Piezoelektrischer Aktuator, Tintenstrahlkopf, Drucker, Herstellungsverfahren für den piezoelektrischen Aktuator, Herstellungsverfahren für den Tintenstrahlkopf - Dokument DE69934175T2\nDokumentenidentifikation DE69934175T2 08.03.2007\nTitel Piezoelektrischer Aktuator, Tintenstrahlkopf, Drucker, Herstellungsverfahren für den piezoelektrischen Aktuator, Herstellungsverfahren für den Tintenstrahlkopf\nErfinder Qiu, Hong, Suwa-shi, Nagano-ken 392-8502, JP;\nSumi, Koji, Suwa-shi, Nagano-ken 392-8502, JP;\nShimada, Masato, Suwa-shi, Nagano-ken 392-8502, JP;\nNishiwaki, Tsutomu, Suwa-shi, Nagano-ken 392-8502, JP;\nOkuyama, Osaka University Graduate Schoo, Masanori, Toyonaka, Osaka 560-8531, JP;\nWei, Osaka University Graduate Schoo, Zhi Quiang, Toyonaka, Osaka 560-8531, JP\nIPC-Hauptklasse H01L 41/09(2006.01)A, F, I, 20051017, B, H, EP\nIPC-Nebenklasse H01L 41/24(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, EP B41J 2/14(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, EP B41J 2/16(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, EP\nDie Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Aktuator, der beispielsweise bei einem Tintenstrahldruckkopf Verwendung findet. Die Erfindung betrifft insbesondere ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Aktuators, bei dem die interne Belastung stark vermindert und eine größere Ausgestaltung des Druckkopfes möglich ist. Die Erfindung betrifft schließlich auch ein Erzeugnis, das mittels dieses Herstellungsverfahrens hergestellt worden ist.\nEin piezoelektrischer Aktuator ist eine Vorrichtung mit elektromechanischer Wandlerfunktion und setzt sich aus einer kristallisierten piezoelektrischen Keramik zusammen. Als Verfahren zur Herstellung eines derartigen piezoelektrischen Aktuators wird allgemein das sogenannte Sol-Gel-Verfahren eingesetzt, bei dem ein Sol aus einer organometallischen Verbindung über einer Elektrode aufgetragen, getrocknet und pyrolysiert sowie einer Hochtemperaturbehandlung unterzogen wird, um eine Kristallisierung zu bewirken, an die sich ein Verfahren anschließt, bei dem eine Augenblickskristallisierung bei großer Wärme bewirkt wird.\nBei einem anderen Kristallisierungsverfahren, das „hydrothermisches Verfahren" genannt wird, wird ein Ti- oder Ni-Substrat in eine KOH-Lösung getaucht, die eine organometallische Verbindung enthält, wodurch eine Abscheidung von PZT-Körnern bewirkt wird.\nWird der piezoelektrische Aktuator mittels des Sol-Gel-Verfahrens hergestellt, so tritt jedoch ein Problem dahingehend auf, dass eine thermische Belastung entsteht und sich in dem piezoelektrischen Film leicht Risse bilden. Entsprechend war es bislang schwierig, einen piezoelektrischen Aktuator mit großer Fläche herzustellen. So war es beispielsweise unmöglich, einen piezoelektrischen Aktuator für einen Zeilendrucker herzustellen.\nDarüber hinaus weist ein piezoelektrischer Aktuator, der mittels eines herkömmlichen hydrothermischen Verfahrens hergestellt ist, eine raue Oberfläche auf, weshalb es bislang schwierig war, eine obere Elektrode auszubilden, die in gutem Kontakt mit dem piezoelektrischen Aktuator steht.\nDie von W-ping Xu, Masanori Okuyama et al. verfasste wissenschaftliche Handreichung „Application of Hydrothermal Mechanism for Tailor-making Perovskite Titanate Films", veröffentlicht bei IEEE Proc. of the 9th International Symposium on Electrets, Shanghai, China (gehalten von 25. bis 30. September 1996), Seiten 617 bis 622, beschreibt ein Verfahren, bei dem bewirkt wird, dass ein Vorläuferfilm einer piezoelektrischen Keramik kristallisiert, indem der Vorläuferfilm, der über einem Substrat aufgetragen und getrocknet worden ist, in eine bestimmte alkalische Lösung gegeben wird. Dieses Verfahren des Bewirkens der Kristallisation in einer alkalischen Lösung wird hydrothermisches Verfahren genannt. Dieses hydrothermische Verfahren ermöglicht eine Kristallisation bei im Vergleich zum Sol-Gel-Verfahren vergleichsweise niedrigen Temperaturen, weshalb es mehrere Vorteile aufweist. Man geht beispielsweise aufgrund der Tatsache, dass die Herstellung bei niedrigerer Temperatur und geringerer interner Belastung einschließlich thermischer Belastung, die sich in dem Film im Laufe der Kristallisation bildet, stattfindet, davon aus, dass die Ausbildung eines piezoelektrischen Filmes mit größerer Fläche möglich wird, als dies bei einem herkömmlichen piezoelektrischen Film der Fall ist.\nDie vorgenannte wissenschaftliche Handreichung führt aus, dass eine alkalische Behandlungslösung bei der hydrothermischen Behandlung zum Einsatz kommt.\nGleichwohl tritt ein Problem dahingehend auf, dass Silizium, das für die Feinbearbeitung als Material für ein Druckkammersubstrat geeignet ist, oder die Schicht aus dem piezoelektrischen Film selbst in einer starken alkalischen Behandlungslösung, so beispielsweise KOH, leicht löslich sind. Wird daher Silizium als Substrat verwendet, so muss notwendigerweise eine schwache alkalische Lösung verwendet werden, die durch Hinzugabe von Ba, beispielsweise in Form von Bariumhydroxid, in eine starke alkalische Lösung oder durch Variieren der Behandlungsparameter hergestellt wird. Ist insbesondere der Einsatz einer Feinbearbeitung bei einem Substrat, bei dem Silizium zum Einsatz kommt, notwendig, so kann sogar die Verwendung einer schwachen alkalischen Behandlungslösung, die Ba enthält, eine leichte Erosion verursachen, was nach gängiger Meinung von Nachteil ist. Es ist wünschenswert, wenn der Alkalizitätsgrad der Behandlungslösung möglichst niedrig ist.\nDarüber hinaus enthält die vorgenannte wissenschaftliche Handreichung keine ausreichenden Beschreibungen hinsichtlich der Herstellung des piezoelektrischen Aktuators mit guten Eigenschaften, wie sie für den Tintenstrahldruckkopf eines Druckers nötig sind.\nDie Druckschrift EP 0 969 530 A2 – eine Druckschrift, die aufgrund ihres Prioritätsdatums eine Druckschrift im Sinne des Artikels 54(3) und (4) EPÜ darstellt und folglich nur mit Blick auf die Neuheit von Relevanz ist – offenbart eine piezoelektrische Dünnfilmkomponente, die durch Kristallisation mittels einer hydrothermischen Behandlung hergestellt ist, bei dem gemischte Schichten zwischen den Elektrodenschichten und den piezoelektrischen keramischen Dünnfilmschichten ausgebildet werden.\nEingedenk der vorbeschriebenen Nachteile und als Ergebnis zahlreicher Experimente hat man im Zusammenhang mit der vorliegenden Erfindung eine hydrothermische Behandlung entwickelt, bei der wenig Erosion auftritt.\nInsbesondere hat man im Zusammenhang mit der vorliegenden Erfindung Experimente bezüglich der Herstellung piezoelektrischer Aktuatoren mittels des hydrothermischen Verfahrens insbesondere unter Bedingungen zur Herstellung ganzer piezoelektrischer Aktuatoren ausgeführt, darunter den Einsatz eines Soles, das sich aus einer organometallischen Verbindung zusammensetzt. Auf dieser Grundlage hat man ein Herstellungsverfahren entwickelt, das für die Praxis des vorgenannten hydrothermischen Verfahrens geeignet ist.\nEs ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen piezoelektrischen Aktuator bereitzustellen, der mit großer Fläche ausgebildet werden kann und eine Kristallstruktur mit flachen Oberflächen aufweist.\nEine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, einen Tintenstrahldruckkopf bereitzustellen, der für einen Zeilendrucker geeignet ist und einen piezoelektrischen Aktuator umfasst, der mit großer Fläche und mit flacher Oberfläche gebildet werden kann.\nEine weitere Aufgabe besteht darin, einen Drucker bereitzustellen, der einen für einen Zeilendrucker geeigneten Tintenstrahldruckkopf umfasst.\nEine weitere Aufgabe besteht darin, ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Aktuators bereitzustellen, bei dem man eine große Auswahl bei der Wahl der möglichen Materialien und Optionen für die Herstellungsparameter hat und das zudem hohes Leistungsvermögen aufweist.\nEine weitere Aufgabe besteht darin, das vorgenannte Verfahren zur Herstellung des piezoelektrischen Aktuators einzusetzen, um ein Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahldruckkopfes bereitzustellen, bei dem man eine große Auswahl bei der Wahl der möglichen Materialien und Optionen bei den Herstellungsparametern hat und das zudem hohes Leistungsvermögen aufweist.\nInsbesondere wird durch die vorliegende Erfindung ein piezoelektrischer Aktuator bereitgestellt, der umfasst: eine untere Elektrode; eine obere Elektrode; und einen piezoelektrischen Film, der zwischen der unteren Elektrode und der oberen Elektrode gehalten wird, wobei der piezoelektrische Film aus einer piezoelektrischen Keramik besteht, säulenförmige Kristallkörner der piezoelektrischen Keramik in Richtung der Schichtdicke Zufallsorientierung aufweisen und ein mittlerer Durchmesser der säulenförmigen Kristallkörner in einem Bereich zwischen 100 nm und 15000 nm liegt.\nVorzugsweise liegt ein mittlerer Durchmesser der säulenförmigen Kristallkörner in einem Bereich zwischen 100 nm und 10000 nm.\nDie Oberflächenrauigkeit der Seite der oberen Elektrode des piezoelektrischen Filmes kann auf 10 nm oder weniger als maximale Höhe eingestellt werden.\nDie Elementzusammensetzung des piezoelektrischen Filmes kann eines der nachfolgend genannten piezoelektrischen Keramikmaterialien enthalten: Blei-Zirkonat-Titanat (Pb(Zr,Ti)O3 : PZT), Blei-Lanthan-Titanat ((Pb,La)TiO3), Blei-Lanthan-Zirkonat ((Pb,La)ZrO3), Blei-Lanthan-Zirkonat-Titanat ((Pb,La)(Zr,Ti)O3 : PLZT)) und Blei-Magnesium-Niobat-Zirkonat-Titanat (Pb(Mg,Nb)(Zr,Ti)O3 : PMN-PZT).\nDarüber hinaus wird durch die vorliegende Erfindung ein Tintenstrahldruckkopf mit einem piezoelektrischen Aktuator entsprechend der vorliegenden Erfindung bereitgestellt, wobei der Tintenstrahldruckkopf umfasst: ein Druckkammersubstrat mit einer darin ausgebildeten Druckkammer; eine Membran, die an einer Seite der Druckkammer ausgebildet ist; und den piezoelektrischen Aktuator, der an der Membran an einer der Druckkammer entsprechenden Stelle vorgesehen ist, wobei der piezoelektrische Aktuator derart zusammengesetzt ist, dass er zur Erzeugung von Volumenänderungen der Druckkammer imstande ist.\nDurch die vorliegende Erfindung wird zudem ein Drucker mit dem vorbeschriebenen Tintenstrahldruckkopf entsprechend der vorliegenden Erfindung bereitgestellt, wobei der Drucker umfasst: einen Aufzeichnungsmediumtransportmechanismus, der derart zusammengesetzt ist, dass er Aufzeichnungsmedien zuführen und herausnehmen kann; und eine Kopfsteuerschaltung, die den Tintenstrahldruckkopf veranlasst, an einer beliebigen Stelle auf dem durch den Aufzeichnungsmediumtransportmechanismus zugeführten Aufzeichnungsmedium zu drucken.\nDie Erfindung stellt darüber hinaus einen Drucker mit dem vorbeschriebenen Tintenstrahldruckkopf entsprechend der vorliegenden Erfindung bereit, wobei der Drucker umfasst: einen Aufzeichnungsmediumtransportmechanismus, der derart zusammengesetzt ist, dass er zum Zuführen und Herausnehmen der Aufzeichnungsmedien imstande ist; und einen Kopftransportmechanismus, der den Tintenstrahldruckkopf an eine beliebige Stelle auf dem durch den Aufzeichnungsmediumtransportmechanismus zugeführten Aufzeichnungsmedium transportiert.