그러나 더 높은 어닐링 온도는 또한 필름에서 도너로 작용하는 더 많은 고유 점 결함을 생성하여 > 600℃에서 더 높은 저항을 생성한다.
However, the higher annealing temperature also creates more intrinsic point defects that act as donors in the film, resulting in higher resistance at >600°C.