평탄화 특성은 홀이 있는 부분과 홀이 없는 부분의 레지스트 하층막의 막두께의 차(즉, 단차)를 측정하여 관찰한다.
The planarization characteristic is observed by measuring the difference (i.e., step difference) in the film thickness of the resist underlayer film between the portion with holes and the portion without holes.