바람직하게, 침지액(예를 들면 물)은 기포 방지 처리되며, 예를 들어 물을 탈기하여 나노버블을 피할 수 있다.
Preferably, the immersion liquid (for example, water) is treated to prevent bubbles, and nanobubbles could be avoided, for example, by degassing water.