상기 피검사체를 정렬 상태를 보정하기 위한 정렬 유니트는 챔버, 푸싱바, 구동부, 제1 센서, 제2 센서 등을 포함할 수 있다.
The alignment unit for correcting the alignment state of the subject may include a chamber, a pushing bar, a driving unit, a first sensor, a second sensor, and the like.