Skaneeriv transmissioonelektronmikroskoop
Skaneeriv transmissioonelektronmikroskoop (STEM) on transmissioonelektronmikroskoobi (TEM) alaliik. Sarnaselt TEM-iga moodustub kujutis proovi läbivate elektronide detekteerimise teel. Erinevalt TEM-ist on aga STEM-is elektronkiir fokuseeritud ühte punkti (tüüpilise punkti suurusega 0,05–0,2 nm) millega liigutakse rastersüsteemi põhjal üle terve proovi pinna nii, et elektronkiir oleks skaneerimise ajal perfektselt risti proovi pinnaga. Taoline pinna skaneerimise meetod muudab STEM-i sobivaks ka teiste tehnikate jaoks, nagu näiteks energiadispersiivset röntgenspektroskoopia (EDX/EDS) või elektronide energiakadude spektroskoopia (EELS, inglise k electron energy loss spectroscopy), mille signaali on võimalik mõõta samaaegselt, mistõttu on võimalik üks-ühele võrrelda kujutisi ning spektroskoopilisi andmeid. Tihti baseerub STEM tavalisel TEM-il, millele on lisatud skaneerivad mähised, detektorid ja muu vajalik, mis võimaldab ühe seadmega läbi viia nii TEM- kui ka STEM-analüüse, ehkki toodetakse ka STEM-e, millel taoline võimalus puudub. Nagu kõik transmissioonelektronmikroskoobi alaliigid vajab ka STEM väga stabiilset ruumikeskkonda. Saavutamaks aatomlahutust on vajalik minimeerida vibratsioone, temperatuurikõikumisi, elektromagnet- ja helilaineid ruumis kus mikroskoop asub.