ইলেকট্রন অণুবীক্ষণ যন্ত্র
একটি ইলেক্ট্রন অণুবীক্ষণ যন্ত্র এমন একটি মাইক্রোস্কোপ যা আলোক উৎস হিসাবে ইলেকট্রন ব্যবহার করে। এটি ইলেকট্রন অপটিক্স ব্যবহার করে; যা একটি অপটিক্যাল লাইট মাইক্রোস্কোপের গ্লাস লেন্সের সাথে সাদৃশ্যপূর্ণ। একটি ইলেক্ট্রনের তরঙ্গদৈর্ঘ্য দৃশ্যমান আলোর চেয়ে ১০০,০০০ গুণ কম হওয়ায় ইলেকট্রন মাইক্রোস্কোপের উচ্চতর রেজোলিউশন প্রায় ০.১ ন্যানোমিটার থাকে, যা আলোক অণুবীক্ষণ যন্ত্রের জন্য প্রায় ২০০ ন্যানোমিটারের সাথে তুলনীয়। ইলেক্ট্রন অণুবীক্ষণ যন্ত্র উল্লেখ করতে পারে: ট্রান্সমিশন ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপি (টিইএম); যেখানে দ্রুতগামী ইলেকট্রন একটি পাতলা নমুনার মধ্য দিয়ে যায় স্ক্যানিং ট্রান্সমিশন ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপি (এসটিইএম); একটি স্ক্যান করা ইলেক্ট্রন প্রোবের সাথে 'টিইএম'-এর অনুরূপ স্ক্যানিং ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপ (এসইএম); এসটিইএম-এর মতই, কিন্তু মোটা নমুনার জন্য একটি এসইএম এর অনুরূপ ইলেক্ট্রন মাইক্রোপ্রোব, কিন্তু রাসায়নিক বিশ্লেষণের জন্য আরও বেশি ব্যবহৃত আল্ট্রাফাস্ট স্ক্যানিং ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপি; এসইএম এর একটি সংস্করণ। এটি খুব দ্রুত কাজ করতে পারে নিম্ন-শক্তি ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপি (এলইইএম); পৃষ্ঠভাগ চিত্রিত করার জন্য ব্যবহৃত ফটোইমিশন ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপি (পিইএম); ফোটন দ্বারা পৃষ্ঠে উৎপাদিত ইলেকট্রন ব্যবহার করে এলইইএম এর অনুরূপ অতিরিক্ত বিবরণ উপরে পাওয়া যাবে। এই নিবন্ধে প্রধানত ট্রান্সমিশন ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপ সম্পর্কে কিছু সাধারণ তথ্য রয়েছে।