상기 방법은 비닝 단계의 결과에 기초하여 체계적 결함, 잠재적인 체계적 결함, 또는 이들의 일부 조합을 시간에 걸쳐 모니터링하는 단계를 포함한다.
The method includes a step of monitoring over time for systematic defects, potential systematic defects, or some combination thereof based on the results of the binning step.