Parts of machines and apparatus of a kind used solely or principally for the manufacture of semiconductor boules or wafers, semiconductor devices, electronic integrated circuits or flat panel displays,parts of other special-purpose machinery
Deli strojev,ki se uporabljajo izključno ali pretežno za proizvodnjo polprevodnikov ali polprevodniških rezin, polprevodniških elementov, elektronskih integriranih vezij ali ravnih ploščatih prikazovalnikov, deli drugih strojev in naprav za posebne namen