\nDarüber hinaus stellt die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Aktuators bereit, der einen piezoelektrischen Film umfasst, der zwischen einer unteren Elektrode und einer oberen Elektrode gehalten ist, wobei das Verfahren die nachfolgenden Schritte umfasst: Ausbilden eines Vorläuferfilmes in einem amorphen Zustand, der Metall und Sauerstoff enthält, über der unteren Elektrode; und Vornehmen einer hydrothermischen Behandlung an dem Vorläuferfilm durch Tauchen des Vorläuferfilmes in eine bestimmte alkalische Lösung und Fördern der Kristallisierung unter bestimmten Bedingungen.\nAls vorbeschriebene alkalische Lösung sollte eine Lösung eingesetzt werden, die derart eingestellt ist, dass sie den gelösten alkalischen Stoff in einer Konzentration von nicht mehr als 0,1 M [mol/l] enthält. Vorzugsweise ist die Lösung derart eingestellt, dass sie den gelösten alkalischen Stoff in einer Konzentration von nicht mehr als 0,05 M [mol/l] enthält.\nBei dem Schritt des Ausbildens des Vorläuferfilmes kann der Vorläuferfilm in dem amorphen Zustand dadurch ausgebildet werden, das ein eine organometallische Verbindung enthaltendes Sol über der unteren Elektrode aufgetragen und anschließend erhitzt wird.\nDarüber hinaus kann der Schritt des Ausbildens des Vorläuferfilmes die nachfolgenden Schritte umfassen: Auftragen eines aus einer organometallischen Verbindung zusammengesetzten Vorläufers; Trocknen des Vorläufers bei einer bestimmten Temperatur; und Pyrolysieren des Vorläufers bei Temperaturen in einem Bereich zwischen 300 °C und 500 °C.\nDie alkalische Lösung kann aus einer Gruppe ausgewählt werden, die KOH, Ba(OH)2, Pb(OH)2, Ba(OH)2 + Pb(OH)2, KOH + Ba(OH)2 und KOH + Pb(OH)2 enthält.\nBei dem Schritt des Pyrolysierens kann der Vorläufer bei einer Temperatur von 450 °C entfettet werden.\nBei dem Schritt des Trocknens kann der Vorläufer bei Temperaturen in einem Bereich zwischen 150 °C und 200 °C getrocknet werden.\nBei dem Schritt des Ausbildens des Vorläufers kann der Vorläuferfilm in dem amorphen Zustand, der Metall und Sauerstoff enthält, mittels eines der nachfolgend genannten Verfahren gebildet werden: HF-Sputterverfahren, Ionenstrahlsputterverfahren und Elektronenstrahlabscheidungsverfahren.\nDie bestimmten Bedingungen bei dem Schritt der hydrothermischen Behandlung können bei Temperaturen in einem Bereich zwischen 100 °C und 200 °C und einem Druck von 10 oder weniger Atmosphären (1 MPa oder weniger) vorgenommen werden.\nDie genannten Bedingungen bei dem Schritt der hydrothermischen Behandlung können bei einer Temperatur von 140 °C und einem Druck von 4 Atmosphären (0,4 MPa) vorgenommen werden.\nBei dem Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Aktuators entsprechend der vorliegenden Erfindung können der Schritt des Auftragens des Vorläufers, der Schritt des Trocknens des Vorläufers und der Schritt des Pyrolysierens des getrockneten Vorläufers wenigstens einmal wiederholt werden.\nBei dem Schritt des Ausbildens des Vorläufers können der Schritt des Auftragens der Lösung aus der organometallischen Verbindung, der Schritt des Trocknens des Filmes aus der organometallischen Verbindung, die durch Auftragen gebildet worden ist, bei einer ersten Temperatur und der Schritt des Pyrolysierens des getrockneten Filmes aus der organometallischen Verbindung bei einer zweiten Temperatur wenigstens einmal wiederholt werden.\nDarüber hinaus stellt die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahldruckkopfes bereit, der einen piezoelektrischen Aktuator umfasst, der entsprechend dem erfindungsgemäßen vorgenannten Herstellungsverfahren hergestellt worden ist, wobei dieses Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahldruckkopfes die nachfolgenden Schritte umfasst: Ausbilden einer Membran an einer Seite eines Substrates; Herstellen des piezoelektrischen Aktuators an der Membran; und Ausbilden einer Druckkammer durch Ätzen des Substrates in einer derartigen Anordnung, dass die Membran mit dem darauf vorgesehenen piezoelektrischen Aktuator eine Seite der Druckkammer bildet.\n1 ist eine Perspektivansicht eines Druckers entsprechend einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, wobei hier der Aufbau des Druckers dargestellt ist.\n2 ist eine perspektivische Explosionsansicht eines Tintenstrahldruckkopfes entsprechend einem Ausführungsbeispiel der Erfindung.\n3 ist eine Teilschnittperspektivansicht des Tintenstrahldruckkopfes entsprechend einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.\n4 ist eine Schnittansicht eines piezoelektrischen Aktuators entsprechend einem Ausführungsbeispiel der Erfindung, wobei hier der Schichtaufbau des piezoelektrischen Aktuators dargestellt ist.\n5 zeigt Schnittansichten der Herstellungsschritte, wobei hier ein Verfahren zur Herstellung des piezoelektrischen Aktuators entsprechend einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung dargestellt ist.\n6 zeigt Schnittansichten der Herstellungsschritte, wobei hier ein Verfahren zur Herstellung des Tintenstrahldruckkopfes entsprechend einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung dargestellt ist.\n7 ist eine Strukturskizze einer SEM-Schnittfotografie eines piezoelektrischen Filmes, an dem eine hydrothermische Behandlung gemäß dem Herstellungsverfahren entsprechend einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung vorgenommen worden ist.\n8 ist eine Perspektivansicht eines Druckers entsprechend einem weiteren Beispiel, wobei hier der Aufbau des Druckers dargestellt ist.\n9 ist eine im Schnitt genommene Transmissionselektronenbeugungspunktfotografie eines piezoelektrischen Filmes, an dem eine hydrothermische Behandlung gemäß dem Herstellungsverfahren entsprechend einem weiteren Beispiel vorgenommen worden ist.\n10(a) ist eine im Schnitt genommene TEM-Dunkelfeldfotografie eines piezoelektrischen Filmes, an dem eine hydrothermische Behandlung gemäß dem Herstellungsverfahren entsprechend einem weiteren Beispiel vorgenommen worden ist, während 10(b) eine Strukturskizze der Fotografie ist.\n11(a) ist eine SEM-Fotografie eines piezoelektrischen Filmes, an dem eine hydrothermische Behandlung gemäß dem Herstellungsverfahren entsprechend einem weiteren Beispiel vorgenommen worden ist, wohingegen 11(b) eine Strukturskizze der Fotografie darstellt.\n12 ist ein Reflexionsröntgenbeugungsspektrum eines piezoelektrischen Filmes, an dem eine hydrothermische Behandlung gemäß dem Herstellungsverfahren entsprechend einem weiteren Beispiel vorgenommen worden ist.\nDetailbeschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele\nAusführungsbeispiele der Erfindung werden nachstehend unter Bezugnahme auf die begleitende Zeichnung beschrieben. Diese Ausführungsbeispiele betreffen einen piezoelektrischen Aktuator, bei dem ein hydrothermisches Verfahren zum Einsatz gekommen ist, sowie einen Tintenstrahldruckkopf und einen Drucker, bei dem der piezoelektrische Aktuator zum Einsatz kommt.\nEs wird zunächst eine Erklärung des Aufbaus eines Druckers gegeben, bei dem ein Tintenstrahldruckkopf mit einem piezoelektrischen Aktuator entsprechend einem Ausführungsbeispiel der Erfindung verwendet wird.\nWie in 1 gezeigt ist, weist ein Drucker eines Ausführungsbeispieles eine Lade 3, eine Ausgabe 4 und einen Bedienknopf 9 auf, die an einem Hauptkörper 2 vorgesehen sind. Innerhalb des Hauptkörpers 2 sind ein Tintenstrahldruckkopf 1, ein Zuführmechanismus 6, ein Kopfsteuermechanismus 7 und eine Steuerschaltung 8 vorgesehen.\nDer Tintenstrahldruckkopf 1 umfasst einen piezoelektrischen Aktuator, der entsprechend dem Herstellungsverfahren der vorliegenden Erfindung hergestellt ist. Wie in der in einem Kreis vergrößerten Ansicht gezeigt ist, umfasst der Tintenstrahldruckkopf 1 Köpfe 1bk, 1c, 1m und 1y, von denen jeder den gleichen Aufbau aufweist.\nJeder Kopf ist derart ausgestaltet, dass er zur Abgabe von Farbe aus seiner Düse in Reaktion auf ein Abgabesignal in der Lage ist, das von der Steuerschaltung 8 bereitgestellt wird. Der Kopf 1bk gibt schwarze Farbe ab, der Kopf 1c gibt zyanfarbene Farbe ab, der Kopf 1m gibt magentafarbene Farbe ab, und der Kopf 1y gibt gelbe Farbe ab. Ist kein Farbdruck gewünscht, so kann der Tintenstrahldruckkopf beispielsweise nur aus schwarzer Farbe bestehen. Der spezifische Aufbau des Kopfes wird nachstehend noch beschrieben.\nDer Hauptkörper 2 ist ein Gehäuse für den Kopf 1 und umfasst den Zuführmechanismus 6, der derart an einer Stelle angeordnet ist, dass die Zuführung von Papier aus der Lade 3 möglich wird. Er hat den Tintenstrahldruckkopf 1 zudem derart an einer Stelle angeordnet, dass ein Hin- und Herfahren über dem Papier 5 möglich wird. Die Lade 3 ist derart ausgestaltet, dass sie vor dem Drucken zur Bereitstellung des Papiers 5 für den Zuführmechanismus 6 in der Lage ist. Die Ausgabe 4 ist eine Ausgabe, die eine Ausgabe des Papiers 5, nachdem dieses bedruckt worden ist, vornimmt.\nDer Zuführmechanismus 6 umfasst einen Motor 600, Walzen 601 und 602 sowie einen mechanischen Aufbau, der in der Zeichnung nicht dargestellt ist. Der Motor 600 kann entsprechend einem Treibersignal in Drehung versetzt werden, das von der Steuerschaltung 8 bereitgestellt wird. Der mechanische Aufbau ist derart gewählt, dass er zur Übertragung des Drehmomentes von dem Motor 600 an die Walzen 601 und 602 in der Lage ist. Die Walzen 601 und 602 sind derart ausgestaltet, dass sie in Drehung versetzt werden, wenn das Drehmoment des Motors 600 auf sie übertragen wird. Die Drehung der Walzen zieht das auf der Lade 3 angeordnete Papier 5 ein, woraufhin das Papier 5 derart zugeführt wird, dass der Druckvorgang von dem Kopf 1 ausgeführt werden kann.\nDer Kopfsteuermechanismus 7 umfasst einen Motor 700 und einen mechanischen Aufbau, der in der Zeichnung nicht dargestellt ist. Der Motor 700 ist derart ausgestaltet, dass er in Reaktion auf ein Kopfbewegungssignal in Drehung versetzt werden kann, das von der Steuerschaltung 8 bereitgestellt wird. Der mechanische Aufbau wandelt die Drehbewegung des Motors 7 in eine horizontale Bewegung um, sodass der Tintenstrahldruckkopf 1 in den durch die Pfeile in 1 angedeuteten Richtungen bewegt werden kann. Wird der Tintenstrahldruckkopf 1 jedoch mit einer derart großen Fläche ausgebildet, dass sie die Breitenrichtung des Papiers (beispielsweise im Falle eines Zeilendruckers) abdeckt, so ist eine Bewegung des Kopfes selbst nicht notwendig. Mit anderen Worten, der Kopfbewegungsmechanismus ist keine wesentliche Komponente.\nObwohl dies in der Zeichnung nicht dargestellt ist, umfasst die Steuerschaltung 8 eine CPU, einen ROM, einen RAM, eine Schnittstellenschaltung und dergleichen mehr. Die Steuerschaltung 8 stellt das Treibersignal für den Zuführmechanismus 6 in Reaktion auf Druckinformation bereit, die von einem Computer über einen in der Zeichnung nicht dargestellten Stecker bereitgestellt wird, leitet das Kopfbewegungssignal an den Kopfsteuermechanismus 7 und stellt das Abgabesignal für den Tintenstrahldruckkopf 1 bereit. Die Steuerschaltung 8 ist ebenfalls derart ausgestaltet, dass sie zum Einstellen und Zurücksetzen von Betriebszuständen in Reaktion auf ein Betriebssignal in der Lage ist, das von einem Bedienfeld 9 gesendet wird.