공정 챔버의 내부 형상에 기초로 하여, 제1 단위 노즐(nz1) 및 제2 단위 노즐(nz2) 중 적어도 하나의 단위 노즐이 선택될 수 있다.
At least one unit nozzle among the first unit nozzle nz1 and the second unit nozzle nz2 may be selected based on the internal shape of the process chamber.