A m e t h o d a s s e t f o r t h i n c l a i m 1 , a t l e a s t o n e o f s a i d f i r s t a n d s e c o n d i n s u l a t i v e f i l m s c o m p r i s i n g a t l e a s t o n e m a t e r i a l s e l e c t e d f r o m t h e g r o u p c o n s i s t i n g o f s i l i c o n d i o x i d e , s i l i c o n n i t r i d e , a n d a l u m i n a .