오염 배리어 층(310)은 실질적으로 편평하며, 그리고 PPA(300c)가 프로세싱 데이터를 수집하는데 사용될 때 정전 척과 접촉한다.
The contamination barrier layer 310 is substantially flat and contacts the electrostatic chuck when the PPA 300c is used to collect processing data.