본 방법의 또 다른 일 실시예에 따르면, 하나 이상의 빔 그룹의 2개 이상의 전자기 빔이 서로 평행하게 정렬되어 발생한다.
According to another configuration of the method, two or more electromagnetic beams of one or more beam groups are generated by being aligned parallel to each other.