전술한 단계 1111 내지 단계 1114는 웨이퍼 처리 시 웨이퍼의 전(前)처리 단계들을 형성하고, 각 단계에서 처리 요건에 따라 선택이 이루어진다.
Steps 1111 to 1114 described above form pre-processing steps of a wafer during wafer processing, and selection is made according to processing requirements in each step.