식각 종료점 검출 방식은 기존의 by-product만을 이용한 식각 종료점 검출 방식보 다 세밀하고 효과적인 검출 결과를 확인 할 수 있었다.
The etch endpoint detection method confirmed more detailed and effective detection results than the conventional etch endpoint detection method using only by-products.