
_START_ARTICLE_
مجهر إلكتروني ماسح
_START_PARAGRAPH_
المجهر الالكتروني الماسح هو نوع من أنواع المجاهر الإلكترونية التي تنتج صور عينة عن طريق مسح ذلك مع شعاع مركز من الإلكترونات. تتفاعل الإلكترونات مع الذرات في العينة، وتنتج إشارات مختلفة تحتوي على معلومات حول تضاريس السطح وتكوينه. يتم مسح شعاع الإلكترون بشكل عام باستخدام المسح النقطي ويتم الجمع بين موقع الشعاع مع الإشارة لإنتاج صورة. سيم يمكن تحقيق فصل أفضل من 1 نانومتر. ويمكن مشاهدة العينات في فراغ عالي، في فراغ منخفض، في ظروف رطبة (في المجهر الالكتروني الماسح البيئي)، وفي مجموعة واسعة من درجات الحرارة المنخفضة جدًا أو المرتفعة. إن أسلوب المجهر الالكتروني الماسح الأكثر شيوعا هو الكشف عن الإلكترونات الثانوية المنبعثة من ذرات مثارة بواسطة شعاع الإلكترون. يعتمد عدد الإلكترونات الثانوية التي يمكن اكتشافها، من بين أمور أخرى، على تضاريس العينة. عن طريق مسح العينة وجمع الإلكترونات الثانوية التي تنبعث باستخدام كاشف خاص، يتم إنشاء صورة عرض تضاريس السطح._NEWLINE_في الأجهزة التناظرية، يتم مسح شعاع الإلكترونات عبر العينة في المسح النقطي بواسطة لفائف المسح الضوئي. ويشبه نمط المسح النقطي الناتج عن ذلك النمط المستعمل في أنبوب أشعة الكاثود لنظام التلفزيون بحيث تقوم الإلكترونات بالتالي:_NEWLINE_1. تجتاح السطح خطيا في الاتجاه السيني._NEWLINE_2. تعود إلى نقطة البداية._NEWLINE_3. تتجه في اتجاه محور الصادات بواسطة أداة قياسية.
_START_SECTION_
التاريخ
_START_PARAGRAPH_
قدم ماكمولان سرداً لتاريخ المجهر الإلكتروني الماسح. على الرغم من أن ماكس كنول أنتج صورةً أبعادها 50 ملم تُظهر تباين القنوات باستخدام ماسح شعاع الإلكترون،  إلا أن مانفريد فون آردنهو من كان اخترع عام 1937  ميكروسكوباً حقيقياً بدرجة تكبير عالية، عن طريق مسح نقطية صغيرة جداً بشعاع إلكتروني دقيق التركيز. طبّق آردين مبدأ المسح ليس فقط للحصول على التكبير فحسب بل أيضاً للتخلص عن قصد من الزيغ اللوني. كما ناقش أساليب الكشف المختلفة وإمكانيات ونظريات المجهر الإلكتروني الماسح، مه بناء أول مجهرإلكتروني ماسح عالي التكبير. كما قدّمت أعمال أخرى نفّذتها مجموعة فلاديمير زوريكين، تلتها مجموعات عمل في كامبريدج في عقد الخمسينيات وأوائل عقد الستينيات، بقيادة تشارلز أوتالي، أدت جميعها في نهاية الأمر إلى تسويق أول أداة في السوق بواسطة شركة كامبريدج للأدوات العلمية باسم "ستيريوسكان" عام 1965، وقد تمّ تسليمها إلى شركة دو بونت.