기판으로는 세척된 일반 유리 기판을 사용하였으며, 하부 AZO 전극/a-Si/상 부 AZO 전극 순으로 증착하였다.
A cleaned general glass substrate was used as the substrate, followed by deposition in the order of lower AZO electrode/a-Si/upper AZO electrode.