폴리머형의 켄처는, 레지스트 상에 보호막을 적용했을 때의 패턴의 막 감소나 패턴 톱의 라운딩을 방지하는 효과도 있다.
The polymer type quencher also prevents a pattern film reduction and rounding of the pattern top when a protective film is applied on the resist.