바람직한 오버코트 조성물 층은 표적 노출 파장에서 침액 및 포토레지스트의 굴절률 사이의 굴절률을 가질 것이다.
The preferred overcoat composition layer would have an index of refraction between the index of refraction of the immersion and photoresist at the target exposure wavelength.