이 점에 관하여, 종래에는 NA 애퍼처(62)의 위치에서의 스폿 형상 및 비점 수차의 조정을 직접 행할 수는 없었다.
In this regard, conventionally, it was not possible to directly adjust the spot shape and astigmatism at the position of the NA aperture 62.