조합된 XRR, GIXRF 및 분광 편광해석법과 같은 광학 기술은 또한 모든 두께 및 구조의 임계 치수를 측정하는데 이용될 수 있다.
Optical techniques such as combined XRR, GIXRF and spectral polarization analysis may also be used to measure critical dimensions of all thicknesses and structures.