Röntgenfotoelektronspektroskoopia
Röntgenfotoelektronspektroskoopia (RFS; ingliskeelne lühend XPS (X-ray photoelectron spectroscopy)) on kvantitatiivne spektroskoopiline tehnika, mille abil selgitatakse välja uuritava materjali elemendiline koostis, empiiriline keemiline valem, keemiline olek ja elektronide seisund. RFS on tuntud ka kui KAES (keemilise analüüsi elektronspektroskoopia). RFSi spekter saadakse, kiiritades uuritavat ainet röntgenikiirgusega ja samaaegselt mõõtes ainest 1–10 nm sügavuselt lahkuvate elektronide kineetilist energiat ning loendades nende arvu. Seda meetodit saab kasutada vaid väga kõrges vaakumis. RFS on keemilise pinnaanalüüsi meetod, mida saab kasutada selleks, et analüüsida materjali pinna keemiat selle esialgses olekus või pärast manipuleerimist, milleks kasutatakse järgmisi meetodeid: pragundamist; lõikamist; õhus ja kõrgvaakumis kraapimist; ioonkimp-söövitust, et puhastada pinda saastest; kuumutamist, et vaadelda struktuuride muutust; kokkupuudet aktiivsete gaaside või gaaslahendustega ja valgustamist ultraviolettkiirgusega.