제 3 레이아웃(L3) 및 제 4 레이아웃(L4)은 각각 제 3 광 근접 보정 및 제 4 광 근접 보정을 위해 준비될 수 있다.
The third layout L3 and the fourth layout L4 may be prepared for third optical proximity correction and fourth optical proximity correction, respectively.