상기 제1 외곽 더미층(201), 제2 외곽 더미층(202) 및 제3 외곽 더미층(203)은 상기 더미 영역(DA)을 따라 연장된다.
The first outer dummy layer 201, the second outer dummy layer 202, and the third outer dummy layer 203 extend along the dummy area DA.