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Patent US7075726 - Projection optical system and projection exposure apparatus - Google Patents\nA projection optical system projects an image of an object onto an image plane, and includes a first imaging optical system for forming an image of the object, and a second imaging optical system for re-imaging the image upon the image plane, wherein the first and second imaging optical systems are disposed...http://www.google.com/patents/US7075726?utm_source=gb-gplus-sharePatent US7075726 - Projection optical system and projection exposure apparatus\nPublication number US7075726 B2\nApplication number US 09/784,021\nAlso published as US6995918, US7092168, US7239453, US20020024741, US20050088761, US20060061879, US20060238883\nPublication number 09784021, 784021, US 7075726 B2, US 7075726B2, US-B2-7075726, US7075726 B2, US7075726B2\nPatent Citations (33), Referenced by (33), Classifications (30), Legal Events (4)\nUS 7075726 B2\na second imaging optical system for re-imaging the image upon the image plane; and\na field optical system disposed between said first imaging optical system and said second imaging optical system, for projecting a pupil of said first imaging optical system onto said second imaging optical system, said field optical system including a first field mirror unit having a first field mirror, a second field mirror unit having a second field mirror, and one positive lens disposed adjacent the image plane side of said first mirror.\n2. A projection optical system according to claim 1, wherein said first imaging optical system has a magnification β which satisfies a relation |β|≧1.\n10. A projection optical system according to claim 1, wherein the distance LM1 satisfies a relation 0.5<OIL/(LM1+2×LM2)<20, where LM2 is a paraxial distance between said first and second mirrors, and OIL is a paraxial distance along the optical path, from the object to the image defined by said first imaging optical system, wherein LM1 is a paraxial distance between the object and said first mirror, and LM2 is a paraxial distance between said first and second mirrors.\nprinting a device pattern on a wafer by exposure, using a projection exposure apparatus as recited in claim 20; and\n23. A projection optical system according to claim 1, wherein said second field mirror unit includes said second field mirror and a lens.\na first imaging optical system for forming a first intermediate image of the object, said first imaging optical system including (i) a first lens unit having a positive power, (ii) a first optical unit having a first mirror for reflecting and collecting abaxial light from the object, (iii) a second optical unit having a second mirror for reflecting light from said first mirror to the image plane side, with which the abaxial light is caused to pass an outside of an effective diameter of said first mirror, and (iv) a second lens unit having a negative power and being disposed between said first and second mirrors;\na second imaging optical system for re-imaging a second intermediate image upon the image plane; and\na field optical system disposed between said first imaging optical system and said second imaging optical system, for projecting a pupil of said first imaging optical system onto said second imaging optical system and for forming the second intermediate image of the object, said field optical system including a first field mirror unit having a first field mirror with a concave surface, and a second field mirror unit having a second field mirror with a concave surface.\n25. A projection exposure apparatus for projecting a pattern of a mask onto a substrate through a projection optical system as recited in claim 24.