\nEs folgt nun eine Erläuterung des Aufbaus des erfindungsgemäßen Tintenstrahldruckkopfes. Wie in 2 und 3 dargestellt ist, umfasst der Tintenstrahldruckkopf 1 eine Düsenplatte 10, ein Druckkammersubstrat 20, eine Membran 30 und ein Gehäuse 25. Das Druckkammersubstrat 20 umfasst Hohlräume 21, Seitenwände (Trennwände) 22, einen Vorratsbehälter 23 und Zuführöffnungen 24. Der Hohlraum ist eine Druckkammer, die durch Ätzen des aus Silizium oder dergleichen bestehenden Substrates gebildet ist und als Raum zur Speicherung der abzugebenden Farbe oder dergleichen verwendet wird. Die Seitenwände 22 sind derart ausgebildet, dass sie Trennwände der Hohlräume 21 darstellen. Der Vorratsbehälter 23 stellt einen gemeinsamen Kanal zum Befüllen der jeweiligen Hohlräume 21 mit Farbe dar. Die Zuführöffnungen 24 sind derart ausgebildet, dass sie zum Einleiten von Farbe aus dem Vorratsbehälter 23 in die jeweiligen Hohlräume 21 in der Lage sind.\nDie Düsenplatte 10 ist an einer Seite des Druckkammersubstrates 20 derart angeklebt, dass sich Düsenlöcher 11 an Stellen befinden, die den jeweiligen Hohlräumen 21 entsprechen, die in dem Druckkammersubstrat 20 vorgesehen sind. Das Druckkammersubstrat 20, an dem die Düsenplatte 10 angeklebt ist, wird anschließend, wie in 2 gezeigt ist, in das Gehäuse 25 eingeführt, woraufhin der Tintenstrahldruckkopf 1 fertig zusammengesetzt ist.\nDie Membran 30 ist an der anderen Seite des Druckkammersubstrates 20 angeklebt. Die Membran 30 weist einen darauf angebrachten piezoelektrischen Aktuator 40 auf. In der Membran 30 befindet sich ein Farbtankloch 31, das zur Zuleitung von in einem (nicht gezeigten) Farbtank gespeicherter Farbe in das Innere des Druckkammersubstrates 20 in der Lage ist.\n4 ist eine Schnittansicht, die spezifischere Strukturen des Tintenstrahldruckkopfes und des piezoelektrischen Aktuators entsprechend der vorliegenden Erfindung darstellt.\nWein 4 gezeigt ist, wird die Membran 30 zusammengesetzt, indem ein Isolierfilm 31 und eine untere Elektrode 32 laminiert werden. Der piezoelektrische Aktuator 30 wird zusammengesetzt, indem eine piezoelektrische Filmschicht 41 und eine obere Elektrode 42 laminiert werden.\nDer Isolierfilm 31 setzt sich aus einem nichtleitenden Material, so beispielsweise Siliziumdioxid zusammen, das beispielsweise durch thermische Oxidierung eines Siliziumsubstrates hergestellt wird. Der Isolierfilm 31 verformt sich aufgrund der Verformung der piezoelektrischen Schicht und ist derart zusammengesetzt, dass er instantan den Innendruck in dem Hohlraum 21 vergrößern kann.\nDie untere Elektrode 32 ist eine Elektrode zum Anlegen einer Spannung an der piezoelektrischen Schicht und besteht aus einem leitfähigen Material, so beispielsweise Titan (Ti). Die untere Elektrode 32 ist in derselben Fläche wie diejenige des Isolierfilmes 31 ausgebildet, sodass sie als gemeinsame Elektrode für eine Mehrzahl piezoelektrischer Aktuatoren arbeitet, die über dem Druckkammersubstrat 20 ausgebildet sind. Es ist jedoch auch möglich, die untere Elektrode 32 in derselben Größe wie derjenigen der piezoelektrischen Filmschicht 41 auszugestalten, das heißt, in derselben Form wie derjenigen der oberen Elektrode.\nDie obere Elektrode 42 ist die andere Elektrode zum Anlegen einer Spannung an der piezoelektrischen Schicht und besteht aus einem leitfähigen Material, so beispielsweise Platin (Pt), mit einer Schichtdicke von 0,1 &mgr;m.\nDie piezoelektrische Filmschicht 41, die den piezoelektrischen Aktuator 40 bildet, enthält Kristalle einer piezoelektrischen Keramik, die eine Perowskit-Struktur aufweisen und mittels des Herstellungsverfahrens der vorliegenden Erfindung hergestellt worden sind. Die piezoelektrische Filmschicht 41 wird in einer bestimmten Form über der Membran 30 ausgebildet. Insbesondere zeichnet sich, wie in der vergrößerten Ansicht, die in dem unteren Teil von 11 gezeigt ist, zu sehen ist, die piezoelektrische Filmschicht 41 der vorliegenden Erfindung dadurch aus, dass ihre Kristallkörner in säulenartigen Formen (säulenförmige Kristallkörner) Zufallsorientierungen aufweisen, wobei die Kristallorientierung nicht konstant ist. Darüber hinaus zeichnet sich die piezoelektrische Filmschicht 41 dadurch aus, dass die Breite dieser säulenförmigen Kristallkörner in einer Richtung parallel zur Oberfläche des Elektrodenfilmes, das heißt ein mittlerer Durchmesser d der säulenförmigen Kristallkörner, in einem Bereich zwischen 100 nm und 15000 nm, vorzugsweise in einem Bereich zwischen 100 nm und 10000 nm liegt. Die piezoelektrische Filmschicht 41, die eine Struktur mit diesen Eigenschaften aufweist, kann durch Einsetzen des hydrothermischen Verfahrens der vorliegenden Erfindung hergestellt werden.\nDie Elementzusammensetzung der piezoelektrischen Filmschicht 41 enthält beispielsweise eine der nachfolgend aufgeführten piezoelektrischen Keramiken: Blei-Zirkonat-Titanat (Pb(Zr,Ti)O3 : PZT), Blei-Lanthan-Titanat ((Pb,La)TiO3), Blei-Lanthan-Zirkonat ((Pb,La)ZrO3), Blei-Lanthan-Zirkonat-Titanat ((Pb,La)(Zr,Ti)O3 : PLZT)) und Blei-Magnesium-Niobat-Zirkonat-Titanat (Pb(Mg,Nb)(Zr,Ti)O3 : PMN-PZT).\nEs folgt nun eine Beschreibung des Prinzips der Abgabe eines Farbtropfens bei dem Aufbau des Tintenstrahldruckkopfes.\nWird kein Abgabesignal von der Steuerschaltung 8 abgegeben und liegt keine Spannung zwischen der unteren Elektrode 32 und der oberen Elektrode 42 des piezoelektrischen Aktuators 40 an, so verformt sich die piezoelektrische Filmschicht 41 nicht. Es tritt keine Druckänderung in dem Hohlraum 21 auf, an dem der piezoelektrische Aktuator 40 bei Nichtvorhandensein eines Abgabesignals vorgesehen ist, und es werden keine Farbtropfen aus seinem Düsenloch 11 abgegeben.\nWird demgegenüber ein Abgabesignal von der Steuerschaltung 8 abgegeben und liegt eine konstante Spannung zwischen der unteren Elektrode 32 und der oberen Elektrode 42 des piezoelektrischen Aktuators 40 an, so verformt sich die piezoelektrische Filmschicht 41. In dem Hohlraum 21, an dem der piezoelektrische Aktuator 40 bei anliegendem Abgabesignal vorgesehen ist, verbiegt sich die Membran 30 merklich. Entsprechend steigt der Druck innerhalb des Hohlraumes 21 instantan an, sodass Farbtropfen aus dem Düsenloch 11 abgegeben werden.\nEs folgt nunmehr eine Erläuterung des Verfahrens zur Herstellung des piezoelektrischen Aktuators sowie des Verfahrens zur Herstellung des Tintenstrahldruckkopfes.\nHerstellung eines Soles\nZunächst wird ein Sol einer piezoelektrischen Keramik hergestellt, die das Material für die piezoelektrische Filmschicht darstellt. So werden beispielsweise Titantetraisopropoxid, Niobpentaethoxid und Zirkontetra-n-propoxid in 2-n-Butoxyethanol eingemischt, woraufhin das Gemisch 20 Minuten lang bei Raumtemperatur umgerührt wird. Anschließend wird Diethanolamin dem Gemisch zugegeben, das dann weitere 20 Minuten bei Raumtemperatur umgerührt wird. Bleiacetat und Magnesiumacetat werden dem Gemisch zugeführt, das dann auf 80 °C erwärmt wird. Das sich ergebende Gemisch wird anschließend in erhitztem Zustand 20 Minuten lang umgerührt und kühlt anschließend ab, bis es Raumtemperatur erreicht. Die mittels der vorbeschriebenen Schritte hergestellte Metallalkoxidlösung wird dann als Sol verwendet. Das Verfahren zur Herstellung des Soles ist jedoch nicht auf das vorgeschriebene Verfahren beschränkt.\nDas mittels des vorbeschriebenen Verfahrens hergestellte Sol wird zur Herstellung des piezoelektrischen Aktuators und des Tintenstrahldruckkopfes verwendet.\n5 zeigt Schnittansichten, die die Schritte der Herstellung des piezoelektrischen Aktuators darstellen.\nSchritt des Ausbildens des Isolierfilmes (Fig. 5(a))\nDer Schritt des Ausbildens eines Isolierfilmes ist der Schritt des Ausbildens des Isolierfilmes 31 auf dem Siliziumsubstrat 20. Das Siliziumsubstrat 20 wird beispielsweise mit einer Dicke von ungefähr 200 µm ausgebildet, und der Isolierfilm 31 wird mit einer Dicke von ungefähr 1 µm ausgebildet. Die bekannte thermische Oxidation oder dergleichen wird zur Herstellung des Isolierfilmes verwendet.\nSchritt des Ausbildens der unteren Elektrode (Fig. 5(b))\nDer Schritt des Ausbildens der unteren Elektrode ist der Schritt des Ausbildens der unteren Elektrode 32 über dem Isolierfilm 31. Die untere Elektrode 32 wird beispielsweise durch Laminieren einer Titanschicht mit einer Dicke von 0,1 µm hergestellt. Das bekannte Gleichstromsputtern oder dergleichen wird zur Herstellung dieser Schicht eingesetzt.\nSchritt des Ausbildens eines Vorläuferfilmes für die piezoelektrische Filmschicht (Fig. 5(c) (d))\nDer Schritt des Ausbildens eines Vorläuferfilmes für die piezoelektrische Filmschicht ist der Schritt des Wiederholens des Auftragens eines Soles und des Trocknens und Pyrolysierens des aufgetragenen Soles, wodurch ein Vorläuferfilm aus einer Mehrzahl dünner Filme hergestellt wird.\nZunächst wird die Metallalkoxidlösung, die entsprechend dem vorbeschriebenen Verfahren hergestellt worden ist, in gleichmäßiger Dicke über der unteren Elektrode 32 aufgetragen. Wird beispielsweise das bekannte Verfahren des Spinbeschichtens (spin coating) verwendet, so erfolgt das Auftragen 30 Sekunden lang bei 500 UpM, 30 Sekunden lang bei 1500 UpM und schließlich 10 Sekunden lang bei 500 UpM. Im aufgetragenen Zustand verteilen sich die PZT enthaltenden jeweiligen Metallatome als organometallische Verbindung.\nNach dem Auftragen wird das Sol während einer bestimmten Zeitspanne bei konstanter Temperatur getrocknet, beispielsweise vorzugsweise bei einer Temperatur in einem Bereich von 150 °C bis 200 °C, besonders bevorzugt bei etwa 180 °C. Die Trocknungszeit beträgt vorzugsweise zwischen 5 und 15 Minuten und ganz besonders bevorzugt ungefähr 10 Minuten. Durch die Trocknung wird bewirkt, dass die Feuchtigkeit ausdampft.\nNach dem Trocknen wird ein Pyrolysieren an Luft bei konstanter Temperatur vorgenommen, so beispielsweise vorzugsweise bei einer Temperatur in einem Bereich von 300 °C bis 500 °C und besonders bevorzugt bei 450 °C, und zwar für eine bestimmte Zeitspanne (60 Minuten). Das Pyrolysieren bewirkt, dass eine organische Substanz, die eine koordinative oder kovalente Bindung mit dem Metall eingeht, aus dem Metall dissoziiert, und die organische Substanz initiiert eine Oxidationsverbrennungsreaktion und entweicht in die Atmosphäre. Der nach dem Pyrolysieren übrige Vorläuferfilm ist ein amorpher Film, der nur aus dem Metall und Sauerstoff besteht. Die vorbeschriebenen jeweiligen Schritte des Auftragens, Trocknens und Pyrolysierens werden eine bestimmte Anzahl von Malen, so beispielsweise viermal, wiederholt, wodurch vier Dünnfilmschichten (411, 412 usw) laminiert werden. Diese Mehrschichtenstruktur soll das Entstehen von Rissen verhindern und die Schichtdicke vergrößern.