프로세스 창 매핑의 결과에 대해 체계적 결함의 속성을 비교함으로써, 가능한 소스 및/또는 근본 원인에 대하여 추단할 수 있다.
By comparing the attributes of systematic defects against the results of process window mapping, inferences may be made about possible sources and/or root causes.