MEMS 가속도계에는 진공 패키지에서 매스 스프링 시스템으로 작동할 수 있는 미니어처 실리콘 오실레이터가 있으며 가속이 적용되면 관성에 의해 오실레이터가 교체된다.
A MEMS accelerometer has a miniature silicon oscillator that can operate as a mass-spring system in vacuum packaging, and when acceleration is applied, the oscillator is displaced by inertia.