materiály odolné voči korózii pôsobením uf6 (0) môžu byť meď nehrdzavejúca oceľ hliník oxid hlinitý zliatiny na báze hliníka nikel alebo zliatina s obsahom 60  hm alebo viac niklu a fluórované uhľovodíkové polyméry odolné voči uf6 podľa vhodnosti pre daný druh procesu separácie