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蠕变
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潜变的阶段
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在初始阶段，或者初步潜变，应变速率一般较大，但是随着时间增加而放慢。这是由于形变硬化。形变率最后达到一个最大值并接近常数。这是由于形变硬化和退火（热软化）的一个平衡。这个阶段就是第二阶段或者稳态潜变。这个阶段最被了解。“潜变应变率”就是指这一阶段的应变率。应力和应变率的关系随潜变机制不同而不同。在第三阶段，由于颈缩现象，应变率随着应变增大指数性的增长。
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潜变机制
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潜变机制随温度和应力不同而不同。这些不同的方法是：_NEWLINE_基体扩散——又被称为Nabarro-Herring潜变_NEWLINE_攀移——这里应变变际上由攀移实现_NEWLINE_攀移辅助滑移——这里攀移是一种可能的机制，让位错绕过障碍_NEWLINE_晶界扩散——又被称为Coble潜变_NEWLINE_热驱动滑移——例如，通过交滑移
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Nabarro-Herring潜变
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Nabarro-Herring潜变是扩散控制潜变的一种形式。在N-H潜变中，原子通过晶格扩散，造成晶粒沿着应力轴伸长。N-H潜变中，k和原子通过晶格的扩散系数有关，Q = Qself diffusion，m = 1，b=2。因此N-H潜变是一种弱应力依赖、中等晶粒尺寸依赖的潜变，它的潜变形变率随着晶粒尺寸增长而降低。_NEWLINE_N-H潜变有强烈的温度依赖性。因为材料中发生原子的晶格扩散，晶体结构中附近的晶格点或者空隙点是自由的。一个给定的原子将会克服能量势垒从当前位置（处于一个能量势阱当中）移动到邻近的空穴位（另一个势阱）。扩散公式的主要公式是D = D₀exp(Ea / kT)，D₀和尝试跳跃频率、最近邻位的数目和这些位成为空位的概率有关。因此它对温度有双重依赖性。在更高的温度下，扩散由于公式的直接温度影响、通过肖特基缺陷的空位增加和材料中原子平均能量的增加而增大。N-H潜变主要发生在相对于材料熔点的很高温度下。
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Coble潜变
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Coble潜变是扩散控制潜变的第二种形式。在Coble潜变中原子沿着晶界扩散而使晶粒沿着应力轴拉长。这使得Coble潜变比N-H潜变有更高的晶粒尺寸依赖性。Coble潜变中k和晶界附近的原子的扩散系数有关，Q = Qgrain boundary diffusion，m=1，b=3。因为Qgrain boundary diffusion < Qself diffusion，Coble潜变主要发生在比N-H潜变更低的温度。Coble潜变也是温度依赖性的，温度上升，晶界扩散增强。但是，由于最近邻的数目被有效的限制在晶粒的表面，而且空位在晶界的热发生不普遍，Coble潜变的温度依赖性并不如N-H潜变。它和N-H潜变一样体现出和应力的线性相关。
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其它例子
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尽管主要是因为高温下屈服应力的降低，世界贸易大厦的倒塌部分是由于高温下的潜变。_NEWLINE_运行中的核反应堆中的热压成分的潜变应变率可以被极大的从设计上限制，因为潜变应变率可以被高能粒子的流出而提高。_NEWLINE_2006年7月发生在美国马塞诸塞州波士顿的Big Dig隧道顶部的倒塌中，潜变是罪魁祸首。