그림 3은 다결정 실리콘 게이트 막의 공핍층 형성이 단채널 효과에 미치는 영향을 분석하기 위해 실험한 결과를 보여주고 있다.
Figure 3 shows the experimental results to analyze the effect of the formation of the depletion layer of the polycrystalline silicon gate film on the short channel effect.