상기 제1 및 제2 센싱 액티브 패턴(SACT1, SACT2)이 제공된 상기 기판(SUB) 상에 게이트 절연막(GI)이 제공될 수 있다.
A gate insulating layer GI may be provided on the substrate SUB on which the first and second sensing active patterns SACT1 and SACT2 are provided.