희생막(155)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 폴리실리콘막, 또는 금속막 중의 적어도 하나를 포함할 수 있다.
The sacrificial layer 155 may include at least one of a silicon oxide layer, a silicon nitride layer, a polysilicon layer, and a metal layer.