MEMS-ostsillaator
MEMS-ostsillaator on elektromehaanilise mikrosüsteemina valmistatud ostsillaatorlülitus, mille võnkesagedust määrav element – resonaator – on valmistatud polükristallilisest ränist. Tavaliselt kasutatava kvartsresonaatori asendamine polükristallränist resonaatoriga võimaldab paigutada kõik ostsillaatori komponendid integraallülitusena ühele pooljuhtkiibile. Vaadeldava polüräniresonaatori lineaarmõõtmed on 100 µm ringis, umbes sama palju kiibi pinda vajab ka ülejäänud elektroonikalülitus. Korpuseta MEMS-ostsillaator on kasutusel näiteks nutitelefonis.