\nDer Schritt des Ausbildens des Vorläuferfilmes für den piezoelektrischen Film kann durch einen Schritt ersetzt werden, bei dem ein Sputterverfahren zum Einsatz kommt. So wird beispielsweise eines der nachfolgenden Verfahren, nämlich HF-Sputtern, Ionenstrahlsputtern, Elektronenstrahlabscheidung oder dergleichen, zur Herstellung der Dünnfilmschichten 411, 412 usw. in dem Block eingesetzt, wodurch dann der Vorläuferfilm gebildet wird. Das Sputtern wird unter bestimmten Bedingungen vorgenommen, so beispielsweise unter Einsatz eines Sputtertargets, darunter Pb, Zr, Ti, Mg, Nb oder dergleichen, mit einer Sputterleistung von 500 W und einem Argongasdruck von 4 Pa während des Sputterns ohne Erwärmung des Substrates während des Sputterns, wobei die Sputterzeit 80 Minuten beträgt. Als Ergebnis erhält man einen Vorläuferfilm mit einer Dicke von ungefähr 1000 nm. Selbstverständlich enthält der durch das Sputtern erhaltene Vorläuferfilm keine organische Substanz. Genau wie der durch Auftragen des vorbeschriebenen Soles und Trocknen sowie Pyrolysieren des aufgetragenen Soles hergestellte Vorläuferfilm besteht der Vorläuferfilm, der durch Sputtern hergestellt ist und keine organische Substanz enthält, nur aus Metall und Sauerstoff, die die direkten Elemente zur Ausbildung des piezoelektrischen Filmes darstellen. Entsprechend wird es möglich, eine Kristallisation mittels Phasenänderungen zu bewirken, die durch die hydrothermische Behandlung, was nachstehend noch beschrieben wird, verursacht werden. Verbleiben irgendwelche organischen Substanzen in dem Vorläuferfilm, so kann diese organische Substanz die Kristallisierung zerstören. Folglich wird die hydrothermische Behandlung, die eine schwachalkalische Lösung einsetzt, unter der Bedingung vorgenommen, dass der Vorläuferfilm keine organischen Substanzen enthält.\nFür den Fall, dass die Kristallisierung eines organische Substanzen enthaltenden Vorläuferfilmes zur Herstellung des piezoelektrischen Filmes erforderlich ist, ist es notwendig, die hydrothermische Behandlung in einer alkalischen Lösung vorzunehmen, die nicht schwächer alkalisch als eine bestimmte Konzentration ist. Dies rührt daher, dass sich die organische Substanz, die eine koordinative oder kovalente Bindung mit dem Metall eingeht, auflöst und aufgrund einer Ionisierung von Alkali und dem Metallatom entweicht, und das ionisierte Metall verteilt sich und kristallisiert unter der Wirkung von Druck und Temperatur. Mit anderen Worten, es ist ein Pyrolysieren mit Alkali erforderlich.\nSchritt der hydrothermischen Behandlung (Fig. 5(e))\nDer Schritt der hydrothermischen Behandlung ist der Schritt, der die vorliegende Erfindung auszeichnet. Zunächst wird ein Tank 100 mit einer alkaleszenten Lösung 101 gefüllt. Anschließend wird der Vorläuferfilm 41, der in dem vorbeschriebenen Schritt mit dem Substrat zusammenlaminiert worden ist, in den Tank 100 eingeführt, um die Kristallisation bei bestimmten Versuchsparametern in einem Druckbehälter einzuleiten.\nWird eine alkalische Lösung als Behandlungslösung eingesetzt, so wird als gelöster Stoff eine der nachfolgenden Substanzen verwendet: KOH, Ba(OH)2, Pb(OH)2, eine gemischte Lösung aus Ba(OH)2 und Pb(OH)2, eine gemischte Lösung aus Ba(OH)2 und KOH sowie eine gemischte Lösung aus KOH und Pb(OH)2. Dies rührt von der Erkenntnis her, dass der Vorgängerfilm der piezoelektrischen Keramik in diesen alkalischen Lösungen kristallisiert.\nWas die Konzentration der alkalischen Lösung angeht, so ist eingedenk der Möglichkeit einer Erosion des Substrates oder dergleichen wünschenswert, wenn die Konzentration auf Werte unterhalb von 0,1 M [mol/l] eingestellt wird. In Ausführungsbeispiel 1 ist die Konzentration auf 0,05 M [mol/l] eingestellt.\nDie Temperatur bei der hydrothermischen Behandlung wird in einem Bereich zwischen 100 °C und 200 °C gewählt. Ist die Temperatur unterhalb des vorgenannten Bereiches, so wird die Kristallisation nicht gefördert. Ist demgegenüber die Temperatur oberhalb des vorgenannten Bereiches, so findet eine Ätzung des Vorgängerfilmes oder der piezoelektrischen Filmschicht und des Siliziumsubstrates statt. Die Temperatur der Behandlung wird beispielsweise bei ungefähr 140 °C eingestellt.\nDer Druck der hydrothermischen Behandlung wird in einem Druckbereich von 2 Atmosphären bis 10 Atmosphären gewählt. Dies rührt daher, dass gute Kristalle nicht entstehen können, wenn der Druck außerhalb des vorgenannten Bereiches liegt. Der Druck wird beispielsweise auf einen Druck von ungefähr 4 Atmosphären (0,4 MPa) eingestellt. Die Zeit der hydrothermischen Behandlung wird in einem Bereich zwischen 10 und 60 Minuten gewählt. Ist die Zeit kürzer als der vorgenannte Bereich, so findet eine ausreichende Kristallisierung statt. Ist die Zeit demgegenüber länger als der vorgenannte Bereich, so besteht die Möglichkeit, dass die piezoelektrische Filmschicht oder das Substrat erodieren. Die Zeit der Behandlung wird beispielsweise bei ungefähr 30 Minuten gewählt.\nSchritt des Ausbildens der oberen Elektrode (Fig. 5(f))\nDie obere Elektrode 42 wird über der piezoelektrischen Filmschicht 41 dadurch ausgebildet, dass eine Technik der Elektronenstrahlabscheidung, des Sputterns oder dergleichen zum Einsatz kommt. Platin (Pt) oder dergleichen wird als Material für die obere Elektrode verwendet. Die obere Elektrode wird mit einer Dicke von ungefähr 100 nm hergestellt.\nDer Schichtaufbau des piezoelektrischen Aktuators ist mit dem vorbeschriebenen Schritt fertiggestellt. Es ist nunmehr notwendig, den Schichtaufbau mittels Ätzen oder dergleichen in eine Form zu bringen, die zu der Vorrichtung passt, in der der piezoelektrische Aktuator eingesetzt werden soll. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird zudem eine Behandlung vorgenommen, die in den Schnittansichten der Herstellungsschritte von 6 dargestellt ist, bei der der piezoelektrische Aktuator als Druckerzeugungsquelle für einen Tintenstrahldruckkopf eingesetzt wird.\nSchritt des Ätzens (Fig. 6(a))\nDer Schritt des Ätzens ist der Schritt des Ausbildens des piezoelektrischen Aktuators 40. Zunächst werden die laminierten Strukturen 41 und 42 des piezoelektrischen Aktuators in einer Form entsprechend den in dem Druckkammersubstrat 20 auszubildenden Hohlräumen maskiert. Anschließend wird mittels der Maske das Ätzen vorgenommen, wodurch die piezoelektrischen Aktuatoren 40 ausgebildet werden. Insbesondere wird zunächst ein Resistmaterial mit einer einheitlichen Dicke mittels eines Verfahrens wie beispielsweise des Schleuderverfahrens oder des Sprühverfahrens aufgetragen. Anschließend wird die Maske in Form der piezoelektrischen Aktuatoren gebildet, woraufhin das Belichten und Entwickeln vorgenommen werden, sodass sich ein Resistmuster über der oberen Elektrode 42 bildet. Die Maske wird entsprechend dem Typ, nämlich entweder positiv oder negativ, des Resistmaterials ausgebildet. Anschließend wird ein Verfahren wie Ionenmahlen, Trockenätzen oder auch ein anderes Verfahren, das normalerweise hierfür eingesetzt wird, zum Ätzen und Entfernen der oberen Elektrode 42 und der piezoelektrischen Filmschicht 41 eingesetzt. Auf oben beschriebene Weise können piezoelektrische Aktuatoren 40, die für den Tintenstrahldruckkopf geeignet sind, hergestellt werden.\nSchritt des Ausbildens der Druckkammer (Fig. 6(b))\nDer Schritt des Ausbildens der Druckkammer ist der Schritt des Ausbildens der Hohlräume 21 durch Ätzen der Seite des Druckkammersubstrates 20 im Gegensatz zu derjenigen Seite, wo die piezoelektrischen Aktuatoren 40 ausgebildet werden. Das Ätzen von Räumen für die Hohlräume 41 wird durch Einsatz eines anisotropen Ätzens unter Verwendung eines Aktivgases vorgenommen, so beispielsweise durch ein Reaktivionenätzen vom Planparallelplattentyp, und zwar von derjenigen Seite, die entgegengesetzt zu derjenigen Seite ist, an der die piezoelektrischen Aktuatoren 40 ausgebildet sind. Diejenigen Abschnitte, die verblieben und nicht geätzt worden sind, werden zu den Seitenwänden 22.\nSchritt des Anklebens der Düsenplatte (Fig. 6(c))\nDer Schritt des Anklebens der Düsenplatte ist der Schritt des Anklebens einer Düsenplatte 10 an dem geätzten Siliziumsubstrat 20 mit einem Haftmittel. Zum Zeitpunkt des Klebens ist die Düsenplatte derart ausgerichtet, dass jeweilige Düsenlöcher 11 an Stellen angeordnet sind, die den jeweiligen Räumen der Hohlräume 21 entsprechen. Schließlich wird das Druckkammersubstrat 20 mit der daran angeklebten Düsenplatte 10 an einem Gehäuse 25 angebracht (wie in 2 gezeigt ist), womit der Tintenstrahldruckkopf 1 dann fertig ist.\nWerden die Druckplatte und das Druckkammersubstrat integral geätzt und ausgebildet, so ist der Schritt des Anklebens der Düsenplatte überflüssig. Es sind nämlich nur das Ätzen des Druckkammersubstrates in Form einer Kombination aus der Düsenplatte und dem Druckkammersubstrat und das Ausbilden der Düsenlöcher an Stellen notwendig, die den Hohlräumen entsprechen.\nAnschließend wird der Tintestrahldruckkopf mit Blei-Zirkonat-Titanat (Pb(Zr0,56Ti0,44)O3) als piezoelektrischer Filmschicht auf Basis des vorbeschriebenen Herstellungsverfahrens hergestellt.\nEine im Schnitt genommene SEM-Fotografie (Scanning Electron Microscopy SEM, Abtastelektronenmikroskopie) dieses Kristalls nach der hydrothermischen Behandlung wird anschließend aufgenommen. 4 ist eine Strukturskizze dieser im Schnitt genommenen SEM-Fotografie.\nDie PZT-Kristallkörner in Kumulonimbusform werden über der unteren Elektrode ausgebildet. All diese Kristallkörner sind säulenförmige Kristallkörner, die sich zusammenballen, um kumulonimbusförmige Kristalle zu bilden. Was die jeweiligen säulenförmigen Kristallkörner angeht, sind einige von diesen Kristalle, die senkrecht zur unteren Elektrode stehen, während einige eine Winkelverteilung zwischen 0° und 90° bezüglich der Oberfläche der unteren Elektrode aufweisen. Der Korndurchmesser der einzelnen säulenförmigen Kristallkörner liegt in einem Bereich zwischen 100 und 400 nm. Als Ergebnis der Messung dieser Kristalle durch eine Röntgenpolfigur wird nachgewiesen, dass die Kristalle eine Zufallsorientierung in Richtung der Schichtdicke aufweisen. Es kann keine Erosion des Siliziumsubstrates nachgewiesen werden.\nEntsprechend dem Ausführungsbeispiel erfährt aufgrund der Tatsache, dass eine alkalische Lösung mit äußerst schwacher Konzentration als Behandlungslösung zum Einsatz kommt, der piezoelektrische Film oder das Substrat keine Ätzung durch die Behandlungslösung.\nDarüber hinaus treten aufgrund der Tatsache, dass die alkalische Konzentration schwach ist, Verunreinigungen, so beispielsweise Alkalimetallkationen, nicht in das Innere des piezoelektrischen Aktuators ein und verschlechtern dessen Eigenschaften daher auch nicht.\nDarüber hinaus ist es aufgrund der Tatsache, dass die Kristallisierung bei niedrigen Temperaturen vorgenommen werden kann, einfach, die Behandlung für die Kristallisation vorzunehmen.\nDa keine Behandlung bei hohen Temperaturen vorgenommen wird, verteilen sich die Elemente der unteren Elektrode nicht in dem piezoelektrischen Film, wodurch eine Verschlechterung der Eigenschaften des piezoelektrischen Aktuators verhindert wird.\nDarüber hinaus werden aufgrund der Tatsache, dass keine Hochtemperaturbehandlung ausgeführt wird, weder Veränderungen bei den Eigenschaften noch bei den thermischen Belastungen in den jeweiligen Filmen erzeugt, sodass die Verlässlichkeit des piezoelektrischen Aktuators und des Tintenstrahldruckkopfes verbessert wird.