그림 5(b)에서의 아르곤 유량 100 sccm에서 열을 가했을 때의 오존 발생량이 상온에서 보다 약 20% 낮게 나타났다.
In Figure 5(b), at an argon flow rate of 100 sccm, the ozone generation under heat was approximately 20% lower than at room temperature.