이에 따라, 본 발명의 텅스텐카바이드는 종래의 실리콘카바이드 및 알루미나에 비해 플라즈마에 대한 내식성이 커진다.
Accordingly, the tungsten carbide of the present invention increases the corrosion resistance to plasma compared to the conventional silicon carbide and alumina.