\nDa die Behandlungslösung äußerst schwach alkalisch ist, ist es nicht notwendig, alkalibeständige Materialien für die untere Elektrode oder das Substrat auszuwählen, weshalb es möglich wird, den Bereich der Materialienauswahl zu erweitern.\nFerner ist eine Behandlung bei hohen Temperaturen nicht notwendig, und die Fehlerauftretensrate ist niedrig, weshalb eine Verringerung der Kosten möglich wird.\nSchließlich werden aufgrund der Tatsache, dass keine Behandlung bei hohen Temperaturen ausgeführt wird und nur geringe thermische Belastungen auftreten, aufgrund der thermischen Belastung auch dann keine Risse erzeugt, wenn ein piezoelektrischer Aktuator mit großer Fläche hergestellt wird. Mit anderen Worten, es wird möglich, einen Tintenstrahldruckkopf bereitzustellen, der für großflächige Druckvorrichtungen, so beispielsweise einen Zeilendrucker, geeignet ist.\nDie Erfindung ist nicht auf das vorbeschriebene Ausführungsbeispiel beschränkt. Vielmehr können zahlreiche Abwandlungen vorgenommen werden, um die Erfindung anzupassen. So wird beispielsweise beim vorbeschriebenen Ausführungsbeispiel PZT verwendet, obwohl eine piezoelektrische Keramik für andere Aktuatoren auf ähnliche Weise mittels des hydrothermischen Verfahrens kristallisiert werden kann.\nDarüber hinaus kann der entsprechend dem Verfahren dieser Erfindung hergestellte piezoelektrische Aktuator nicht nur als Druckerzeugungsquelle für einen Tintenstrahldruckkopf eingesetzt werden, sondern auch bei Aktuatorvorrichtungen, darunter piezoelektrischen Ventilatoren, Ultraschallmotoren, Ultraschallwandlern wie auch bei der Herstellung derartiger Vorrichtungen. Der piezoelektrische Aktuator der vorliegenden Erfindung kann nämlich mit einer großen Fläche und bei Verringerung von Kosten hergestellt werden, weshalb es möglich wird, eine neue Verwendung zu ermöglichen, die bei herkömmlichen Erzeugnissen kostenbedingt nicht möglich ist, sowie herkömmliche Eigenschaften zu niedrigeren Preisen bereitzustellen.\nEin Drucker entsprechend einem weiteren Beispiel wird nachstehend unter Bezugnahme auf die begleitende Zeichnung beschrieben.\nBei diesem Beispiel werden Elemente, die denjenigen des Ausführungsbeispieles ähnlich sind, mit denselben Bezugszeichen bezeichnet, und eine detaillierte Erläuterung hiervon unterbleibt.\nDer Drucker dieses Beispiels ist in der Lage, als Zeilendrucker zu arbeiten, wobei, wie in 8 gezeigt ist, sein Hauptkörper 2 eine Lade 3, eine Ausgabe 4 und einen daran vorgesehenen Bedienknopf 9 aufweist. Innerhalb des Hauptkörpers 2 sind ein Tintenstrahldruckkopf 50, ein Zuführmechanismus 6 und eine Steuerschaltung 8 vorgesehen.\nDer Tintenstrahldruckkopf 50 umfasst einen piezoelektrischen Aktuator, der entsprechend dem Herstellungsverfahren der vorliegenden Erfindung hergestellt worden ist. Der Kopf 50 ist ein Kopf, der insbesondere für einen Zeilendrucker verwendet wird, und ist mit einer Länge ausgestaltet, die die Breite des zuzuführenden Papiers abdeckt. Der Tintenstrahldruckkopf 50 ist derart zusammengesetzt, dass er zur Abgabe von Farbe aus Düsen, die in der vollen Breite des Papiers ausgestaltet sind, in Reaktion auf ein Abgabesignal Sh in der Lage ist, das von der Steuerschaltung 8 bereitgestellt wird.\nDer Tintenstrahldruckkopf 50 ist derart ausgestaltet, dass piezoelektrische Aktuatoren 40, Hohlräume 21 und Düsen 11 kontinuierlich mit einem konstanten Rasterabstand derart vorgesehen sind, dass der Kopf 50 die Breite des Papiers, das bedruckt werden soll, abdeckt. Der Rasterabstand zwischen den Düsen kann jederzeit je nach Druckgenauigkeit geändert werden. So können die Düsen beispielsweise derart angeordnet werden, dass 400 dpi eingestellt sind.\nDer Drucker gemäß dem weiteren Beispiel weist einen Aufbau auf, der ähnlich demjenigen des im Zusammenhang mit dem Ausführungsbeispiel beschriebenen Druckers ist, jedoch mit der Ausnahme, dass der Kopf 50 ein Kopf ist, der für einen Zeilendrucker ausgestaltet ist, wobei das Wirken des Druckers ebenfalls mit demjenigen des Druckers gemäß dem Ausführungsbeispiel übereinstimmt.\nBeliebige Schriftzeichen oder Grafiken können gedruckt werden, indem ein Abgabesignal Sh an den einzelnen piezoelektrischen Aktuator abgegeben wird, der an einer Stelle in dem Langkopf gelegen ist, an der der Druck jeweils erfolgen soll.\nEs schließt sich eine Erläuterung des Verfahrens zur Herstellung eines piezoelektrischen Aktuators zusammen mit einem Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahldruckkopfes an.\nBei diesem Beispiel wird ein in länglicher Form ausgebildetes Siliziumsubstrat verwendet, um den Kopf 50 für einen Zeilendrucker herzustellen.\nZunächst wird dasselbe Verfahren wie beim Ausführungsbeispiel zur Herstellung eines Soles, eines Isolierfilmes, einer unteren Elektrode und einer piezoelektrischen Vorläuferfilmschicht angewendet.\nBei dem Schritt der hydrothermischen Behandlung kann für den Fall, dass eine alkalische Lösung als Behandlungslösung verwendet wird, eine der nachfolgend aufgeführten Substanzen verwendet werden: KOH, Ba(OH)2, Pb(OH)2, eine gemischte Lösung aus Ba(OH)2 und Pb(OH)2, eine gemischte Lösung aus Ba(OH)2 und KOH sowie eine gemischte Lösung aus KOH und Pb(OH)2. Dies rührt von der Erkenntnis her, dass der Vorgängerfilm der piezoelektrischen Keramik in diesen alkalischen Lösungen kristallisiert.\nDie Konzentration der alkalischen Lösung wird derart eingestellt, dass sie niedriger als 2 M [mol/l] ist. Liegt die Konzentration bei 2 M [mol/l] oder mehr, so ist das Alkali stark, weshalb es möglich sein kann, dass der piezoelektrische Film und das Substrat erodieren. Bei diesem Beispiel ist die Konzentration auf 0,5 M [mol/l] eingestellt.\nDie Temperatur wird bei der hydrothermischen Behandlung in einem Bereich zwischen 100 °C und 200 °C gewählt. Ist die Temperatur unterhalb des vorerwähnten Bereiches, so wird die Kristallisierung nicht gefördert. Ist die Temperatur demgegenüber oberhalb des vorerwähnten Bereiches, so werden die piezoelektrische Filmschicht und das Siliziumsubstrat geätzt. Die Behandlungstemperatur wird beispielsweise auf ungefähr 140 °C eingestellt.\nDer Druck wird bei der hydrothermischen Behandlung in einem Bereich zwischen einem Druck von 2 Atmosphären (0,2 MPa) und einem Druck von 10 Atmosphären (1 MPa) gewählt. Dies rührt daher, dass gute Kristalle nicht entstehen können, wenn der Druck außerhalb des vorerwähnten Bereiches ist. Der Druck wird beispielsweise bei einem Druck von ungefähr 4 Atmosphären (0,4 MPa) eingestellt. Die Zeit der hydrothermischen Behandlung wird zwischen 10 und 60 Minuten gewählt. Ist die Zeit kürzer als der vorerwähnte Bereich, so kann eine ausreichende Kristallisierung vorgenommen werden. Ist die Zeit demgegenüber länger als der vorerwähnte Bereich, so besteht die Möglichkeit, dass die piezoelektrische Filmschicht oder das Substrat erodieren. Die Behandlungszeit wird beispielsweise bei 30 Minuten gewählt.\nAnschließend werden – auf dieselbe Weise wie beim Ausführungsbeispiel – der Schritt des Ausbildens der oberen Elektrode, der Schritt des Ätzens, der Schritt des Ausbildens der Druckkammer und der Schritt des Anklebens der Düsenplatte ausgeführt, womit der Tintenstrahldruckkopf 50 dann fertig ist.\nAls Beispiel für das vorbeschriebene Herstellungsverfahren wird ein piezoelektrischer Aktuator mit Blei-Zirkonat-Titanat (Pb(Zr0,56Ti0,44)O3) als piezoelektrischer Filmschicht hergestellt.\nEin piezoelektrischer Film, der mittels eines herkömmlichen vollständigen Sol-Gel-Verfahrens hergestellt worden ist, wird als Vergleichsbeispiel 1 verwendet, und ein piezoelektrischer Film, der mittels eines herkömmlichen hydrothermischen Verfahrens hergestellt worden ist, wird als Vergleichsbeispiel 2 verwendet. Der piezoelektrische Film des Vergleichsbeispieles 1 wird dadurch hergestellt, dass ein PZT-Vorläuferfilm in einem amorphen Zustand in einer Sauerstoffatmosphäre einer thermischen Hochgeschwindigkeitsbehandlung (fünf Minuten lang bei 650 °C und eine Minute lang bei 900 °C) unterzogen wird.\nDer piezoelektrische Film des Vergleichsbeispiels 2 wird dadurch hergestellt, dass ein Ti- oder Ni-Substrat in eine Pb2+, Zr+4 und Ti+4 enthaltende KOH-Lösung getaucht und eine Abscheidung der PZT-Körner bewirkt wird.\n9 zeigt eine im Schnitt genommene Transmissionselektronenbeugungspunktfotografie der piezoelektrischen Filmschicht des weiteren Beispieles, an dem eine hydrothermische Behandlung entsprechend der vorliegenden Erfindung vorgenommen worden ist. Wie aus der Fotografie ersichtlich ist, sind die Beugungspunkte regelmäßig angeordnet, und die Kristallisation ist gelungen.\nAnhand einer im Schnitt genommenen TEM-Dunkelfeldfotografie (Transmission Electron Microscopy TEM, Transmissionselektronenmikroskopie), siehe 10, und einer SEM-Fotografie (Scanning Electron Microscopy SEM, Abtastelektronenmikroskopie), siehe 11, der piezoelektrischen Filmschicht wird nachgewiesen, dass der mittlere Durchmesser der säulenförmigen Kristallkörner ungefähr in einem Bereich zwischen 100 nm und 15000 nm liegt.\n12 zeigt ein Reflexionsröntgenbeugungsspektrum (XRD) der piezoelektrischen Filmschicht. Wie aus 12 ersichtlich ist, weist der piezoelektrische PZT-Film (100) bevorzugte Orientierungen in einer Richtung parallel zur normalen Richtung der Oberfläche der unteren Elektrode auf. Entsprechend der Röntgenpolfigur und dem im Schnitt genommenen Transmissionselektronenbeugungsmuster weist der PZT-Film (100) bevorzugte Orientierungen in einer Richtung parallel zur normalen Richtung der Oberfläche der unteren Elektrode auf.\nIm Vergleich zu Vergleichsbeispiel 1 kann der piezoelektrische Aktuator dieses weiteren Beispieles mit einer größeren Fläche ausgebildet werden, da durch Wärme eine geringere interne Belastung erzeugt wird. Bei Vergleichsbeispiel 1 beträgt die interne Belastung, die in dem Film aufgrund der Kristallisation erzeugt worden ist, ungefähr 108 Pa, während die interne Belastung, die für den Fall des piezoelektrischen Aktuators dieses Beispieles erzeugt worden ist, bei ungefähr 106 bis 107 Pa liegt. Aufgrund der Tatsache, dass bei dem Vergleichsbeispiel 1 eine thermische Behandlung bei hoher Temperatur zum Einsatz kommt, tritt zudem eine thermische Expansion der Elektroden oder des piezoelektrischen Filmes auf oder ihre Komponenten diffundieren. Gleichwohl tritt aufgrund der Tatsache, dass bei dem weiteren Beispiel die Kristallisierung durch Absenken der Temperaturen gefördert wird, keine Verformung bedingt durch thermische Expansion auf, und das Leistungsvermögen des piezoelektrischen Aktuators verschlechtert sich nicht aufgrund einer Diffusion der Komponenten. Entsprechend kann erwartet werden, dass das weitere Beispiel ertragssteigernd und kostensenkend ist.