한편, 굴절률이 물과는 크게 다른 불순물이 혼입하면, 레지스트 필름 상에 투영된 광학 이미지의 뒤틀림을 초래한다.
However, when impurities having a refractive index significantly different from water are mixed, distortion of the optical image projected on the resist film is caused.