A m e t h o d o f f a b r i c a t i n g a G a A s d e v i c e h a v i n g r e d u c e d s u r f a c e r e c o m b i n a t i o n c u r r e n t c o m p r i s i n g t h e s t e p s o f : ( a ) g r o w i n g b y m o l e c u l a r b e a m e p i t a x y a m o n o c r y s t a l l i n e , s e m i - i n s u l a t i n g l a y e r ( 1 6 ) o f A l G a A s o n a m a j o r s u r f a c e o f a m o n o c r y s t a l l i n e b o d y o f G a A s ( 1 0 ) , C H A R A C T E R I Z E D B Y  ( b ) f o r m i n g a m a s k i n g l a y e r ( 1 8 ) o n s a i d A l G a A s l a y e r ,  ( c ) o p e n i n g a w i n d o w i n s a i d m a s k i n g l a y e r s o a s t o e x p o s e t h e u n d e r l y i n g p o r t i o n ( 1 6 . 2 ) o f s a i d A l G a A s l a y e r b u t l e a v e a d j a c e n t p e r i p h e r a l p o r t i o n s o f s a i d A l G a A s l a y e r c o v e r e d b y s a i d m a s k i n g l a y e r ,  ( d ) i n t r o d u c i n g i m p u r i t i e s t h r o u g h s a i d w i n d o w s o a s t o m o d i f y t h e c o n d u c t i v i t y o f t h e u n d e r l y i n g z o n e ( 2 6 ) o f s a i d G a A s b o d y a n d t o c o n v e r t s a i d u n d e r l y i n g p o r t i o n ( 1 6 . 2 ) o f s a i d A l G a A s l a y e r f r o m s e m i - i n s u l a t i n g t o l o w r e s i s t i v i t y w h i l e l e a v i n g s a i d a d j a c e n t p e r i p h e r a l p o r t i o n s ( 1 6 . 1 ) s e m i - i n s u l a t i n g , a n d  ( e ) f o r m i n g e l e c t r i c a l c o n t a c t s ( 2 0 , 2 4 ) t o s a i d u n d e r l y i n g p o r t i o n ( 1 6 . 2 ) o f s a i d A l G a A s l a y e r a n d t o a n o p p o s i t e m a j o r s u r f a c e o f s a i d b o d y .