Nanojäljendlitograafia
Nanojäljendlitograafia (ingl k nanoimprint lithography) on nanolitograafia meetod, millega on võimalik jäljendi abil valmistada nanoskaalas mustreid. Nanojäljendlitograafias valmistatakse mustreid aluspinnale kaetud resisti mehaanilise deformeerimisega. Meetodi eelisteks teiste nanolitograafia meetodite ees on madal hind, suur tootlikkus ja kõrge lahutusvõime. Nanojäljendlitograafia peamine kasutusvaldkond on nanoelektroonika komponentide valmistamine, nagu näiteks integraallülitused, SRAM ja LED-ide pikslid.