노이즈 신호가 스펙트럼 애널라이저(13)에 입력되는 것을 방지할 수 있어, 검출 신호와 구동 신호의 위상차를 보다 정밀도 좋게 산출할 수 있다.
It is possible to prevent the noise signal from being input to the spectrum analyzer 13, so that the phase difference between the detection signal and the drive signal may be calculated more accurately.