이 방법은 적은 또는 최소한의 계측 부하로 정보성이 있는 측정을 구현하는 계측 타겟의 선택이 가능하게 하는 샘플링 방식 최적화를 제공한다.
This method provides sampling manner optimization that enables the selection of metrology targets that implement informative measurements with little or minimal measurement load.