제1 플라즈마 처리 모듈(200)은 단수개의 제1 플레이트(220a), 제2 가스 공급부(230a) 및 제1 전력 공급부(240a)를 포함할 수 있다.
The first plasma processing module 200 may include a single first plate 220a, a second gas supply unit 230a, and a first power supply unit 240a.