Tümleşik Algılayıcılar | Sabancı Üniversitesi
EE 534 Tümleşik Algılayıcılar
Tümleşik katı-hal algılayıcıları ve algılama sistemleri kavram ve tasarımı. Mikromakinalama and silisyum pul bağlama. Görünür ve kızılötesi ışınım, basınç, ivme, ısı, gaz saflığı ve iyon yoğunluğunun ölçümleri için mikroyapılar. Algılayıcılar ve devreleri için birleşen süreç teknolojileri. Veri algılama devreleri, mikro-eyleyiciler (micro-actuators) ve tümleşik mikrosistemler.