Faits: A. La loi vaudoise du 5 décembre 1978 sur la planification et le financement des établissements sanitaires d'intérêt public (LPFES; RS/VD 810.01) fait une distinction entre les établissements sanitaires privés selon qu'ils sont reconnus d'intérêt public ou non. Seuls les premiers peuvent bénéficier d'une participation financière de l'Etat. Pour être reconnu d'intérêt public, un établissement sanitaire privé doit, selon la LPFES, satisfaire à différentes exigences notamment en ce qui concerne les conditions d'engagement et de travail de son personnel ainsi que la distribution du bénéfice. Le 8 octobre 2008, le Conseil d'Etat du canton de Vaud (ci-après: le Conseil d'Etat) a édicté un règlement (RCLPFES; RS/VD 810.01.3) précisant les conditions à remplir par les établissements sanitaires privés pour être reconnus d'intérêt public au sens de la LPFES. Ce texte contient en particulier un barème de rémunération des directeurs d'établissements médico-sociaux (ci-après: EMS) et il détaille les conditions à respecter notamment par les EMS privés pour être reconnus d'intérêt public. Le RCLPFES a été édicté sur la base entre autres des art. 4b et 4d LPFES, qui sont entrés en vigueur le 1er avril 2007, sans avoir été contestés devant la Cour constitutionnelle du Tribunal cantonal vaudois (ci-après: le Tribunal cantonal), et qui ont la teneur suivante: Art. 4b Conditions d'engagement et de travail 1 En l'absence de conventions collectives de travail de force obligatoire, le Conseil d'Etat peut poser des exigences en matière de conditions d'engagement et de travail pour l'ensemble du personnel travaillant dans les établissements sanitaires d'intérêt public. 2 Dans tous les cas, après consultation des associations faîtières, il fixe un barème de rémunération pour les fonctions directoriales et administratives de ces établissements, qui tient compte de leurs spécificités, en particulier de leur taille, de leurs missions et des responsabilités dévolues à ces fonctions. Art. 4d Distribution du bénéfice 1 Le Conseil d'Etat peut poser des limites à la distribution du bénéfice réalisé par les établissements sanitaires d'intérêt public. Ces limites garantissent un rendement suffisant des fonds propres investis et tiennent compte, notamment, des montants perçus, cas échéant, au titre de la rémunération d'une fonction au sein de l'établissement concerné. Le RCLPFES contient notamment les dispositions suivantes: Art. 3 Définition 1 Au sens du présent règlement, on entend par "directeur" ou "directeur général" la personne chargée de diriger l'établissement conformément à ses statuts et titulaire d'une autorisation de diriger conformément à la loi sur la santé publique. Art. 4 Barème applicable aux EMS 1 Le barème de rémunération des directeurs d'EMS est établi sur la base de la taille de l'établissement (nombre de lits) et figure en annexe I, qui fait partie intégrante du présent arrêté. Art. 6 Supplément temporaire pour tâche spéciale 1 L'établissement peut octroyer au directeur ou au directeur général un supplément temporaire de rémunération aux conditions suivantes: a. le montant du supplément ne peut pas dépasser de plus de 10% le plafond du barème applicable à l'établissement concerné; b. l'octroi est lié à l'exécution d'une tâche spéciale, telle que la mise en oeuvre d'une restructuration ou la gestion de difficultés institutionnelles majeures; c. le supplément est accordé pour une durée limitée en principe à 6 mois; d. l'octroi est soumis à l'autorisation du département. Art. 7 Indexation 1 Les barèmes des annexes I et III sont indexés pour autant, et dans la même mesure, que les salaires des collaborateurs soumis à la loi du 12 novembre 2001 sur le personnel de l'Etat de Vaud le soient. Art. 9 Fonctions administratives (art. 4b de la loi) a) Définition 1 Au sens du présent règlement, on entend par "fonction administrative" toute fonction autre que celle du directeur chargée au sens de l'EMS de tâches de direction ou de gestion administratives de l'établissement. Art. 10 b) Rémunération 1 La rémunération des fonctions administratives (y compris les charges patronales) fait partie intégrante des charges administratives au même titre que les honoraires pour sous-traitance administrative et les frais de bureau et d'administration (hors versement aux fonds conventionnels). 2 Le département veille à ce que le taux effectif de ces charges corresponde au taux prévu par l'outil d'évaluation des prestations socio-hôtelières. 3 On entend par taux de charges administratives le rapport entre le total des charges administratives et le total des charges d'exploitation. 