ক্রমবেক্ষক ইলেকট্রন অণুবীক্ষণ যন্ত্র
ক্রমবেক্ষক ইলেকট্রন অণুবীক্ষণ যন্ত্র (ইংরেজি:Scanning Electron Microscope স্ক্যানিং ইলেকট্রন মাইক্রোস্কোপ) হল এমন একটি ইলেকট্রন অণুবীক্ষণ যন্ত্র যেটি একটি বিশেষ বস্তুর ছবি তোলে ইলেকট্রন রশ্মি দিয়ে ক্রমবীক্ষণ (স্ক্যান) করার পর। ইলেকট্রনগুলি পরমাণুর সাথে ধাক্কা খেয়ে বিভিন্নরকমের সংকেতের জন্ম দেয় যেগুলি বিশেষ অস্তিত্ব শনাক্তকারকের দ্বারা তথ্য সংগ্রহ করে সেই বস্তুর দ্বিমাত্রিক কাঠামোচিত্র ও তার অন্তর্নিহিত অণুর বিভিন্ন তথ্য আমাদের জানায়। ছবিটি তৈরি করা হয় ইলেকট্রন রশ্মির স্থান ও গৃহীত সংকেতের তথ্য থেকে। ক্রমবেক্ষক ইলেকট্রন অণুবীক্ষণ যন্ত্রের বিভেদনক্ষমতা (রেজোলিউশন) ১ ন্যানোমিটার পর্যন্ত হতে পারে। কিছু ক্ষেত্রে তার চেয়ে কম বিভেদনক্ষমতায় যাওয়া সম্ভব হয়েছে। পরীক্ষামূলক নমুনা (টেস্ট স্যাম্পল) যেকোনও তাপমাত্রায় বা যেকোনও পরিবেশে দেখা সম্ভব। সাধারণত ক্রমবেক্ষক ইলেকট্রন অণুবীক্ষণ যন্ত্রে পরমাণু থেকে বেরিয়ে আসা গৌণ ইলেকট্রন রশ্মিগুলিকে সনাক্ত করা হয়ে থাকে। ক্রমবেক্ষক ইলেকট্রন অণুবীক্ষণ যন্ত্রে পরীক্ষামূলক নমুনার চ্যাপ্টা পৃষ্ঠে কম গৌণ ইলেকট্রন ও বাঁকা পৃষ্ঠে তুলনামূলকভাবে বেশি গৌণ ইলেকট্রন শনাক্ত করা সম্ভব। এই "গৌণ" ইলেকট্রনগুলি তুলনামূলক রশ্মি সংগ্রহ করে দ্বিমাত্রিক কাঠামোচিত্রণ তৈরি করার সম্ভব।