„In diesem Raum werden die natürlichen freien Ladungsträger im Gas zu ihrer jeweiligen Gegenelektrode hin beschleunigt. Erhöht man die Spannung, finden ''Elektronenstoßionisationen'' im Volumen (α-Prozesse) statt.“<ref>[http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/6992/Disserstation_WOLF_online.pdf Plasmaabscheidung von Metall-Polymer-Nanokompositen](PDF; 7,1 MB) ''www.qucosa.de'', abgerufen am 10. Februar 2014</ref>
die [[Entfernung]] eines oder mehrerer [[Elektron]]en aus einem [[Atom]] oder [[Molekül]] durch [[Energiezufuhr]]