연결 포트는 공정 가스의 상류측에 위치하는 유입 포트와, 공정 가스의 하류측에 위치하는 배출 포트로 구분될 수 있다.
The connection port may be divided into an inlet port positioned on the upstream side of the process gas and an outlet port positioned on the downstream side of the process gas.