또, 3층 레지스트 시스템에서는, 층 형성의 공정수가 많아, 레지스트 패턴의 형성 비용이 높다는 문제가 있었다.
In addition, in the three-layer resist system, there is a problem in that the number of layers formation is increased, and the formation cost of the resist pattern is high.