더미 패턴들(DP) 및 제1 버니어 패턴(도 3의 OB)은 예비 패턴들(PL)과 동일한 적층 구조로 형성될 수 있다.
The dummy patterns DPs and the first vernier pattern OB in FIG. 3 may have the same stack configuration as that of the preliminary patterns PLs.