T h e m e t h o d o f c l a i m s 2 o r 3 w h e r e i n p r i o r t o s t e p ( a ) , s a i d b o d y i s f o r m e d b y t h e a d d i t i o n a l s t e p o f g r o w i n g a n e p i t a x i a l G a A s l a y e r ( 1 4 ) o f o n e c o n d u c t i v i t y t y p e o n a G a A s s u b s t r a t e ( 1 2 ) o f t h e s a m e c o n d u c t i v i t y t y p e , a n d s t e p ( d ) i s e f f e c t i v e t o f o r m s a i d p - n j u n c t i o n i n s a i d e p i t a x i a l l a y e r ( 1 4 ) .