በዝቅተኛ ግፊት (አንዳንድ ጊዜ በተለመደው ግፊት) ፣ ጋዝ ንጥረነገሮች በኬሚካዊ ግብረመልሶች ምክንያት በሚሰሩበት ወለል ላይ ጠንካራ የማስቀመጫ ንብርብር ይፈጥራሉ ፣ ለምሳሌ እንደ ሲሊኮን ኦክሳይድ እና ሲሊኮን ናይትሬት የእንፋሎት ማስቀመጫ የኬሚካል ትነት ክምችት ይባላል ።
Phantsi koxinzelelo oluphantsi (ngamanye amaxesha uxinzelelo oluqhelekileyo), inkqubo apho izinto zegesi zenza indawo eqinileyo yokubekwa kumphezulu womsebenzi ngenxa yeempendulo zamachiza zibizwa ngokuba kukubekwa kwemiphunga yemichiza, njengokufakwa komphunga we-silicon oxide kunye ne-silicon nitride.