본 실시예에서의 비닝을 위해 사용된 레티클 검사 데이터의 1 이상의 속성은 여기에 기술한 레티클 검사 데이터의 임의의 속성을 포함할 수 있다.
The one or more attributes of the reticle inspection data used for binning in the present embodiment may include any attributes of the reticle inspection data described herein.