빔 직경이 10 nmφ 이하, 또는 5 nmφ 이하의 전자선을 사용하여 얻어지는 전자선 회절 패턴을 극미 전자선 회절 패턴이라고 부른다.
An electron beam diffraction pattern obtained by using an electron beam having a beam diameter of 10 nmφ or less or 5 nmφ or less is called a microscopic electron beam diffraction pattern.