타겟 디자인은 일반적으로 전(pre)-OPC 패터닝 디바이스 레이아웃으로서 정의되며, GDSII 또는 OASIS와 같은 표준화된 디지털 파일 포맷으로 제공될 것이다.
The target design is generally defined as a pre-OPC patterning device layout and will be provided in a standardized digital file format such as GDSII or OASIS.