삼차원 좌표계 (11C) 란, 집속 이온빔 경통 (11) 의 미리 정해진 위치에 대응지어진 삼차원 좌표계를 말한다.
The three-dimensional coordinate system 11C refers to a three-dimensional coordinate system corresponding to a predetermined position of the focused ion beam barrel 11.