상기의 범위에서 용제 또는 현상액에의 용해성이 확보되며, 충분한 절연막의 코팅성 및 기계적 신뢰성이 확보될 수 있다.
In the range, solubility in a solvent or developer is secured, and sufficient coating properties and mechanical reliability of the insulating film can be secured.