복수의 상기 테스트 장비는 상기 챔버(1000)에 결합될 수 있고, 상기 테스트 장비들은 각각 독립적으로 상기 챔버(1000)에 결합 및 이탈할 수 있다.
A plurality of the test equipment may be coupled to the chamber 1000, and the test equipment may be independently coupled to and detached from the chamber 1000.