Ion implantatsiyasi
Ion implantatsiyasi past haroratli jarayon bo'lib, uning yordamida bir elementning ionlari qattiq nishonga tezlashadi va shu bilan nishonning fizik, kimyoviy yoki elektr xususiyatlarini o'zgartiradi. Ion implantatsiyasi yarimo'tkazgichli qurilmalarni ishlab chiqarishda va metallga ishlov berishda, shuningdek materialshunoslik tadqiqotlarida qo'llaniladi. Ionlar nishonning elementar tarkibini o'zgartirishi mumkin. Ion implantatsiyasi, shuningdek, ionlar nishonga yuqori energiya bilan ta'sir qilganda kimyoviy va fizik o'zgarishlarga olib keladi. Nishonning kristall tuzilishi energetik to'qnashuvlar kaskadlari tomonidan buzilishi yoki hatto yo'q qilinishi mumkin va yetarlicha yuqori energiya (10 MeV) ionlari yadroviy o'zgarishlarga olib kelishi mumkin.