상기 블로킹 절연 패턴(65a) 및 상기 상부 산화 절연 패턴(63b)은 중온 산화물 또는 고유전물을 포함할 수 있다.
The blocking insulating pattern 65a and the upper oxide pattern 63b may include a medium-temperature oxide material or a high-k dielectric material.