quant-ph cond-mat.supr-con
Effect of Etching Methods on Dielectric Losses in Transmons
T. A. Chudakova G. S. Mazhorin I. V. Trofimov N. Yu. Rudenko A. M. Mumlyakov A. S. Kazmina E. Yu. Egorova P. A. Gladilovich M. V. Chichkov N. A. Maleeva M. A. Tarkhov V. I. Chichkov