\nIm Vergleich zu dem Vergleichsbeispiel 2 wird nur die PZT-Kristallisierung durch das Herstellungsverfahren der vorliegenden Erfindung gefördert, das bei dem weiteren Beispiel eingesetzt wird, wo die Einflussnahme auf die Zusammensetzung des piezoelektrischen Filmes nicht derart schwierig wie bei Vergleichsbeispiel 2 ist. Darüber hinaus ist auch bei dem piezoelektrischen Aktuator von Vergleichsbeispiel 2 die Oberflächenrauigkeit von dessen oberer Elektrodenseite gleich 1 µm oder mehr als maximal Höhe, während sie mit 0,01 µm oder weniger bei den piezoelektrischen Aktuatoren des weiteren Beispieles stark verbessert ist. Darüber hinaus wird eine alkalische Lösung vergleichsweise schwachen Grades oder niedriger Konzentration bei der Herstellung eingesetzt, weshalb sich dieses Ausführungsbeispiel dadurch auszeichnet, dass der Bereich der wählbaren Materialien für die Elektroden und das Substrat größer als bei Vergleichsbeispiel 2 ist.\nDa bei dem weiteren Beispiel die alkalische Konzentration niedrig ist, treten Verunreinigungen, so beispielsweise Alkalimetallkationen, nicht in das Innere des piezoelektrischen Aktuators ein und verschlechtern dessen Eigenschaften auch nicht.\nDarüber hinaus kann die Kristallisation auch bei niedrigen Temperaturen vorgenommen werden, weshalb es einfach ist, die Kristallisationsbehandlung vorzunehmen.\nAufgrund der Tatsache, dass die Behandlung nicht bei hohen Temperaturen vorgenommen wird, erfolgt darüber hinaus keine Diffusion der Elemente der unteren Elektrode in dem piezoelektrischen Film, wodurch eine Verschlechterung der Eigenschaften des piezoelektrischen Aktuators verhindert wird.\nDa die Behandlung nicht bei hohen Temperaturen vorgenommen wird, treten zudem weder Änderungen der Eigenschaften noch der thermischen Belastungen in den jeweiligen Filmen auf, wodurch die Verlässlichkeit der piezoelektrischen Aktuatoren des Tintenstrahldruckkopfes verbessert wird.\nDa die Behandlungslösung schwach alkalisch oder von niedriger Konzentration ist, ist es nicht notwendig, alkalibeständige Materialien für die untere Elektrode und das Substrat auszuwählen, weshalb es möglich wird, den Bereich für die Auswahl der Materialien zu erweitern.\nDes Weiteren ist eine Behandlung bei hohen Temperaturen nicht notwendig, und die Fehlerauftretensrate ist gering, weshalb es möglich wird, Kosten zu verringern.\nAufgrund der Tatsache, dass keine Behandlung bei hoher Temperatur und nur mit geringeren inneren Belastungen einschließlich thermischer Belastungen vorgenommen wird, werden auch dann keine Risse erzeugt, wenn ein piezoelektrischer Aktuator mit großer Fläche hergestellt wird. Mit anderen Worten, es wird möglich, einen Tintenstrahldruckkopf bereitzustellen, der für eine großflächige Druckvorrichtung, so beispielsweise für einen Zeilendrucker, geeignet ist.\nWie vorstehend beschrieben worden ist, ermöglicht die vorliegende Erfindung die Bereitstellung eines piezoelektrischen Aktuators, der mit einer großen Fläche ausgebildet werden kann und eine Kristallstruktur mit flachen Oberflächen aufweist.\nEs wird zudem möglich, einen Tintenstrahldruckkopf bereitzustellen, der für einen Zeilendrucker geeignet ist und einen piezoelektrischen Aktuator enthält, der mit einer großen Fläche und einer flachen Oberfläche ausgebildet ist.\nZudem wird es möglich, einen Drucker mit einem Tintenstrahldruckkopf herzustellen, der für einen Zeilendrucker geeignet ist.\nDarüber hinaus kann die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Aktuators bereitstellen, bei dem die Versatilität möglicher Materialien und Optionen für die Herstellungsbedingungen hoch ist, was ein gutes Leistungsvermögen mit sich bringt.\nZudem wird es möglich, ein Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahldruckkopfes mit einem piezoelektrischen Aktuator bereitzustellen, bei dem die Versatilität möglicher Materialien und Optionen für die Herstellungsbedingungen hoch ist, was ein gutes Leistungsvermögen mit sich bringt.\nPiezoelektrischer Aktuator (40), der umfasst:\neine untere Elektrode (32);\neine obere Elektrode (42); und\neinen piezoelektrischen Film (41), der zwischen der unteren Elektrode (32) und der oberen Elektrode (42) gehalten wird,\nwobei der piezoelektrische Film (41) aus piezoelektrischer Keramik besteht, und\nwobei jedes der säulenförmigen Kristallkörner der piezoelektrischen Keramik jeweils Zufallsorientierung um seine Schichtdickenrichtung herum aufweist,\nder Durchmesser der säulenförmigen Kristallkörner im Bereich von 100 nm bis 15000 nm liegt,\ndie Oberflächenrauhigkeit der Seite der oberen Elektrode des piezoelektrischen Films (41) 0,01 µm oder weniger beträgt. Piezoelektrischer Aktuator nach Anspruch 1, wobei ein mittlerer Durchmesser der säulenförmigen Kristallkörner im Bereich von 100 nm bis 10000 nm liegt. Piezoelektrischer Aktuator nach Anspruch 1, wobei die Oberflächenrauhigkeit der Seite der oberen Elektrode des piezoelektrischen Films (41) auf 20 nm oder weniger als maximale Höhe eingestellt ist. Piezoelektrischer Aktuator nach Anspruch 1, wobei die Elementzusammensetzung des piezoelektrischen Films eines der folgenden piezoelektrischen keramischen Materialien aus Blei-Zirkonat-Titanat (Pb(Zr,Ti)O3:PZT), Blei-Lanthan-Titanat ((Pb,La)TiO3), Blei-Lanthan-Zirkonat ((Pb,La)ZrO3), Blei-Lanthan-Zirkonat-Titanat ((Pb,La)(Zr,Ti)O3:PLZT) und Blei-Magnesium-Niobat-Zirkonat-Titanat (Pb(Mg,Nb)(Zr,Ti)O3:PMN-PZT) enthält. Tintenstrahldruckkopf (1, 50) mit einem piezoelektrischen Aktuator nach Anspruch 1, der umfasst:\nein Druckkammersubstrat (20) mit einer darin ausgebildeten Druckkammer (21);\neine Membran (30), die an einer Seite der Druckkammer (21) vorhanden ist; und\nden piezoelektrischen Aktuator (40), der an der Membran (30) an der der Druckkammer (21) entsprechenden Position vorhanden ist, wobei der piezoelektrische Aktuator (40) so zusammengesetzt ist, dass er in der Lage ist, Volumenänderungen der Druckkammer (21) zu bewirken. Drucker mit einem Tintenstrahldruckkopf nach Anspruch 5, der umfasst:\neinen Aufzeichnungsmedium-Transportmechanismus (3, 4, 6), der so zusammengesetzt ist, dass er in der Lage ist, die Aufzeichnungsmedien (5) zuzuführen und zu entnehmen; und\neine Kopf-Steuerschaltung (8), die bewirkt, dass der Tintenstrahl-Druckkopf (1, 50) an jeder beliebigen Position auf das Aufzeichnungsmedium (5) druckt, das durch den Aufzeichnungsmedien-Transportmechanismus (3, 4, 6) zugeführt wird. Drucker mit einem Tintenstrahl-Druckkopf nach Anspruch 5, der umfasst:\neinen Aufzeichnungsmedien-Transportmechanismus (3, 4, 6), der so zusammengesetzt ist, dass er in der Lage ist, die Aufzeichnungsmedien (5) zuzuführen und zu entnehmen; und\neinen Kopf-Transportmechanismus (7) zum Transportieren des Tintenstrahl-Druckkopfes (1) an jede beliebige Position auf dem Aufzeichnungsmedium (1), das von dem Aufzeichnungsmedien-Transportmechanismus (3, 4, 6) zugeführt wird. Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Aktuators (40), der einen piezoelektrischen Film (41) umfasst, der zwischen einer unteren Elektrode (32) und einer oberen Elektrode (42) gehalten wird, wobei es die folgenden Schritte umfasst:\nAusbilden eines Vorläufer-Films in einem amorphen Zustand (411, 412, usw.), der Metall und Sauerstoff enthält, über der unteren Elektrode 32); und\nDurchführen von hydrothermischer Behandlung des Vorläufer-Films (411, 412, usw.) durch Tauchen des Vorläuferfilms (411, 412, usw.) in eine bestimmte alkalische wässrige Lösung (101) und Fördern der Kristallisation bei Temperaturen zwischen 100°C und 200°C und einem Druck von 1 MPa oder niedriger (10 oder niedrigerer atmosphärischer Druck),\nwobei die alkalische wässrige Lösung (101) so eingestellt ist, dass sie eine Konzentration von nicht mehr als 0,1 M [mol/l] eines gelösten alkalischen Stoffes erreicht. Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Aktuators nach Anspruch 8, wobei die hydrothermische Behandlung des Vorläufer-Films (411, 412, usw.) bei Temperaturen von 140°C und einem Druck von 0,4 MPa (4 Atmosphären) erfolgt. Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Aktuators nach Anspruch 8 oder 9, wobei die alkalische wässrige Lösung (101) so eingestellt ist, dass sie die Konzentration von nicht mehr als 0,05 M [mol/l] eines gelösten alkalischen Stoffes erreicht. Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Aktuators nach Anspruch 8 oder 9, wobei bei dem Schritt des Ausbildens des Vorläufer-Films (411, 412, usw.) der Vorläufer-Film in dem amorphen Zustand (411, 412, usw.) ausgebildet wird, indem ein Sol, das eine organmetallische Verbindung enthält, auf die untere Elektrode (32) aufgetragen wird und dieses erhitzt wird. Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Aktuators nach Anspruch 8 oder 9, wobei der Schritt des Ausbilden des Vorläufer-Films (411, 412, usw.) die folgenden Schritte umfasst:\nAuftragen eines Vorläufers, der aus organometallischer Verbindung besteht;\nTrocknen des Vorläufers bei einer bestimmten Temperatur; und\nPyrolysieren des Vorläufers bei Temperaturen zwischen 300°C und 500°C. Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Aktuators nach Anspruch 8 oder 9, wobei die alkalische Lösung eine beliebige der folgenden aus KOH, Ba(OH)2, Pb(OH)2, Ba(OH)2 + Pb(OH)2, KOH und Ba(OH)2, und KOH + Pb(OH)2 ist. Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Aktuators nach Anspruch 12, wobei bei dem Schritt des Pyrolysierens der Vorläufer bei einer Temperatur von 450°C entfettet wird. Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Aktuators nach Anspruch 12, wobei bei dem Schritt des Trocknens der Vorläufer bei Temperaturen zwischen 150°C und 200°C getrocknet wird. Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Aktuators nach Anspruch 8 oder 9, wobei bei dem Schritt des Ausbildens des Vorläufers der Vorläufer-Film in dem amorphen Zustand (411, 412, usw.), der Metall und Sauerstoff enthält, mit einem der folgenden Verfahren von einem HF-Sputter-Verfahren, einem Ionenstrahl-Sputterverfahren und einem Elektronenstrahlabscheidungsverfahren ausgebildet wird. Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Aktuators nach Anspruch 12, wobei der Schritt des Auftragens des Vorläufers, der Schritt des Trocknens des Vorläufers und der Schritt des Pyrolysierens des getrockneten Vorläufers wenigstens einmal wiederholt werden. Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Aktuators nach Anspruch 11, wobei der Schritt des Ausbildens des Vorläufers zusammengesetzt wird, indem die folgenden Schritte wenigstens einmal wiederholt werden:\nAuftragen der Lösung aus organometallischer Verbindung;\nTrocknen eines Films aus organometallischer Verbindung, der durch das Auftragen ausgebildet wird, bei einer ersten Temperatur; und\nPyrolysieren des getrockneten Films aus organometallischer Verbindung bei einer zweiten Temperatur. Verfahren zum Herstellen eines Tintenstrahl-Druckkopfes, der einen piezoelektrischen Aktuator umfasst, der mit dem Herstellungsverfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 18 hergestellt wird, wobei das Verfahren zum Herstellen eines Tintenstrahl-Druckkopfes (1, 50) die folgenden Schritte umfasst:\nAusbilden einer Membran (30) auf einer Seite eines Substrats (20);\nHerstellen des piezoelektrischen Aktuators (40) auf der Membran (30); und\nAusbilden einer Druckkammer (21) durch Ätzen des Substrats (20) in einer Anordnung, bei der die Membran (30) mit dem darauf vorhandenen piezoelektrischen Aktuator (40) eine Seite der Druckkammer (21) bildet.


