상기 하부 정렬 카메라는 상기 기판 지지 부재(200) 일측에 배치될 수 있으며, 상기 프로브 카드(20)의 탐침들에 대한 이미지를 획득할 수 있다.
The lower alignment camera may be disposed on one side of the substrate support member 200, and may acquire images of the probes of the probe card 20.