4 Aucune fonction administrative ne peut être rémunérée au-delà du barème maximum applicable au directeur de l'EMS concerné en vertu de l'annexe I. Art. 11 Distribution du bénéfice (art. 4d de la loi) 1 La distribution du bénéfice réalisé par les EMS exploités sous la forme d'une raison individuelle, d'une société de personnes physiques ou d'une société de capitaux est limitée conformément aux alinéas ci-après. 2 Au sens du présent règlement, il faut entendre par bénéfice réalisé les résultats nets d'exploitation et d'investissements après salaire de l'exploitant et impôts mais avant répartition légale obligatoire, ceci en conformité avec les directives comptables fixées par le département. 3 Le bénéfice réalisé doit être affecté à une réserve spéciale au titre de fonds propres complémentaires à raison de 5/6ème par la raison individuelle ou la société de personnes physiques et à raison de 2/3 par la société de capitaux. En tous les cas, la part résiduelle non affectée du bénéfice ne peut dépasser le 1,5% du total des produits d'exploitation; si tel est le cas, la part résiduelle qui dépasse 1,5% doit être affectée conformément à la première phrase du présent alinéa. 4 Toute dérogation à ces règles d'affectation est soumise à l'accord exprès du département, sur demande motivée de l'établissement, cas échéant sur préavis du contrôleur des comptes. 5 Le solde de la réserve spéciale est limité à hauteur de 25% de la moyenne des recettes d'exploitation des trois dernières années. 6 L'établissement doit veiller à ce que la réserve spéciale soit mobilisable afin de couvrir des pertes d'exploitation ou permettre le financement de mesures d'exploitation d'ordre général ainsi que celui de l'investissement, ceci conformément à la mission de l'établissement. Art. 16 Dispositions transitoires a) barème de rémunération 1 Les établissements appliquent les barèmes de rémunération des annexes I et III pour tout engagement de directeur ou de directeur général postérieur à l'entrée en vigueur du présent règlement. 2 Ils l'appliquent dès le 1er janvier 2012 aux directeurs et directeurs généraux engagés avant cette entrée en vigueur. Toutefois, si la rémunération de ces directeurs est supérieure de plus de 20% au maximum fixé pour la catégorie les concernant, les établissements l'adaptent d'ici au 1er juillet 2009 afin qu'elle ne dépasse pas ce maximum de plus de 20%. Les établissements peuvent solliciter une exception à une telle adaptation au 1er juillet 2009 en faisant valoir l'expérience ou l'ancienneté du directeur ou du directeur général; le département statue. Art. 17 b) distribution du bénéfice 1 Les règles sur la distribution du bénéfice réalisé mentionnées à l'article 11 sont applicables dès l'exercice 2009. Toute convention ou tout contrat de société contraire aux dispositions prévues par cet article doit être mis en conformité par les établissements au plus tard le 1er juillet 2009. Les délais contenus dans les dispositions transitoires et finales du RCLPFES, notamment dans ses art. 16 et 17, ont tous été reportés d'une année, par un règlement du 11 novembre 2009 (cf. Feuille des avis officiels du canton de Vaud du 20 novembre 2009 p. 5). B. La Fédération patronale des EMS vaudois (FEDEREMS), l'Association romande et tessinoise des directeurs de maisons pour personnes âgées (ARODEMS) et 41 EMS ont adressé au Tribunal cantonal une requête tendant à l'annulation du RCLPFES dans sa globalité. Par arrêt du 4 septembre 2009, le Tribunal cantonal a rejeté la requête, en tant qu'elle était recevable. C. Le 7 octobre 2009, la FEDEREMS, l'ARODEMS et les 41 EMS dont la liste figure en tête du présent arrêt ont interjeté au Tribunal fédéral un recours en matière de droit public et un recours constitutionnel subsidiaire contre l'arrêt du Tribunal cantonal du 4 septembre 2009. Ils concluent, sous suite de frais et dépens, principalement, à l'annulation de l'arrêt attaqué et du RCLPFES et, subsidiairement, au renvoi du dossier de la cause à l'instance cantonale pour nouvelle décision dans le sens des considérants. Ils font valoir que le RCLPFES sort du cadre de la délégation législative contenue dans la LPFES, notamment en matière de rémunération des fonctions directoriales et administratives ainsi que d'utilisation du bénéfice généré. Ils soutiennent aussi que le RCLPFES viole la liberté économique des propriétaires des établissements concernés, la garantie de la propriété, la "force dérogatoire" du droit fédéral ainsi que les principes de la proportionnalité, de l'égalité et de l'interdiction de l'arbitraire. Le Tribunal cantonal a renoncé à répondre au recours. Le Conseil d'Etat conclut au rejet du recours. Les parties ont confirmé leurs conclusions lors d'un second échange d'écritures. D. Par ordonnance du 4 novembre 2009, le Président de la IIe Cour de droit public a rejeté la demande d'effet suspensif présentée par les recourants. 