액추에이터는 제3 비아 층(155)로부터의 입력에 의해 활성화될 수 있고, 제3 비아 층(155)으로부터 고압 유체 소스를 수신할 수 있다.
The actuator may be activated by input from the third via layer 155 and may receive a high pressure fluid source from the third via layer 155.