도전막으로서 티탄막의 단층 구조, 알루미늄막 위에 티탄막을 적층하는 2층 구조 등을 이용할 수 있다.
A single-layer structure of a titanium film, a two-layer structure in which a titanium film is laminated on an aluminum film, or the like can be used as the conductive film.