본 명세서 내의 기술은 소정의 릴리프 패턴이 에칭 전사 전에 반전되는 다양한 유형의 이미지 반전 기술을 포함할 수 있다.
Techniques within this specification may include various types of image reversal techniques in which a given relief pattern is reversed prior to etch transfer.