XPS 측정 결과에서 Mg 원소의 광전자 스펙트럼이 관찰되어, 혼합 소스 HVPE 방법으로 AlN 에피층의 Mg 도핑을 확인되었다.
The photoelectron spectrum of the Mg element was observed from the XPS measurement result, and Mg doping of the AlN epitaxial layer was confirmed by the mixed source HVPE method.