또한, 이온빔이 조사 방향에 수직한 LZO 박막의 표면 화학 결합들을 파괴하는데, 이것으로 인해 표면에 화학적 이방성이 발생된다.
The ion beam also destroys the surface chemical compounds of the LZO thin-film perpendicular to the investigation's direction, which results in chemical glands on the surface.