여기에서 고어스펙트비의 깊은 홈 구조를 갖는 시료의 저부에 빔을 집속시켜, SEM으로 관찰할 경우를 생각한다.
Here, a case where a beam is focused on the bottom of a sample having a deep groove structure of a high aspect ratio and observed with an SEM is considered.