\nprinting a device pattern on a wafer by exposure, using a projection exposure apparatus as recited in claim 25; and\n27. A projection optical system for projecting an image of an object onto an image plane, comprising:\na second imaging optical system for re-imaging the intermediate image upon the image plane; and\na field optical system disposed between said first imaging optical system and said second imaging optical system, for projecting a pupil of said first imaging optical system onto said second imaging optical system, said field optical system including a first field mirror unit having a first field mirror, and a second field mirror unit having a second field mirror,\nwherein said first optical unit has a magnification BGM1, which satisfies a relation −1.2<1/BGM1<0.2.\n28. A projection optical system according to claim 27, wherein said first imaging optical system, said second imaging optical system and said field optical systems are disposed along a common straight optical axis.\nprinting a device pattern on a wafer by exposure, using a projection exposure apparatus as recited in claim 29; and\n31. A projection optical system for projecting an image of an object onto an image plane, comprising:\nwherein a relation 0.45<LFM1/LFM2<0.8 is satisfied, where LFM1 is a distance between said second field mirror and said first field mirror, and LFM2 is a distance between said second field mirror and the image plane.\n32. A projection optical system according to claim 31, wherein said second field mirror unit includes said second field mirror and a lens.\nprinting a device pattern on a wafer by exposure, using a projection exposure apparatus as recited in claim 33; and\n35. A projection optical system for projecting an image of an object onto an image plane, comprising:\na second imaging optical system for re-imaging the intermediate image upon the image plane;\na field optical system disposed between said first imaging optical system and said second imaging optical system, for projecting a pupil of said first imaging optical system onto said second imaging optical system, said field optical system including a first field mirror unit having a first field mirror, a second field mirror unit having a second field mirror, and a field lens unit having a positive power,\nwherein the field lens unit is disposed between the first mirror and the second field mirror.\n36. A projection exposure apparatus for projecting a pattern of a mask onto a substrate through a projection optical system as recited in claim 35.\nprinting a device pattern on a wafer by exposure, using a projection exposure apparatus as recited in claim 36; and\n(19) A projection optical system according to any one of Items (9) to (18), wherein the distance LM1 satisfies a relation 0.5<OIL/(LM1+2×LM2)<20 where LM2 is a paraxial distance between said first and second mirrors, and OIL is a paraxial distance along the optical path, from the object to the image defined by said first imaging optical system\n−0.5<BG 2<−0.05 (1)\n−40.0<BG 1<−0.5 (2)\nPf+P 2>0 (3)\n0.6<e/LM 1<2.5 (4)\n0.5<OIL/(LM 1+2×LM 2)<20 (5)\n0.2<LM 2/LM 1<0.95 (6)\n0.15<LM 1/L<0.55 (7)\n−2.0<1/BGM 1<0.4 (8)\n−40.0<BG 1<−0.9 (9)\n0.8<e/LM 1<1.5 (10)\n0.6<OIL/(LM 1+2×LM2)<20 (11)\n0.25<LM 1/L<0.55 (12)\n−1.2<1/BGM 1<0.4 (13)\n0.45<LFM 1/LFM 2<0.8 (14)\nFIG. 10 shows longitudinal and transverse aberrations of this example, and structural specifications of a numerical example are shown in Table 3. The aberrations in the drawing concern the base wavelength 157 nm ±2 pm.