여기에 기술한 방법은 웨이퍼-웨이퍼 비교에 의해 PWQ 타입 애플리케이션에서의 비-리소그라피 프로세스 조정을 검사하기 위해 사용할 수 있다.
The method described herein may be used to inspect non-lithographic process coordination in the PWQ type applications by wafer-to-wafer comparison.