이때 제3 반사 레이저빔(L3)과 제6 반사 레이저빔(L6)은 서로 다른 경로로 피처리막(21)에 조사된다.
In this case, the third reflected laser beam L3 and the sixth reflected laser beam L6 are irradiated on the target film to be treated 21 through different paths.