일루미네이터는 일루미네이터(IL)의 퓨필 평면의 환형 구역 내에서 세기 분포가 0이 아니도록(non-zero) 방사선 빔의 반경 크기를 제한하도록 배치될 수 있다.
The illuminator may be arranged to limit the radial magnitude of the radiation beam such that the intensity distribution within the annular region of the pupil plane of the illuminator IL is non-zero.