처리 시스템(100)은 보조 장치의 지원을 받는 처리 툴(102)을 포함할 수 있으며, 보조 장치는 진공 펌프(104), 저감 장치(106) 혹은 이들의 조합이 될 수 있다.
The processing system 100 may include a processing tool 102 supported by an auxiliary device, which may be a vacuum pump 104, an abatement device 106, or a combination thereof.