이들의 최적화를 위한 선행 시뮬레이션 작업이 중요하고 시뮬레이션을 통해서, 패턴 형상에 따른 열 분포 특성의 경향을 파악할 수 있다.
Prior simulation work for their optimization is important, and through simulation, the trend of heat distribution characteristics according to the pattern shape may be grasped.