또, 한 쌍의 감속용 전극(136)은 이온빔을 감속시킴과 함께 기준 궤도측에 가까워지는 방향으로 편향시킨다.
Further, a pair of deceleration electrodes 136 decelerates the ion beam and deflects the same in a direction closer to the reference trajectory side.