상기 제1 더미 상부 배선(321)의 하단은 상기 제3 층간 절연층(57)의 상단보다 낮은 레벨에 형성될 수 있다.
A lower end of the first dummy upper wire 321 may be formed at a lower level than the upper end of the third interlayer insulating layer 57.