그림 5(c)는 아르곤 기체 100 sccm 유량에서 소자 의 온도에 따른 자외선 영역의 스펙트럼을 측정한 그래프이다.
Figure 5(c) shows the raft measuring the ultraviolet region's spectrum according to the element's temperature at the 100 sccm argon gas' flow rate.