T h e m e t h o d o f c l a i m 1 w h e r e i n i n s t e p ( a ) s a i d A l G a A s l a y e r i s g r o w n t o h a v e a r e s i s t i v i t y i n t h e r a n g e o f a b o u t 1 0 8 t o 1 0 1 2 Ω - c m a n d a t h i c k n e s s s u f f i c i e n t t o p r e v e n t a n y a p p r e c i a b l e t u n n e l i n g t h e r e t h r o u g h .