cond-mat.mtrl-sci physics.comp-ph
A detailed examination of polysilicon resistivity incorporating the grain size distribution
Mikael Santonen Antti Lahti Zahra Jahanshah Rad Mikko Miettinen Masoud Ebrahimzadeh Juha-Pekka Lehtiö Enni Snellman Pekka Laukkanen Marko Punkkinen Kalevi Kokko Katja Parkkinen Markus Eklund