\nThe shape of an aspherical surface can be given by the following equation: X = H 2 η 1 + ( 1 - ( 1 + k ) · ( H η ) 2 ) 1 2 + A · H 4 + B · H 6 + C · H 8 + D · H 10 + E · H 12 + F - H 14 + G · H 16 + …\n1 989.392 18.000 1.56000\n2 −3595.508 1.697\n7 −185.804 −7.879 M1\n10 1428.922 324.390 M2\ni K  A  B\n2 0.000000e+000 3.268074e−008 −6.656739e−012\n4 0.000000e+000 −5.945159e−008 9.367805e−012\n5 0.000000e+000 −1.045454e−008 9.094085e−013\n7 0.000000e+000 −1.020658e−008 −2.127267e−013\n9 0.000000e+000 −1.045454e−008 9.094085e−013\n12 0.000000e+000 1.276943e−008 −3.269379e−014\n13 0.000000e+000 −1.177280e−007 −9.735382e−012\n16 0.000000e+000 7.415847e−008 −1.533594e−011\n18 −2.765242e−001 −4.548406e−009 8.093119e−012\n20 −3.452390e+000 −1.157411e−007 −3.193404e−011\n22 0.000000e+000 1.441342e−007 1.875541e−011\n24 5.937621e−001 −2.497358e−007 −8.672718e−011\ni C  D  E\n2 1.084352e−016 −1.466501e−020 2.506755e−024\n4 −3.675872e−016 1.878106e−020 −1.827522e−024\n5 4.644093e−017 6.202292e−019 −1.963400e−022\n7 −2.970263e−017 1.066496e−019 −2.877088e−023\n9 4.644093e−017 6.202292e−019 −1.963400e−022\n12 −1.148753e−018 1.871030e−022 −9.175707e−027\n13 −5.058594e−016 −7.794080e−020 1.160369e−023\n16 2.908683e−015 −1.312466e−019 −2.557773e−022\n18 −1.772233e−015 −2.169524e−018 3.623462e−022\n20 −1.695026e−015 3.936837e−018 2.639407e−022\n22 8.365199e−015 −6.884476e−018 7.408468e−021\n24 −1.119851e−014 −1.058646e−017 1.061653e−020\ni F  G\n2 −9.840963e−029 0.000000e+000\n4 7.013708e−029 0.000000e+000\n5 2.716627e−026 0.000000e+000\n7 3.146892e−027 0.000000e+000\n9 2.716627e−026 0.000000e+000\n12 1.629370e−031 0.000000e+000\n13 −1.219551e−027 0.000000e+000\n16 5.424698e−026 0.000000e+000\n18 −1.873086e−025 0.000000e+000\n20 −5.908244e−025 0.000000e+000\n22 −4.850248e−025 0.000000e+000\n24 −1.104395e−023 0.000000e+000\n1 297.627 19.775 1.56000\n2 −1115.696 328.484\n5 −203.139 −22.180 M1\n8 0.000 365.344 M2\n1 0.000000e+000 1.372961e−008 3.473252e−013\n3 0.000000e+000 2.151239e−008 9.541648e−012\n5 0.000000e+000 4.532898e−009 1.823606e−012\n7 0.000000e+000 2.151239e−008 9.541648e−012\n10 0.000000e+000 5.040814e−010 2.625973e−013\n11 0.000000e+000 −5.072499e−009 1.389868e−013\n14 0.000000e+000 3.310157e−008 2.186614e−012\n17 0.000000e+000 1.858529e−007 1.966297e−011\n20 0.000000e+000 −1.667572e−007 −3.379925e−011\n22 0.000000e+000 −4.993819e−008 7.233187e−012\n1 −3.195720e−016 9.094243e−020 −1.434764e−023\n3 4.776084e−016 7.380865e−020 −2.063590e−023\n5 1.222571e−016 1.631434e−020 −8.711867e−025\n7 4.776084e−016 7.380865e−020 −2.063590e−023\n10 −1.989714e−017 9.422664e−022 −2.700833e−026\n11 −1.647184e−017 3.468047e−022 3.873194e−028\n14 3.087404e−016 −3.918557e−020 1.130858e−023\n17 2.828536e−015 2.203369e−019 1.188890e−022\n20 7.374563e−015 −5.503285e−019 1.402677e−023\n22 −2.042203e−015 3.653495e−020 −2.309114e−022\n1 1.206555e−027 −4.210407e−032\n3 4.825958e−027 −5.593776e−031\n5 2.964757e−028 1.525109e−033\n7 4.825958e−027 −5.593776e−031\n10 4.650685e−031 −4.262218e−036\n11 −2.799981e−031 4.425078e−037\n14 −1.107497e−027 6.460332e−032\n17 −2.552801e−026 7.612208e−030\n20 2.115981e−027 −8.027962e−031\n22 −5.309629e−026 5.804270e−030\n1 −593.057 25.376 1.56000\n2 −320.774 1.000\n7 −178.361 −9.159 M1\n10 1622.171 306.230 M2\n2 −7.252390e+000 −4.701121e−009 −6.090134e−013\n4 0.000000e+000 −4.766887e−008 2.462294e−012\n5 0.000000e+000 2.116808e−009 −1.611319e−013\n7 0.000000e+000 −6.712584e−009 −8.093063e−013\n9 0.000000e+000 2.116808e−009 −1.611319e−013\n10 0.000000e+000 7.054971e−010 2.418241e−014\n12 0.000000e+000 4.707819e−009 −2.189427e−014\n13 0.000000e+000 8.092928e−010 −6.294695e−014\n15 0.000000e+000 −1.344505e−007 1.853632e−012\n18 5.660213e+000 2.805319e−008 −5.963359e−011\n20 −5.463452e−001 −1.335770e−007 −8.743479e−013\n22 −1.401348e−000 −4.899966e−008 2.339115e−011\n24 0.000000e+000 3.153044e−007 −8.376396e−012\n26 