b'\n_START_ARTICLE_\nMOCVD\n_START_PARAGRAPH_\nMOCVD (ang. Metal Organic Chemical Vapor Deposition), osadzanie pary zwi\xc4\x85zk\xc3\xb3w metaloorganicznych - technika osadzania cienkich warstw na powierzchni materia\xc5\x82\xc3\xb3w poprzez stosowanie zwi\xc4\x85zk\xc3\xb3w metaloorganicznych w formie pary. Jest to jedna z technik chemicznego osadzania z fazy gazowej. Alternatywna nazwa to MOVPE (ang. Metal Organic Vapor Phase Epitaxy), epitaksja fazy gazowej zwi\xc4\x85zk\xc3\xb3w metaloorganicznych._NEWLINE_Technika ta polega na umieszczaniu odpowiednio przygotowanych materia\xc5\x82\xc3\xb3w (np: wypolerowanych p\xc5\x82ytek krzemowych) w specjalnym reaktorze umo\xc5\xbcliwiaj\xc4\x85cym dok\xc5\x82adn\xc4\x85 kontrol\xc4\x99 temperatury i ci\xc5\x9bnienia. Do reaktora wprowadza si\xc4\x99 opary zwi\xc4\x85zku metaloorganicznego i inne gazy, kt\xc3\xb3re mog\xc4\x85 reagowa\xc4\x87 z wyj\xc5\x9bciowym zwi\xc4\x85zkiem (np: amoniak, wod\xc3\xb3r, fosforowod\xc3\xb3r), prowadz\xc4\x85c zwykle do jego cz\xc4\x99\xc5\x9bciowej redukcji lub wypierania ligand\xc3\xb3w organicznych. Proces osadzania jest efektem zar\xc3\xb3wno reakcji mi\xc4\x99dzy gazowymi substratami jak i proces\xc3\xb3w fizycznych, takich jak piroliza. W rezultacie zazwyczaj otrzymuje si\xc4\x99 regularne warstwy o w\xc5\x82asno\xc5\x9bciach p\xc3\xb3\xc5\x82przewodnikowych. _NEWLINE_Stosowane zwi\xc4\x85zki metaloorganiczne to zazwyczaj proste kompleksy alkilowe metali i metaloid\xc3\xb3w III, IV i V grupy g\xc5\x82\xc3\xb3wnej uk\xc5\x82adu okresowego (glin, gal, ind, german, cyna, arsen, antymon, tellur, selen) a tak\xc5\xbce cynku i kadmu. Proces osadzania nie wymaga wysokiej pr\xc3\xb3\xc5\xbcni, lecz ci\xc5\x9bnie\xc5\x84 od atmosferycznego do umiarkowanego podci\xc5\x9bnienia (do ok. 2 kPa), co jest podstawow\xc4\x85 zalet\xc4\x85 tej metody. _NEWLINE_Technika ta jest jedn\xc4\x85 z metod otrzymywania p\xc3\xb3\xc5\x82przewodnikowych materia\xc5\x82\xc3\xb3w do produkcji diod laserowych i elektroluminescencyjnych (LED) oraz baterii s\xc5\x82onecznych.'