본 논문에서는 그림자 무아레 시스템에 위상이동 기법을 적용하여 12.5 μm/fringe의 향상된 감도를 갖는 측정장치를 구성하였다.
In this paper, a measuring device with improved sensitivity of 12.5 μm/fringe was constructed by applying the phase shift technique to the shadow moire system.