Ovennævnte rådmand i Randers Hans Hansen Bentsen (1541-1625) havde sønnerne Søren Bentzon (1618-1668), der var sognepræst og provst i Randers, og Mads Bentzon, hvis søn Hans Benzon (1650-1704) købte Skærsø og var stamfader til 3. adelige linje af 1679.