절연체(275)의 에칭 속도를 1로 하면, 절연체(273)의 에칭 속도는 5 이상인 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 10 이상이다.
When the etching rate of the insulator 275 is set to 1, the etching rate of the insulator 273 is preferably 5 or more, more preferably 10 or more.