제2 상부 층간 절연막(82)은 제2 하부 층간 절연막(81)과, 제1 층간 절연막(70) 사이에 형성될 수 있다.
The second upper interlayer insulating film 82 may be formed between the second lower interlayer insulating film 81 and the first interlayer insulating film 70.