여기서, 상기 제1 n형 반도체층, 상기 제1 i형 반도체층 및 상기 제1 p형 반도체층은 SiC계 반도체층일 수 있다.
Here, the first n-type semiconductor layer, the first i-type semiconductor layer, and the first p-type semiconductor layer may be an SiC-based semiconductor layer.