분말, 타겟, 코팅 모두 매우 높은 조성 균일도를 가졌으며 박막의 경우 약 50 nm 이하의 미세 결정립을 가지는 것을 관찰하였다.
Powder, target, and coating all had quite high compositional uniformity, and it was observed that the slim film had fine grains of about 50 nm or less.