에피 성장 시, 필요한 압력 및 성장 온도 등의 복잡한 제어 요소로 인하여 높은 재현성과 낮은 결함도를 유지하는 것이 관건이다.
It is critical to maintain high reproducibility and low defects due to complex control factors such as pressure and growth temperature required for epi-growth.