금속 산화물층(3231)이 In-M-Zn 산화물로 형성되는 경우, 스퍼터링 타깃으로서는 다결정의 In-M-Zn 산화물을 포함하는 타깃을 사용하는 것이 바람직하다.
When the metal oxide layer 3231 is formed of In-M-Zn oxide, it is preferable to use a target including polycrystalline In-M-Zn oxide as the sputtering target.