EUV 공정의 또 다른 문제는 선폭이 상당히 좁아져 식각에 필요한 물질을 회로 깊숙이 집어넣을 수 없다는 것이다.
Another problem with the EUV process is that the line width got considerably narrower, and the material required for etching cannot be inserted deep into the circuit.