즉, 하나의 기준홀의 인접홀들 간의 크기 편차가 2% 내지 10% 로 구현하는 경우에는 증착의 균일도를 확보할 수 있다.
That is, when a size deviation between the adjacent holes of one reference hole is formed as 2% to 10%, deposition uniformity may be secured.