Generate UD annotations for the following tokenized text:
Bei tieferen Temperaturen nimmt die Diffusionsfähigkeit der Interstitionsatome so weit ab, dass die Umwandlungsgeschwindigkeit nur noch von der Beweglichkeit der Grenzflächen beschränkt wird.
Postion	Tokenization
1	Bei
2	tieferen
3	Temperaturen
4	nimmt
5	die
6	Diffusionsfähigkeit
7	der
8	Interstitionsatome
9	so
10	weit
11	ab
12	,
13	dass
14	die
15	Umwandlungsgeschwindigkeit
16	nur
17	noch
18	von
19	der
20	Beweglichkeit
21	der
22	Grenzflächen
23	beschränkt
24	wird
25	.
Position	Tokenization	UPOS	Head	Deprel
1	Bei	ADP	3	case
2	tieferen	ADJ	3	amod
3	Temperaturen	NOUN	4	obl
4	nimmt	VERB	0	root
5	die	DET	6	det
6	Diffusionsfähigkeit	NOUN	4	nsubj
7	der	DET	8	det
8	Interstitionsatome	NOUN	6	nmod
9	so	ADV	10	advmod
10	weit	ADJ	4	advmod
11	ab	ADP	4	compound:prt
12	,	PUNCT	23	punct
13	dass	SCONJ	23	mark
14	die	DET	15	det
15	Umwandlungsgeschwindigkeit	NOUN	23	nsubj:pass
16	nur	ADV	20	advmod
17	noch	ADV	16	advmod
18	von	ADP	20	case
19	der	DET	20	det
20	Beweglichkeit	NOUN	23	obl
21	der	DET	22	det
22	Grenzflächen	NOUN	20	nmod
23	beschränkt	VERB	4	ccomp
24	wird	AUX	23	aux:pass
25	.	PUNCT	4	punct