견본 포지셔닝 시스템(140)이 각도 분해된 산란 광학 방사선을 생산하기 위해 견본(101)을 위치시켜 지향시키는 동안 산란된 광학 방사선(128)이 광학 검출기(123)에 의해 수집된다.
Scattered optical radiation 128 is collected by optical detector 123 while specimen positioning system 140 positions and directs specimen 101 to produce angle-resolved scattered optical radiation.