본 발명의 기술적 사상이 해결하려는 과제는 상기 웨이퍼 서포트 어셈블리를 포함하는 이온 주입 설비를 제공하는데 있다.
A problem to be solved by the inventive concept of ​​the present invention is to provide an ion implantation facility including the wafer support assembly.