반도체 장치의 제조 시스템은 메인 시스템 제어기(100), 서브 시스템 제어기(1000) 및 공정 모듈(2000)을 포함할 수 있다.
The semiconductor device manufacturing system may include a main system controller 100, a subsystem controller 1000, and a process module 2000.