약액 사용 설비에 재생 약액이 공급됨과 동시에, 배관에 구비된 적산 유량계는, 그 공급에 따른 적산 유량을 계측한다.
While the recycled chemical liquid is supplied to the chemical liquid use facility, the integrated flow meter provided in the pipe measures the integrated flow rate, according to the supply.