6.648275e−001 −1.189888e−007 6.781855e−012\n2 −1.267089e−017 8.029170e−022 −4.085486e−025\n4 −9.893034e−017 6.719603e−021 −2.271393e−025\n5 1.025091e−015 5.091150e−019 −1.657547e−023\n7 2.887582e−017 9.870124e−020 −1.029026e−023\n9 1.025091e−015 5.091150e−019 −1.657547e−023\n10 1.839107e−018 −7.963029e−023 4.433871e−028\n12 1.973642e−018 −1.068343e−023 −2.065745e−027\n13 1.464461e−018 1.870403e−023 −3.513181e−027\n15 1.650439e−016 −1.056871e−020 −1.436354e−025\n18 5.837059e−017 8.483480e−019 −2.758585e−022\n20 4.818362e−015 2.569222e−020 −2.770624e−022\n22 −1.429818e−014 −1.677957e−018 1.983183e−021\n24 1.928547e−014 −5.705932e−018 −4.390899e−023\n26 −1.430235e−014 3.880028e−018 3.573891e−021\n2 1.924786e−029 0.000000e+000\n4 1.177205e−030 0.000000e+000\n5 6.847636e−027 0.000000e+000\n7 8.654760e−028 0.000000e+000\n9 6.847638e−027 0.000000e+000\n10 2.201312e−032 0.000000e+000\n12 5.118720e−032 0.000000e+000\n13 7.676071e−032 0.000000e+000\n15 −9.351577e−030 0.000000e+000\n18 2.006196e−026 0.000000e+000\n20 −8.035716e−026 0.000000e+000\n22 −1.380364e−025 0.000000e+000\n24 5.287086e−026 0.000000e+000\n26 2.151859e−025 0.000000e+000\n1 2240.555 47.000 1.56000\n2 −312.927 1.000\n5 −819.717 −140.769 M1\n6 277.686 889.917 M2\n2 0.000000e+000 3.706794e−008 −5.144019e−012\n4 0.000000e+000 3.878903e−009 7.795334e−012\n5 0.000000e+000 8.445174e−009 3.143938e−011\n6 0.000000e+000 −2.863861e−009 −5.305438e−015\n7 0.000000e+000 −3.549063e−009 −1.408264e−013\n10 0.000000e+000 −5.841539e−009 −2.405096e−013\n12 0.000000e+000 −5.913583e−009 −4.3401650e−014\n14 0.000000e+000 −8.534527e−008 −8.202426e−012\n2 6.973326e−017 −7.330968e−021 7.818988e−025\n4 −6.781754e−016 5.265168e−020 −3.124244e−024\n5 −2.614011e−014 2.098089e−017 −1.054713e−020\n6 1.717130e−018 −3.511472e−023 −1.813806e−028\n7 1.931760e−019 5.091573e−023 −4.316781e−027\n10 4.288890e−018 −7.434790e−022 2.311772e−026\n12 −1.651705e−017 −1.294295e−022 1.623655e−026\n14 −7.411706e−016 −1.255475e−020 −2.566756e−024\n2 −1.099803e−029 0.000000e+000\n4 7.960469e−029 0.000000e+000\n5 2.300997e−024 0.000000e+000\n6 5.037276e−032 0.000000e+000\n7 8.877331e−032 0.000000e+000\n10 −5.842989e−031 0.000000e+000\n12 −3.143454e−030 0.000000e+000\n14 −3.831608e−028 0.000000e+000\n4 −238.848 9.987\n5 253.725 25.649 1.56000\n6 544.261 258.577\n11 0.0 (stop) 11.356 β = ⅙\n13 −153.114 45.670 L = 1005 mm\n17 80.232 7.123 NA = 0.6\n1 1.497949e+000 5.904355e−008 4.604214e−012\n2 3.802520e+000 −2.958077e−008 −4.331805e−013\n3 0.000000e+000 −1.396795e−008 −2.011294e−013\n6 0.000000e+000 −5.231213e−009 −3.200408e−013\n8 0.000000e+000 2.948640e−008 −6.137758e−012\n10 0.000000e+000 1.391954e−007 −1.481745e−016\n13 0.000000e+000 9.888863e−008 1.6768743−011\n14 0.000000e+000 −1.684359e−009 −1.027341e−011\n16 0.000000e+000 −1.178575e−007 4.129293e−012\n19 0.000000e+000 1.390299e−008 −3.249927e−010\n20 0.000000e+000 2.089833e−007 −3.169110e−010\n1 −6.840591e−016 −4.605410e−019 4.455246e−022\n2 −3.956055e−017 1.351662e−020 −3.311509e−024\n3 9.452577e−019 3.436796e−022 −1.264170e−026\n6 −7.768341e−018 3.291916e−022 2.676252e−027\n8 −5.828601e−016 −1.299053e−019 1.266055e−023\n10 −9.65666e−016 2.464643e−020 6.808416e−024\n13 −3.517423e−016 1.878125e−019 −1.242980e−023\n14 −6.807870e−016 4.062904e−019 −4.999088e−023\n16 4.790552e−015 8.697392e−019 −4.361816e−022\n19 −4.393543e−014 1.252755e−016 −7.292427e−020\n20 −5.080159e−014 1.188278e−016 −6.999891e−020\n1 −9.166535e−026 0.000000e+000\n2 2.709386e−028 0.000000e+000\n3 1.297626e−031 0.000000e+000\n6 −1.441611e−031 0.000000e+000\n8 −2.859330e−027 0.000000e+000\n10 2.160253e−027 0.000000e+000\n13 4.020013e−028 0.000000e+000\n14 2.234236e−027 0.000000e+000\n16 6.665268e−026 0.000000e+000\n19 1.490664e−023 