집속 전극의 높이는 제 2 개구의 폭과 동일하고, 그리고 제 1 개구의 폭은 제 2 개구의 폭의 1/3 이하일 수 있다.
A height of the focusing electrode may be identical to the width of the second opening, and the width of the first opening may be ⅓ or less of the width of the second opening.