আরসিএ পরিষ্কারকরণ
আরসিএ পরিষ্কারকরণ (ইংরেজি: RCA clean) হলো ওয়েফার পরিষ্কারকরণের অন্যতম আদর্শ ধাপ যা সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে সিলিকন ওয়েফারের উচ্চ তাপমাত্রা প্রক্রিয়াজাতকরণ পদক্ষেপের (জারণ, বিচ্ছুরণ, সিভিডি) আগে সম্পাদন করা প্রয়োজন। ভের্নার কার্ন ১৯৬৫ সালে রেডিও কর্পোরেশন অব আমেরিকার (আরসিএ)-র হয়ে কাজ করার সময় এ মৌলিক পদ্ধতিটি তৈরি করেন। এ পদ্ধতিটির সাথে যথাক্রমে সম্পাদিত নিম্নলিখিত রাসায়নিক প্রক্রিয়াগুলি জড়িত: জৈব দূষিক পদার্থ অপসারণ (জৈব পরিষ্কারকরণ + কণা পরিষ্কারকরণ) সরু অক্সাইডের স্তর অপসারণ (অক্সাইড স্ট্রিপ, ঐচ্ছিক) আয়নিক দূষণ অপসারণ (আয়নিক পরিষ্কারকরণ)