실리콘 웨이퍼를 설계 회로에 맞게 깎고(식각), 웨이퍼 위에 얇은 막을 씌우는(증착) 공정 등 플라즈마가 필수적으로 쓰이는 장비에 이 부품들이 들어간다.
These components are used in equipment where plasma is essential, such as the process of chipping (etching), a silicon wafer into a design circuit and depositing a thin film on the wafer (deposition).