대안의 구현예들에서 프로세싱 모듈(PM1-PM4) 및 로드 잠금부(LL1, LL2) 각각은 3 개 보다 많거나 적은 타겟들을 가질 수 있다.
In alternative implementations each of the processing modules PM1-PM4 and the load locks LL1, LL2 may have more or less than three targets.