상기 전극(112, 113)은 상기 기판(111)의 가장자리 영역에 배치되어, 더욱 넓은 범위 내에서의 임피던스 변화 감지가 이루어질 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
Preferably, the electrodes 112 and 113 are disposed on the edge region of the substrate 111 so that impedance change may be detected within a wider range.