut au rejet du recours. La demande d'effet suspensif formée par les recourants a été admise par ordonnance présidentielle du 14 octobre 2004. Invité à se déterminer, l'OFEFP estime que les valeurs limites fixées dans l'ORNI respectent le principe de prévention; les installations de téléphonies mobiles ne seraient pas soumises à une obligation de planifier, ni à une clause de besoin. Les prescriptions de l'ORNI seraient respectées dans le cas particulier; l'OFEFP conteste enfin le reproche de partialité qui lui est fait par les recourants. Les parties ont pu s'exprimer au sujet de ces déterminations. Le 8 mars 2005, B._ a fait savoir qu'il avait décidé de résilier le bail conclu avec TDC, pour erreur, dol, voire pour justes motifs. Il estimait n'avoir pas été suffisamment renseigné sur les risques qu'impliquait l'installation litigieuse, tant du point de vue financier que pour la santé. L'opérateur n'aurait pas tenu compte de l'existence d'un bureau au premier étage de la dépendance située au nord, dans lequel l'intéressé déclarait se trouver huit heures par jour. Il s'opposait également aux travaux d'isolation de la toiture, pour lesquels on lui aurait fait signer de nouveaux plans sans l'informer. Les parties ont à nouveau pu s'exprimer sur ce point. TDC indique avoir contesté la résiliation du bail, cette question étant selon elle sans incidence sur le litige de droit public. Les recourants estiment que la dépendance située au nord de la villa constituerait un LUS dont l'existence aurait été ignorée. L'accord du propriétaire, nécessaire selon les art. 104 al. 3 et 108 al. 1 LATC, ferait désormais défaut. TDC s'est encore prononcée le 27 mai 2005. 