발명자는, H3+ 이온의 방출 비율이 높은 상기 영역 중에 있어서도, 이온 빔의 에너지 폭에 변화가 있는 것을 찾아냈다.
The inventor found that there is a change in the energy width of the ion beam even in the region where the emission rate of H3+ ions is high.