b'\n_START_ARTICLE_\nVrsti\xc4\x8dni elektronski mikroskop\n_START_PARAGRAPH_\nVrsti\xc4\x8dni elektronski mikroskop je mikroskop, ki za opazovanje povr\xc5\xa1ine uporablja elektronski curek. Curek tipa raziskovano povr\xc5\xa1ino po vzporednih \xc4\x8drtah. Pogosto uporabljamo tudi kratico SEM, ki izhaja iz njegovega angle\xc5\xa1kega poimenovanja: Scanning Electron Microscope.\n_START_SECTION_\nZgradba\n_START_PARAGRAPH_\nVrsti\xc4\x8dni elektronski mikroskop je sestavljen iz elektronske pu\xc5\xa1ke, v kateri nastane snop pospe\xc5\xa1enih elektronov; elektronskih le\xc4\x8d, ki slu\xc5\xbeijo za fokusiranje in odklanjanje elektronskega curka; detektorjev, ki sprejemajo elektrone in elektromagnetna valovanja, ki nastanejo pri interakciji elektronskega snopa z vzorcem ter krmilja za optimiranje pogojev dela in prikaz elektronske slike. Poleg tega je potrebna tudi vakuumska enota, ki zagotavlja v komori nizke tlake, in sicer od 0,0001 Pa do 0,00001 Pa.\n_START_SECTION_\nDelovanje\n_START_PARAGRAPH_\nPri delovanju vrsti\xc4\x8dnega elektronskega mikroskopa se po raziskovani povr\xc5\xa1ini pomika elektronski curek. Najmanj\xc5\xa1i premer tega curka je okoli 1 nm. Ko elektronski snop tr\xc4\x8di na povr\xc5\xa1ino vzorca, pri tem nastanejo odbiti, sekundarni in Augerjevi elektroni ter elektromagnetni valovi v ultravijoli\xc4\x8dnem in rentgenskem delu spektra. Pri tem so odbiti elektroni tisti, ki pri vstopu v vzorec do\xc5\xbeivijo ve\xc4\x8d trkov, pri \xc4\x8demer se jim smer gibanja spremeni za pribli\xc5\xbeno 180\xc2\xb0, tako da lahko zapustijo vzorec. Sekundarni elektroni so tisti, ki so bili v vzorcu, pa so jih primarni elektroni pri neelasti\xc4\x8dnih trkih izbili iz vzorca. V vsaki to\xc4\x8dki, na katero je usmerjen elekronski snop, nastajajo razli\xc4\x8dne vrste elektronov in elektromagnetna valovanja. Intenziteta teh t. i. produktov interakcije med elektronskim snopom in vzorcem je v veliki meri odvisna od kemi\xc4\x8dne sestave vzorca na tem mestu in pa tudi od stanja povr\xc5\xa1ine. \xc5\xa0tevilo odbitih elektronov je sorazmerno vrstnemu \xc5\xa1tevilu elementa. Podro\xc4\x8dje, kjer je vrstno \xc5\xa1tevilo ve\xc4\x8dje, bo svetlej\xc5\xa1e kot podro\xc4\x8dje z manj\xc5\xa1im vrstnim \xc5\xa1tevilom.\n_START_SECTION_\nPriprava vzorcev\n_START_PARAGRAPH_\nKovinske vzorce, ki niso vlo\xc5\xbeeni v maso, pripravljamo na enak na\xc4\x8din kot vzorce za svetlobno mikroskopijo. Prelomne ploskve kovinskih materialov lahko opazujemo kar brez kakr\xc5\xa1ne koli priprave. Kovinske vzorce, ki so vlo\xc5\xbeeni, in vzorce neprevodnih snovi kot so na primer keramika, beton, polimeri, moramo prevle\xc4\x8di s tanko plastjo prevodne snovi, katere debelina dose\xc5\xbee nekaj desetink nanometra. Obi\xc4\x8dajno jih naparevamo z ogljikom ali pa napr\xc5\xa1ujemo z zlatom, srebrom ali kako drugo dobro prevodno kovino.\n_START_SECTION_\nNastanek elektronske slike\n_START_PARAGRAPH_\nElektronski snop se po povr\xc5\xa1ini vzorca pomika po 1000 med seboj enako razmaknjenih vrsticah. V vsaki od teh vrstic se ustavi na 1000 med seboj enako oddaljenih to\xc4\x8dkah. Tako torej zaporedoma potipa 1000 \xc3\x97 1000 to\xc4\x8dk. Ko se elektronski snop pomika po povr\xc5\xa1ini vzorca, se isto\xc4\x8dasno pomika elektronski snop tudi po monitorju. Pri interakciji snopa z vzorcem nastane dolo\xc4\x8deno \xc5\xa1tevilo odbitih elektronov. Ustrezen detektor te elektrone zajame, pri tem pa nastane v detektorju elektri\xc4\x8dni signal. Ko ta signal oja\xc4\x8damo, lahko z njim krmilimo jakost elektronskega curka na monitorju. \xc4\x8cim ve\xc4\x8dji je tok odbitih elektronov, tem svetlej\xc5\xa1a je to\xc4\x8dka na monitorju. Celotna elektronska slika ne nastane naenkrat, temve\xc4\x8d z zaporednim premikanjem elektronskega curka po raziskovani povr\xc5\xa1ini.'