본 논문에서는, STS 기판의 평탄화와 절연효과를 기대하며, 고내열성 실리콘수지를 STS에 코팅을 시도하였다.
In this paper, the planarization and insulation effect of the STS substrate is expected, and a highly heat-resistant silicone resin is coated on the STS.