스텝 A901에서 사용하는 초기 데이터에는 도 15에서 나타낸 복수의 레시피와, 그 각 레시피를 사용해서 에칭했을 때의 가공 형상 데이터를 입력할 수 있다.
A plurality of recipes shown in FIG. 15 and the processing shape data at the time of etching using each recipe may be input to the initial data used in step A901.