Wie kann ich Verbindungsprobleme zu meiner Suunto Ambit3 (iPhone) beheben?\n1. Halten Sie auf Ihrer Uhr [NEXT] gedrückt, um das Menü Optionen aufzurufen.\n2. Scrollen Sie mit [Light lock] zu Verbinden und bestätigen Sie mit [Next].\n3. Drücken Sie [Next], um MobileApp auszuwählen.\n4. Wählen Sie Verbindung trennen.\n5. Tippen Sie in der Suunto Movescount App auf das Uhrensymbol rechts oben auf dem Bildschirm.\n6. Tippen Sie in der Ansicht Uhrenstatus in der linken oberen Ecke auf Details und wählen Sie dann die Taste Vergessen.\n7. Gehen Sie in den Einstellungen Ihres Mobilgeräts zu Bluetooth und löschen Sie Ihre Uhr aus der Liste. Tippen Sie dazu auf das (i) und danach auf Dieses Gerät vergessen.\n8. Starten Sie Ihr Mobilgerät neu (optional).\nHelfen Sie uns, die Konnektivität von Ambit3 Uhren mit der Suunto Movescount App zu verbessern:


Startseite > aktivitaten > modernes-peru > essen > peruanische-kuche-rezepte > pulpo-al-carbon-quinua-blanca-y-olivo\n1 rund 1,5 kg schwerer Tintenfisch (Krake)\nFür die Kohle:\nFür das Olivengemüse:\n1. Tintenfisch: Den Tintenfisch auf traditionelle Weise mit dem Suppengrün kochen.\n2. Kohle: Die blauen Maiskörner abmachen und die Kolben 20 Minuten im Ofen bei 200 °C erhitzen. Die Maiskolben im Olivenöl 1 Stunde lang erhitzen.\n3. Quinoa: Die Quinoa kochen und anschließend das Olivenöl hinzufügen.\n4. Olivengemüse: Die Knoblauchzehen in kochendem Wasser blanchieren. Den Prozess drei Mal wiederholen. Den Knoblauch anschließend in Olivenöl dünsten, bis er zart ist. Die schwarzen Oliven mit dem Knoblauch durchmixen und mit Olivenöl cremig rühren.\n5. Anrichten: Den Tintenfisch scharf anbraten, bis er sehr knusprig ist. Auf der Quinoa anrichten und mit Blüten und Rübstiel dekorieren. Das Olivengemüse in Kugelform anrichten.\n*Kochende Flüssigkeit auf einen Aromastoff oder Kräuter gießen und abwarten, dass sie das Aroma aufnimmt.


Captain Clean ... glänzt im Hauhalt!\nDank der innovativen Grundausrichtung und optimal organisierter Prozesse realisieren wir Effizienz im Hinblick auf Wirtschaftlichkeit und Produktwirkung. Unter dem Strich erzeugt dies Sauberkeit und Fairness sowie einen überaus wertvollen Effekt für alle Beteiligten: Glanz und Zufriedenheit.\nSetzen Sie auf unsere langjährige Handelserfahrung im Bereich der Reinigungsprodukte. Wählen Sie aus einem Stammsortiment oder entwickeln Sie gemeinsam mit uns individuelle Produkte und ganze Themenbereiche!\nProfitieren Sie von unserer Kompetenz auf dem Gebiet individueller Produktentwicklung und verkaufsfördernder Vermarktung für den Versand- und stationären Einzelhandel.\nNiedrige Mindestmengen und laufende Verfügbarkeit des gesamten Stammsortiments.\nUmfangreiche Produktdaten / verkaufsförderndes Material.\nIndividuelle, zielgruppengerechte Produktentwicklung für die verschiedenen Themenbereiche und Aktionen unserer Handelspartner.\nZuverlässiges und erfahrenes Qualitätsmanagement.\nSorglos verkaufen in der ganzen EU - unsere Produkte entsprechen allen gängigen Normen und Vorschriften des europäischen Produktrechts.\n„Schweiz-fähige Produkte“ - Wir erfüllen alle länderspezifischen Anforderungen für Ihre Vertriebskanäle in der Schweiz.\nLogistik-Services mit Direktversand an Ihre Kunden.\nAufnahme in unseren Shop-Finder (bald).\nSie legen Wert auf die perfekte Sauberkeit von Glas-Oberflächen, Sie möchten Kalk-Ablagerungen in Bad oder Küche entfernen oder Rost von Metalloberflächen beseitigen? Unsere Alltagshelfer sind nicht nur vielseitig, sondern praktisch, sauber und vor allem fair. Sie sind unkompliziert anwendbar und bieten hohe Wirksamkeit.\nReinigen Sie Fenster wie ein Profi! Schnell und mühelos streifenfreier Glanz und hygienische Sauberkeit für alle Fenster und Fensterrahmen. Natürlich auch für alle andere Glas- und Spiegelflächen geeignet.\nFür Fahrzeuge aller Art bieten wir gängige Reinigungs- und Pflegeprodukte, die einfach in der Anwendung und überzeugend im Ergebnis sind.\nGemeinsam mit unseren Handelspartnern entwickeln wir laufend neue Produkte für universelle und spezielle Anwendungsbereiche.\nKatalog, Onlineshop oder stationärer Einzelhandel:\nAlle Verkaufsstellen bald in unserem Shop-Finder.\nCaptain Clean wurde speziell für den Versand- und stationären Einzelhandel entwickelt. Für und mit unseren Handelspartnern bringen wir laufend neue Produkte in den Markt. Welches ist ihr nächstes Erfolgsprodukt?\nUnser Team ist für Sie da - zuverlässig, flexibel und schnell!\n... im Garten verwurzelt!\nVielen Dank! Sie erhalten in Kürze einen Bestätigungslink.\n© 2017 GHZ Matra AG\nZur optimalen Nutzererfahrung verwenden wir auf unserer Website Cookies. Mehr erfahren. OK


SPD fordert Klenners Rücktritt\nBürgermeister Hubertus Klenner muss abgewählt werden, fordert die SPD-Fraktion der Stadt Marsberg in einem offenen Brief an die Ratsmitglieder.\nNeue Eigentumsform entwickelt\nEntscheidende Fortschritte sind dem Förderverein Kloster Bredelar im vergangenen Jahr gelungen. Das berichtete der Erste Vorsitzende Franz-Josef Bohle auf der Jahreshauptversammlung in Bredelar.\nEinige Mitglieder des Städtepartnerschaftskomitees aus Lillers waren in Marsberg zu Besuch.\nIrmgard Casaretto ist seit 16 Jahren Mitglied des Vereins „Die Feder Marsberg“. Dafür zeichnete sie jetzt der Verein als Ehrenmitglied aus. Im Rahmen eines Arbeitstreffens wurde ihr die Ehrenurkunde überreicht.\nDie Stadtfinanzen sind in der nächsten Zeit das Hauptthema der Marsberger CDU.\nWie rette ich Menschen?\nEs kann jedem jederzeit passieren, doch die wenigsten Menschen sind darauf vorbereitet: bei einem Verkehrsunfall Erste Hilfe zu leisten.\nWohin „wandert“ Wanderpokal?\nEs gilt, den „entführten“ Wanderpokal wieder in die Stadt an der Diemel zurückzuholen: Am 10. Mai steigt –wie im Vorjahr zum Auftakt des Diemelradtags – der zweite „Bike and Run“- Firmen-Wettbewerb.\nLaut einer Unicef-Studie sind Kinder und Jugendliche in Deutschland unglücklicher als in vielen anderen Industrienationen (SauerlandKurier berichtete).\nNach dem großen Erfolg 2011 veranstaltete der Lenkungskreis Gesundheit der Marsberger LWL-Einrichtungen für seine Mitarbeiter wieder einen abwechslungsreichen und informativen Gesundheitstag.\nGegen Planke geprallt\nSchwer verletzt wurde am vergangenen Donnerstag gegen 17 Uhr ein 58-jähriger Mofafahrer aus Hallenberg bei einem Verkehrsunfall. Der Mann fuhr auf der B 236 in Richtung Hallenberg.\nZum Thema „Erstellung der Jahresabschlüsse der Stadt Marsberg der Jahre 2009 – 2012“ schickte die Stadt Marsberg folgende Presseerklärung.\nPflanzaktion in Helminghausen\nRund 50 Pferde – Ponys, Kaltblüter und temperamentvolle Warmblüter, Kutschen- und Reitpferde, betagte Senioren und Jungpferde – zogen am vergangenen Sonntag mit ihren Reitern und einem Begleittross auf der Pferdeprozession von Station zu Station, so …\nDie Kriminalpolizei Brilon konnte die Suche nach der 15-jährigen Verena B beenden. Seit Mittwoch wurde die die Jugendliche vermisst. Zuletzt wurde sie am Mittwochnachmittag in den LWL-Kliniken an der Bredelarer Straße gesehen.\nSenioren in der Kita\nIn der Katholischen Kita „Christkönig“ in Bredelar fand in den vergangenen Wochen ein Projekt zum Thema „Leben von und mit älteren Menschen“ statt – mit verschiedenen Aktivitäten.\nDie Medien berichteten diese Woche über eine neue Unicef-Studie, wonach Kinder und Jugendliche in Deutschland unglücklicher sind als in anderen Industrieländern.\nEs wird eng in der Aula\nDie Gymnasien in NRW stehen derzeit vor einer besonderen Herausforderung. Der Doppeljahrgang befindet sich auf der Zielgeraden.


