다공질로 형성된 기판 흡착면의 기공에 의해 기판 흡착면에 기판(S)이 전체 영역에 걸쳐 균일하게 흡착될 수 있다.
The substrate S may be uniformly adsorbed to the substrate adsorption surface over the entire area by the pores of the substrate adsorption surface formed of a porous material.