이를 위해서 본 연구에서는 금속 alloy 열 처리, 폴리 결정 실리콘의 후속 열 처리, 및 수소 이온 주입을 각각 추가하였다.
To this end, metal alloy heat treatment, subsequent heat treatment of polycrystalline silicon, and hydrogen ion implantation were added in this study.