반수계 세정액은 식각 잔류물인 구리 산화물의 효율적인 제거를 위해 불소화합물, 카르복시산 및 아민을 함유한다.
The semi-aqueous cleaning solution has a fluorine compound, a carboxylic acid and an amine for efficient removal of copper oxide, which is an etching residue.