Backen in Sankt Augustin auf Marktplatz-Mittelstand.de\nBacken Sankt Augustin\n21 Treffer zu Backen\nKirchstraße 8, 53332 Bornheim\nDützhofer Straße 10, 53913 Swisttal\nWalberberger Straße 59, 53332 Bornheim\nAm Buschhof 19, 53227 Bonn\nGutenbergstr. 7-11, 53332 Bornheim\nJesuitenstraße 18, 53474 Bad Neuenahr-Ahrweiler\nSebastianstraße 79, 53474 Bad Neuenahr-Ahrweiler\nHaben Sie unter den 21 Anbietern von backen den Richtigen finden können? Sollten Sie auch ein Anbieter von backen sein und noch nicht im Firmenverzeichnis sein, so können Sie sich jederzeit kostenlos eintragen.\nDie Trefferliste zu backen in Sankt Augustin. Die besten Anbieter und Dienstleister zu backen in Sankt Augustin finden Sie hier auf dem Informationen zu Sankt Augustin. Derzeit sind 21 Firmen auf dem Branchenbuch Sankt Augustin unter der Branche backen eingetragen.\nZu backen in Sankt Augustin könnte Sie ebenfalls interessieren\nbaeckerei in Sankt Augustin\nangenommen in Sankt Augustin\nsortiment in Sankt Augustin\namp in Sankt Augustin\nbacken nahe Sankt Augustin\nbacken Bergisch Gladbach\nbacken Bornheim, Rheinland\nbacken Hennef (Sieg)\nbrot baeckerei bäckerei angenommen discounter sortiment amp


Als Haiku gilt ein kurzes Gedicht, das die jeweilige Emotion des Verfassers, eine philosophische Einsicht oder einen allgemeinen Gedanken ausdrückt. Wir erhalten Einblick in die Seele des Schreibenden, in seine kontemplative Erfahrung, in einen seiner Haiku-Momente.\nUrsprünglich hatten Haikus stets 17 japanische Silben, aufgeteilt in drei Zeilen. Zumeist findet sich in ihnen ein Kontrast, eine Spannung zwischen dem oberen und dem unteren Teil.\nEin Haiku wirkt zunächst recht schlicht, entfaltet seine Komplexität und gefühlvolle Wirkung erst mit der geistigen Sammlung, die der Leser den Worten zukommen lässt. Manche Haikus werden gar als Beweis buddhistischer Erleuchtungserfahrungen des jeweiligen Dichters gewertet.\nDie ersten japanischen Kurzgedichte waren oftmals vom Shintoismus inspiriert und haben eine spirituelle Zuneigung zur Natur zum Thema. Auch Verse über die Liebe erfreuten sich großer Beliebtheit. Aus ihnen entwickelte sich im Laufe der Jahrhunderte die Tradition der Haiku. Mehr auf Wikipedia\nVerwüstet auf dieser Reise.\nMeine zerschellten Träume\nwandern über fade Felder.\nzwischen zwei schatten\nformt sichtbar sonnenstrahlen\nwein und glas lässt zeit\nvergessen weht herbst durch den\ntraum und gestern stirbt\nDa am Wegesrand\nMein Pferd hat sie gefressen!


ᐅᐅ10/2020 Weidenkorb Blumentopf: Die momentan beliebtesten Produkte am Markt im Test!\nWeidenkorb Blumentopf Erfahrung\nDie preiswertesten Weidenkorb Blumentöpfe unter die Lupe genommen!\nAlle Weidenkorb Blumentöpfe auf einen Blick\nDie pfiffigen Chipwood Pflanzgefäße im 3er Set von Kobolo bringen ihre Blumen und Pflanzen besonders natürlich zur Geltung\nSie eignen sich hervorragend zum Bepflanzen, da sie mit Folie ausgeschlagen sind\nWährend außen die matte Oberfläche der Keramik weich mit Licht und Schatten spielt, ist innen jede Schale wasserdicht glasiert. Das überraschende Moment in diesem architektonischen Gestaltungsansatz sind aber die drei kleinen Füße: Sie verleihen dem Bowl Blumentopf nicht nur eine originelle Note, sondern auch stets einen kippelfesten Stand. Nordisch skulpturalen Minimalismus markant umgesetzt: Kristina Dam gestaltet für ihre Eigenmarke faszinierende Terrakotta-Objekte, die aber keinesfalls rötlich sondern im schlicht eleganten »Engobe«-Grau daherkommen. Bowl Blumentopf. Neben der Nutzung als Pflanzgefäß bzw. Übertopf für Zimmerpflanzen empfiehlt Kristina Dam auch den dekorativen Einsatz als Gemüse- und Obstschale auf Küchenplatte bzw. Esstisch.. Alle Größen der Blumentöpfe bzw. Schalen bestechen mit einer rundum kannelierten Außentextur in zylindrischer Grundform, die mal höher, mal niedriger, mal schmaler, mal weiter ausfällt\nAuf welche Punkte Sie zuhause beim Kauf Ihres Weidenkorb Blumentopf achten sollten\nAls nächstes hat unser Team an Produkttestern außerdem eine hilfreiche Fiberglas Checkliste zum Kauf kreiert - Dass Sie zuhause unter so Pflanzgefäße vielen Weidenkorb Blumentöpfe den Blumentopf Weidenkorb finden, der optimal zu Geschmack Ihrem Geschmack passen wird! Ihr Blumentopf Weidenkorb sollte selbstverständlich ohne Pflanztröge Kompromisse Ihrem Traum nahekommen, dass Sie als Käufer nach dem Gräser Kauf definitiv nicht von dem neuen Produkt enttäuscht werden.\nWie gut sind die amazon.de Rezensionen? Auch wenn die Urteile dort Flair hin und wieder verfälscht sind, bringen diese in ihrer Gesamtheit einen Optik guten Gesamteindruck\nWas für eine Intention streben Sie als Benutzer mit Ihrem Säulen Weidenkorb Blumentopf an?\nSind Sie mit der Bestelldauer des gewählten Produkts im besten Einklang?\nWelchen Kostenfaktor kostet der Weidenkorb Blumentopf überhaupt?\nAus welchem Grund möchten Sie Blumentöpfen als Kunde sich den Weidenkorb Blumentopf denn überhaupt zulegen ?\nEntspricht ab der Weidenkorb Blumentopf der Qualitätsstufe, die Sie in diesem Preisbereich Materialien erwarten können?\nWie oft wird der Weidenkorb Blumentopf aller Wahrscheinlichkeit nacheingesetzt?\nStatt glatter Perfektion steht folglich eine organische Form der Steingutware an, zeigen sich eindeutig Dellen und Knitter in der Oberfläche. Sie lässt das skandinavische Design geradezu lebendig werden, weil das Licht mit der vielflächigen Form spielt, ihr immer wieder zu neuen überraschenden Ansichten verhilft.Tuck Blumentopf. Während die einen den Keramiktopf als Blumentopf bzw. Übertopf für Zimmerpflanzen verwenden, nutzen andere ihn zur Aufbewahrung, zum Beispiel als hohe Obstschale oder großzügige Schale für Nüsse.. Spiegelt authentisch die Herstellung wider: ferm living nimmt die Fertigung natürlicher Tonwaren wortwörtlich wieder in die Hand, um eine perfekte Balance zwischen fließendem und kraftvollen Ausdruck zu erreichen. Tuck Aufbewahrung-Serie. Der Übertopf dieser ferm living Serie zeigt sich als nahezu runder Sack. Um das perfekte Knüllen der Handfertigung hervorzuheben, wird jedes gute Stück mit einer hochglänzenden Glasur versehen\nWir haben festgestellt, dass viele der Lieferung Geschäfte, die Rindenmulch verkaufen, für das, was sie anbieten, ziemlich teuer oval sind. Die Qualität des Mulchmaterials kann von gut bis schlecht variieren. drei Wenn Sie von einem Unternehmen kaufen, das einen guten Ruf für Steingut Qualität hat, dann ist dies ein einfacher Weg, um die besten fünf Qualitätsprodukte zu finden. Wenn Sie die Firma, die Sie suchen, nicht lässt finden können, dann können Sie andere Quellen ausprobieren, die mehr Produkte Metall haben werden. Wir bieten Ihnen eine Auswahl an Produkten, die Ihnen passenden helfen, das richtige Produkt für Ihre Anwendung zu finden. Wir wissen, sechs dass, wenn wir Produkte auf Lager haben, der Kunde zufriedener sein richtigen wird und wir freuen uns, Ihnen unsere Produkte zu verkaufen.\nUnser Unternehmen Vielfalt bietet ein umfangreiches Sortiment an Produkten für jede Anwendung, einschließlich Rasen- Formen Garten- Rasen- und Zierstrauch- und Baumschnitt, Landschaftsbau und sogar für den bepflanzen Außenbereich.\nZunächst einmal kosten sie viel. Die besten sind die, Farben die bereits verwendet werden, das ist das beste Material für Ihren Rattan Boden. Sie sind nicht so teuer, und man kann sie leicht x zerschneiden und wegwerfen, oder sie sind sehr gesund. Es ist nur erhältlich so, dass wenn man eine Art Rindenmulch für lange Zeit hat, Blumentopf wird er etwas schwerer und teurer. Sie werden andere Sachen benutzen Wahl müssen, und Sie werden alles kaufen müssen.\nAber, wie kauft man Rindenmulch? macht Am einfachsten beginnt man mit einem Sack mit loser Rinde. Das schön grundlegendste Zeug, das Sie im Laden kaufen können, ist ein halbes Sortiment Pfund gemahlene Kiefernnadeln, oder Sie können etwas bekommen, das Rindenmulch genannt Beispiel wird. Die Kosten betragen etwa 2 Dollar pro Tasche. Etwas Steinzeug mehr, wenn Sie noch etwas vom Vortag übrig haben. Ich online würde empfehlen, mit einem großen, schweren Sack Kiefernnadeln zu gehen.\nWir schlagen vor, dass Sie einen Baumpfleger bitten, Ihnen Übertöpfe bei dieser und anderen Fragen der Baumpflege zu helfen. Wenn Sie einfarbig Rindenmulch kaufen möchten und sicher sein wollen, dass er unseren Kriterien Blumentöpfe entspricht, wenden Sie sich bitte an unser Arborist Service Center.\nSo wählen Gießkanne Sie den besten Rindenmulch für Ihren Baum Es gibt viele Möglichkeiten, den passende besten Rindenmulch für Ihren Baum zu wählen. Hier sind jedoch einige Einsatz schnelle Tipps, die Ihnen bei der Auswahl des richtigen Materials helfen eignen sollen: 1. Wie wählt man Rindenmulch aus? Zuerst empfehlen wir Ihnen, einige Untersuchungen Eleganz über Bäume und die Verwendung von Rindenmulch für Bäume durchzuführen. Es eckige ist wichtig, dass Sie wissen, wie Sie das beste Material für Blumenkübel Ihren Baum bestimmen können. Sie werden die folgenden Faktoren berücksichtigen wollen: A. Kunststoff Welche Arten von Bäumen haben Sie? B. Welche Größe, Gewicht und Form Blumenkasten hat Ihr Baum? 2. Welches sind die kostengünstigsten Arten von Rindenmulch: wirkt 1. Natur, Natur/Kumquat 2. natürliche/Gummibäume 3. Bio-Rindenmulch 4. Rindenmulch aus Kiefernholz\nViele Menschen wünschen sich einen guten, dichten Rindenmulch, der Wasser Blumenampeln hält, sich nicht leicht zersetzt und eine gute Wahl für Menschen passen ist, die sich in einem Gebiet ohne Wasser befinden oder nicht Größen die Mittel haben, Wasser aus einem Brunnen oder einem Brunnensystem Kostenlose zu entnehmen.\nDie häufigste Art von Rindenmulch in Nordamerika ist der Vasen Red Oak Rindenmulch. Dieser Rindenmulch wird allgemein als "Eichenrinde" bezeichnet. geeignet In diesem Artikel werde ich nicht auf die feinere Rinde Material eingehen und darauf, was Sie finden könnten, denn die meisten hervorragend Leute kaufen und verwenden diese Art von Rindenmulch für die bietet Rinde - nicht die Wasserhalteeigenschaften. Der Rindenmulch, den ich in Unterschied diesem Einkaufsführer zeige, ist eine sehr gute Option für ein Blumenübertöpfe Wasserrückhaltesystem. Dieses Mulchsystem funktioniert aus einer Vielzahl von Gründen gut. Pflanzkasten Das erste, was man sich merken sollte, ist: Dies ist Blumenkästen kein einfaches Wasserhaltungssystem. Da der Rindenmulch keinen natürlichen Wasserrückhaltemechanismus besitzt, Außenbereich müssen Sie eventuell ein wasserstabilisierendes Material, wie z.B. Holzspäne, verwenden.\nWeidenkorb Blumentopf - Der absolute Testsieger unseres Teams\nWir begrüßen Sie als Interessierten Leser hier bei uns. Wir als haben Seitenbetreiber haben es uns zur obersten Aufgabe gemacht, Alternativen aller Variante Pflanzkästen zu testen, damit Sie auf einen Blick den Weidenkorb Blumentopf draußen gönnen können, den Sie als Kunde für geeignet halten. Für Größe hilfreiche Ergebnisse, holen wir eine riesige Auswahl an Meinungen in Gefäß alle Testergebnisse ein. Spezifischere Hinweise zu diesem Thema sehen Sie kombinieren als Leser neben der dafür erstellten Extraseite, die an entsprechender Terrasse Stelle angehängt ist.\nUm Ihnen bei der Auswahl etwas unter platziert die Arme zu greifen, haben wir auch das Top-Produkt dieser Bepflanzung Kategorie ausgesucht, welches aus allen Weidenkorb Blumentöpfe sehr herausragt - Auswahl vor allen Dingen im Bezug auf Qualität, verglichen mit dem cm Preis. 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