상기 기판 접촉면의 기공을 이용하여, 상기 기판 접촉면에 상기 기판을 전체 영역에 걸쳐 균일하게 흡착시킬 수 있다.
By using the pores of the substrate contact surface, the substrate may be uniformly adsorbed on the substrate contact surface over the entire area.