상기 타깃을 사용함으로써, 산화물 반도체막에 있어서, 리튬, 나트륨, 칼륨 등의 알칼리 금속의 농도를 저감시킬 수 있다.
By using the target, the concentration of alkali metals, such as lithium, sodium, and potassium, in an oxide semiconductor film may be reduced.