광원으로부터의 광은 빔 스플리터(308)로 향할 수 있으며, 빔 스플리터(308)는 광원으로부터의 광을 웨이퍼(310)로 지향시키도록 구성될 수 있다.
Light from the light source may be directed to a beam splitter 308, which may be configured to direct light from the light source to a wafer 310.