처리 장수 표시 영역(322)에는 해당 처리 유닛(22) 내의 챔버에서 소정 기간 내에 처리된 기판의 총 수가 표시된다.
The number of processing sheets display area 322 displays the total number of substrates processed within a predetermined period in the chamber in the processing unit 22.