상기 테스트 시스템은 상기 챔버(1000)의 하부에 배치되며, 상기 각 테스트 장비들(TF1 내지 TF6)로 전원을 공급하는 파워 유틸리티(2000)를 더 포함할 수 있다.
The test system may further include a power utility 2000 that is disposed under the chamber 1000 and supplies power to each of the test devices TF1 to TF6.