폴리머 주쇄에 산 발생제를 결합시킴으로써 산 확산을 작게 하고, 산 확산의 둔화에 의한 해상성의 저하를 방지할 수 있다.
By binding an acid generator to the polymer main chain, acid diffusion can be reduced, and a decrease in resolution due to the slowing of acid diffusion can be prevented.