0.000000e+000\n20 1.483259e−023 0.000000e+000\n1 182.569 30.734 1.56000\n2 −503.082 207.487 −1.0 M1\n3 −210.424 −187.803\n4 859.854 198.194 M2\n5 444.311 36.819 1.56000 FL1\n6 −268.965 10.000\n10 139.483 106.449 β = ⅕\n13 0.0 (stop) 12.608 L = 956 mm\n16 237.603 34.661 1.56000 NA = 0.6\n2 0.000000e+000 2.099767e−008 9.783077e−013\n3 5.000000e+000 5.501181e−007 1.471305e−010\n4 −4.000000e+000 −9.108110e−009 −4.299510e−013\n5 0.000000e+000 −2.136611e−008 4.694331e−013\n8 0.000000e+000 −9.037445e−009 3.670281e−013\n10 0.000000e+000 1.834298e−007 −9.750539e−012\n12 0.000000e+000 9.777784e−008 −1.873380e−012\n15 0.000000e+000 8.427543e−011 1.174046e−011\n16 0.000000.+000 3.081549e−008 −1.715163e−011\n18 0.000000e+000 −2.081579e−007 −2.247876e−011\n21 0.000000e+000 2.662851e−007 −3.356811e−014\n22 0.000000e+000 3.826198e−010 −2.597161e−010\n2 −1.844192e−016 3.604034e−020 −4.028724e−024\n3 2.886973e−014 −5.770432e−017 2.143537e−020\n4 −1.602878e−017 3.309710e−021 −7.115890e−025\n5 1.022387e−017 −1.167939e−021 3.965841e−026\n8 2.497754e−017 −1.935627e−021 9.346277e−026\n10 −4.421365e−015 −1.558851e−018 −7.137854e−023\n12 −2.797369e−015 9.646417e−019 −2.470578e−022\n15 5.170272e−016 −9.544492e−020 3.589421e−023\n16 −1.340386e−015 4.768602e−019 −4.768922e−023\n18 7.527512e−015 2.070479e−018 −5.194783e−022\n21 5.695043e−014 9.695043e−017 −1.088463e−019\n22 −5.670062e−014 7.056558e−017 −9.170412e−020\n2 1.813820e−028 0.000000e+000\n3 −3.240090e−024 0.000000e+000\n4 4.509207e−029 0.000000e+000\n5 −6.232492e−031 0.000000e+000\n8 −2.137993e−030 0.000000e+000\n10 −1.911788e−026 0.000000e+000\n12 3.056952e−026 0.000000e+000\n15 −4.096568e−027 0.000000e+000\n16 1.934145e−027 0.000000e+000\n18 1.217812e−025 0.000000e+000\n21 3.144081e−023 0.000000e+000\n22 2.592177e−023 0.000000e+000\n1 586.085 16.642 1.56000\n2 −710.026 244.154\n3 −293.735 −213.130 −1.0 M1\n4 634.175 224.502 M2\n5 692.102 18.310 1.56000 FL1\n6 −893.803 0.100\n11 213.429 15.000 1.56000 β = ⅕\n12 104.913 106.241 L = 1199 mm\n13 0.0 (stop) 20.000\n15 −278.062 3.439 NA = 0.6\n17 −554.680 0.782\n2 0.000000e+000 3.201613e−008 3.554666e−013\n3 −1.672235e+000 2.280202e−008 −7.033732e−013\n4 −1.049283e+000 1.235688e−008 −1.490507e−012\n6 0.000000e+000 2.918278e−008 4.292516e−015\n9 0.000000e+000 1.320709e−008 −8.609941e−013\n12 0.000000e+000 1.980283e−007 2.532422e−011\n15 0.000000e+000 −1.871714e−008 −6.639558e−012\n16 0.000000e+000 −3.265199e−008 −6.424945e−012\n18 0.000000e+000 −2.362902e−008 −2.527146e−012\n21 0.000000e+000 2.563403e−008 −8.361181e−011\n2 −3.442541e−016 8.565884e−020 −1.071073e−023\n3 3.718998e−017 −2.862300e−021 1.492277e−025\n4 7.744144e−016 −3.612880e−019 9.419452e−023\n6 6.272355e−018 −7.663849e−022 4.479081e−026\n9 1.501924e−017 −1.136497e−021 4.453112e−026\n12 3.138382e−015 4.147537e−019 2.365835e−023\n15 2.887450e−016 −2.996064e−020 2.959532e−024\n16 −9.334562e−016 5.226456e−020 3.574846e−026\n18 1.656380e−015 2.693269e−020 −6.493817e−024\n21 −1.336716e−015 7.803202e−018 3.786297e−022\n1 5.207120e−028 0.000000e+000\n3 −2.707991e−030 0.000000e+000\n4 −9.922151e−027 0.000000e+000\n6 −7.629337e−031 0.000000e+000\n9 −1.452102e−030 0.000000e+000\n12 1.782122e−026 0.000000e+000\n15 −6.298400e−029 0.000000e+000\n16 1.155101e−028 0.000000e+000\n18 −4.440784e−028 0.000000e+000\n21 −7.589609e−025 0.000000e+000\n1 283.541 20.452 1.56000\n2 −1053.836 121.738\n3 387.920 5.000 1.56000\n4 229.873 124.483\n5 −291.999 −124.483 −1.0 M1\n6 229.873 −5.000 −1.56\n8 881.192 91.603 M2\n10 229.873 134.534 FL1\n13 290.336 45.391 1.56000 β = ⅕\n14 −3338.651 27.518 L = 1198 mm\n17 145.801 15.000 1.56000 NA = 0.6\n19 0.0 (stop) 20.000\n24 156.783 20.841 1.56000\n2 0.000000e+000 1.670153e−008 −7.564550e−013\n4 0.000000e+000 −2.210204e−008 3.615438e−012\n5 −1.612890e+000 2.100848e−008 2.048446e−013\n6 0.000000e+000 −2.210204e−008 3.615438e−012\n8 2.782076e+000 1.108410e−008 8.595356e−013\n10 0.000000e+000 −2.210204e−008 3.615438e−012\n12 0.000000e+000 4.440282e−009 −3.621140e−013\n15 0.000000e+000 −1.135774e−008 −4.288698e−013\n18 0.000000e+000 1.483922e−007 1.741862e−011\n21 0.000000e+000 1.354475e−008 −3.828203e−012\n22 0.000000e+000 −1.099866e−008 −2.113914e−012\n24 0.000000e+000 −2.754027e−008 −3.324771e−012\n27 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−1.238808e−013\n17 0.000000e+000 4.718829e−009 −5.145083e−013\n22 0.000000e+000 −1.928999e−007 −1.154247e−011\n23 0.000000e+000 −3.035320e−007 −1.933833e−011\n26 0.000000e+000 2.223625e−008 5.913986e−012\n28 0.000000e+000 1.714079e−008 1.881607e−012\n31 0.000000e+000 −1.372555e−008 7.658069e−011\n32 0.000000e+000 −5.643649e−007 1.451319e−011\n2 −6.282393e−017 −2.629751e−021 6.200738e−025\n4 1.121436e−017 −3.030043e−021 1.639180e−025\n5 −1.309392e−015 6.427099e−019 −2.796760e−022\n7 2.694592e−017 −3.337487e−020 −4.892624e−024\n9 −1.309392e−015 6.427099e−019 −2.796760e−022\n10 1.121436e−017 −3.030043e−021 1.639180e−025\n12 9.799722e−018 −2.247802e−021 1.259049e−025\n14 1.121436e−017 −3.030043e−021 1.639180e−025\n16 5.818116e−017 −7.054083e−021 4.425044e−025\n17 7.657683e−017 −9.189123e−021 5.661917e−025\n22 4.702416e−017 −5.121045e−020 6.958981e−024\n23 −2.138981e−015 −4.900557e−019 6.415923e−023\n26 −1.487766e−016 4.859942e−020 −3.315785e−024\n28 −6.712043e−015 5.005422e−020 −2.320660e−024\n31 −5.828110e−015 1.273953e−018 −4.331702e−023\n32 −5.462196e−016 −8.490119e−019 2.192732e−022\n2 −2.301378e−029 0.000000e+000\n4 −3.981772e−030 0.000000e+000\n5 4.335286e−026 0.000000e+000\n7 1.494940e−027 0.000000e+000\n9 4.335286e−026 0.000000e+000\n10 −3.981772e−030 0.000000e+000\n12 −3.392339e−030 0.000000e+000\n14 −3.981772e−030 0.000000e+000\n16 −1.068897e−029 0.000000e+000\n17 −1.358877e−029 0.000000e+000\n22 −1.633272e−027 0.000000e+000\n23 −3.092374e−026 0.000000e+000\n26 1.932364e−028 0.000000e+000\n28 6.485526e−029 0.000000e+000\n31 6.899488e−027 0.000000e+000\n32 −3.846738e−026 0.000000e+000\n1 146.528 21.763 1.56000\n2 279.100 29.521\n3 −775.358 24.514 1.56000 LP1\n4 −290.509 319.854\n5 −127.746 15.000 1.56000 LN1\n6 901.597 15.068\n7 −165.915 −15.068 −1.0 M1\n8 901.597 −15.000 −1.56 LN1\n9 −127.746 −319.054 −1.0\n10 −290.509 −24.514 −1.56 LP1\n11 −775.368 −2.093 −1.0 M2\n12 −1091.384 2.093 LP1\n15 −729.668 23.975 1.56000 FL1\n16 −353.516 16.059\n17 278.912 35.728 1.56000\n18 1301.157 10.000\n20 858.078 145.157 β = ⅕\n21 −1139.792 10.000 1.56000 L = 1160 mm\n24 77.386 30.123 NA = 0.6\n29 −109.375 0.559\n32 53.753 26.644 1.56000\n2 0.000000e+000 8.655896e−008 −1.231783e−012\n4 0.000000e+000 −2.107372e−008 5.599304e−013\n5 0.000000e+000 1.483901e−007 −9.642930e−012\n7 −1.883904e−001 3.492160e−008 2.674541e−013\n9 0.000000e+000 1.483901e−007 −9.642930e−012\n10 0.000000e+000 −2.107372e−008 5.599304e−013\n12 −3.641713e+000 −1.337813e−008 6.093453e−013\n14 0.000000e+000 −2.107372e−008 5.599304e−013\n16 0.000000e+000 −1.271307e−008 1.326186e−012\n19 0.000000e+000 −2.542101e−008 1.512560e−012\n22 0.000000e+000 −1.103975e−007 6.579457e−012\n23 0.000000e+000 −6.584060e−007 −9.731531e−011\n26 0.000000e+000 −2.178389e−007 −1.364187e−011\n28 0.000000e+000 −1.274240e−007 −1.607152e−011\n31 0.000000e+000 6.891976e−008 9.356366e−012\n32 0.000000e+000 −1.469212e−007 −7.704012e−012\n2 1.505671e−016 −1.994882e−020 2.274640e−024\n4 −3.486775e−017 4.285967e−021 −2.059611e−025\n5 −1.428407e−016 −3.220462e−019 6.834179e−023\n7 −1.521679e−017 −4.134260e−020 4.884293e−024\n9 −1.428407e−016 −3.220462e−019 6.834179e−023\n10 −3.486775e−017 4.285967e−021 −2.059611e−025\n12 −2.932285e−017 3.056970e−021 −1.865907e−025\n14 −3.486775e−017 4.285967e−021 −2.059611e−025\n16 −6.548673e−017 2.762947e−021 −7.218715e−026\n19 −8.198475e−017 3.416616e−021 −9.166937e−026\n22 −1.251416e−016 −1.137648e−020 3.478710e−024\n23 −4.923089e−015 −1.676955e−018 1.557766e−021\n26 1.018419e−014 −1.147459e−018 1.658131e−022\n28 8.050135e−015 −1.032749e−018 9.644428e−023\n31 3.785313e−016 3.015742e−018 −7.985615e−022\n32 −3.664705e−015 3.444260e−018 −5.454904e−022\n2 −9.987248e−029 0.000000e+000\n4 2.643547e−031 0.000000e+000\n5 −3.369361e−027 0.000000e+000\n7 −2.923001e−028 0.000000e+000\n9 −3.369351e−027 0.000000e+000\n10 2.643547e−031 0.000000e+000\n12 2.516890e−030 0.000000e+000\n14 2.643547e−031 0.000000e+000\n16 8.926086e−031 0.000000e+000\n19 1.136094e−030 0.000000e+000\n22 −1.372776e−028 0.000000e+000\n23 −4.766741e−025 0.000000e+000\n26 9.278466e−027 0.000000e+000\n28 − 4.735347e−027 0.000000e+000\n31 1.332556e−025 0.000000e+000\n32 −8.938622e−026 0.000000e+000\ni ri di ni Obj-distance = 50.982\n1 549.485 18.225 1.56000\n2 −348.358 404.377\n3 −117.591 15.000 1.56000 LN1\n4 −11245.509 21.694\n5 −181.192 −21.694 −1.0 M1\n6 −11246.509 −15.000 −1.56 LN1\n7 −117.591 −352.697 −1.0\n8 −2026.523 −18.862 −1.56 LP1\n9 461.050 −4.621 −1.0\n10 −376.405 4.621 M2\n11 461.050 18.862 1.56000 LP1\n12 −2026.523 338.890\n13 1172.423 42.790 1.56000 FL1\n19 −192.453 10.000 1.56000 β = ¼\n21 −186.358 10.000 1.56000 L = 1430 mm\n23 541.516 30.056 1.56000 NA = 0.6\n24 −149.805 8.704\n1 0.000000e+000 4.575380e−008 7.817822e−013\n3 0.000000e+000 1.832675e−008 −2.164592e−013\n5 8.415167e−001 1.155130e−008 1.103232e−013\n7 0.000000e+000 1.832675e−008 −2.154562e−013\n8 0.000000e+000 2.539857e−009 6.897518e−013\n10 6.525900e−001 −3.452255e−010 6.892838e−013\n12 0.000000e+000 2.539857e−009 6.897513e−013\n14 0.000000e+000 −2.178001e−009 4.103517e−013\n15 0.000000e+000 4.463480e−009 3.163776e−014\n17 0.000000e+000 −1.282492e−008 3.641378e−013\n20 0.000000e+000 2.891714e−008 3.794681e−012\n21 0.000000e+000 −2.045926e−007 8.683717e−012\n24 0.000000e+000 1.946135e−008 5.791056e−012\n26 0.000000e+000 2.141413e−009 −8.073433e−013\n29 0.000000e+000 −2.143637e−008 3.327692e−011\n30 0.000000e+000 −2.020052e−007 −8.522637e−012\n1 −5.883907e−016 1.371733e−019 −1.760415e−023\n3 −1.520651e−016 −8.218511e−021 6.179683e−025\n5 −1.409211e−017 −1.720228e−021 −5.814168e−026\n7 −1.520651e−016 −8.218511e−021 6.179683e−025\n8 −2.704670e−016 2.977375e−020 −1.502713e−024\n10 −1.705759e−018 1.444644e−020 −1.403417e−025\n12 −2.101670e−016 2.977375e−020 −1.502713e−024\n14 −1.617801e−016 5.715537e−022 −1.027112e−026\n15 7.085203e−019 0.000000e+000 3.066558e−028\n17 −2.556752e−017 6.095086e−022 −5.993226e−027\n20 1.766293e−016 −1.533138e−020 6.283744e−024\n21 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1.56000 LP1\n13 1097.080 47.121 1.56000 FL1\n17 198.349 27.611 1.56000 β = ¼\n19 −216.473 10.000 1.56000 L = 1430 mm\n21 −171.590 10.000 1.56000 NA = 0.6\n22 655.307 32.257\n24 −151.533 8.809\n1 0.000000e+000 4.255133e−008 1.395979e−013\n3 0.000000e+000 1.715982e−008 1.867849e−013\n5 8.550872e−001 1.081079e−008 1.551602e−013\n7 0.000000e+000 1.715982e−008 1.867849e−013\n8 0.000000e+000 3.098651e−009 2.787833e−013\n10 9.872928e−001 1.142429e−009 4.039291e−013\n12 0.000000e+000 3.098651e−009 2.787833e−013\n14 0.000000e+000 −8.058628e−009 5.469068e−013\n15 0.000000e+000 8.819915e−009 1.397684e−013\n17 0.000000e+000 −1.822365e−008 3.451273e−013\n20 0.000000e+000 3.055326e−008 4.873760e−012\n21 0.000000e+000 −1.728562e−007 1.235438e−011\n24 0.000000e+000 3.819315e−008 6.635548e−012\n26 0.000000e+000 5.160883e−009 −9.687870e−013\n29 0.000000e+000 −8.273895e−009 2.604783e−011\n30 0.000000e+000 −1.430127e−007 −8.553894e−012\n1 −1.009633e−016 4.472929e−021 1.933908e−024\n3 1.918570e−017 −5.826782e−020 9.440074e−024\n5 7.022939e−018 −5.098034e−021 4.929424e−025\n7 −1.918570e−017 −5.826782e−020 9.440074e−024\n8 −1.677261e−016 1.684901e−020 −7.086691e−025\n10 −8.905924e−017 4.728326e−021 2.776075e−025\n12 −1.677261e−016 1.684901e−020 −7.086691e−025\n14 −1.863316e−017 4.646973e−022 −6.797904e−027\n15 −9.400188e−019 0.000000e+000 1.176176e−027\n17 −2.486759e−017 4.418373e−022 −5.160404e−027\n20 2.383916e−016 −6.806035e−021 7.977247e−024\n21 8.006503e−016 −5.090344e−020 −4.004980e−024\n24 −2.544128e−016 3.425391e−020 −2.492308e−024\n26 −5.829555e−016 5.807106e−020 −3.458190e−024\n29 −4.590743e−015 2.375151e−018 −7.369796e−022\n30 −7.235770e−015 4.163768e−018 −2.463212e−021\n1 −3.573554e−028 0.000000e+000\n3 1.973849e−028 0.000000e+000\n5 1.438389e−029 0.000000e+000\n7 1.973849e−028 0.000000e+000\n8 6.530829e−030 0.000000e+000\n10 −3.188109e−029 0.000000e+000\n12 6.530829e−030 0.000000e+000\n14 4.401325e−032 0.000000e+000\n17 −1.986704e−031 0.000000e+000\n20 −8.335599e−028 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−26.074 −1.56 LF\n11 −423.622 −4.701 −1.0\n12 −291.919 4.701 FM2\n13 −423.622 26.074 1.56000 LF\n14 −214.353 400.010\n15 0.00 (stop) 59.759\n20 86.180 31.425 1.56000 β = ¼\n22 108.812 15.000 1.56000 L = 1190 mm\n24 82.713 23.334 1.56000 NA = 0.6\n1 0.000000e+000 7.845851e−008 3.480979e−012\n2 0.000000e+000 1.287363e−007 5.213100e−012\n3 0.000000e+000 5.511695e−008 2.742398e−012\n5 9.757356e−001 2.245223e−008 4.961650e−013\n7 0.000000e+000 5.511695e−008 2.742398e−012\n8 −2.324211e−001 −3.741519e−009 −2.965745e−014\n9 −1.351560e−001 −4.438792e−012 4.120307e−018\n10 0.000000e+000 1.134555e−008 −5.474633e−013\n12 2.922694e+000 2.325940e−008 −2.396438e−013\n14 0.000000e+000 1.134555e−008 −5.474633e−013\n16 0.000000e+000 −5.994350e−008 −4.756412e−012\n18 0.000000e+000 −8.290830e−008 −4.984870e−012\n20 0.000000e+000 4.860989e−008 1.213638e−011\n23 0.000000e+000 −4.300839e−007 −3.408055e−011\n24 0.000000e+000 −3.101203e−007 −4.766363e−011\n1 −−2.192632e−016 2.652275e−020 −1.461145e−023\n2 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−1.396774e−008 −1.312696e−012\n8 3.674765e−001 −5.080134e−009 −2.169803e−013\n9 0.000000e+000 −3.096618e−009 6.122885e−015\n11 −6.480972e−001 7.109927e−010 −3.912529e−015\n13 0.000000e+000 −1.535424e−008 −4.271143e−013\n14 −2.947254e−001 1.369848e−009 −1.353039e−013\n15 0.000000e+000 −1.535424e−008 −4.271143e−013\n20 0.000000e+000 −1.254255e−007 −3.689620e−012\n22 0.000000e+000 −1.374196e−007 −1.437806e−011\n25 0.000000e+000 8.431891e−008 −2.787295e−011\n26 0.000000e+000 7.697163e−008 1.013236e−011\n1 −5.987597e−017 −7.1748408e−022 0.000000e+000\n3 −4.099589e−017 −1.204130e−021 0.000000e+000\n5 2.191394e−018 −3.414108e−023 0.000000e+000\n7 −4.099589e−017 −1.204130e−021 0.000000e+000\n8 −7.383666e−018 −2.178985e−022 0.000000e+000\n9 −3.324130e−020 −2.496687e−026 0.000000e+000\n11 3.016030e−021 −2.009020e−027 0.000000e+000\n13 −5.423533e−017 2.156146e−021 0.000000e+000\n14 1.572367e−017 −1.209804e−021 0.000000e+000\n15 −5.423533e−017 2.156146e−021 0.000000e+000\n20 −1.110556e−015 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4.483389e−021\n10 1.807856e−018 −2.255506e−022 1.792109e−026\n13 −7.464135e−021 1.125815e−024 −3.288087e−029\n14 5.096073e−017 −4.749646e−020 1.007847e−023\n16 6.576997e−018 −5.959712e−020 1.769682e−023\n18 5.096073e−017 −4.749646e−020 1.007847e−023\n21 −1.965330e−015 3.913950e−019 −1.267664e−023\n23 −4.396313e−016 −2.197526e−019 1.954211e−023\n24 1.873727e−015 −1.4118320e−019 1.171050e−023\n26 −8.030466e−016 −7.057718e−019 8.165762e−023\n28 −1.244651e−014 0.000000e+000 −2.398432e−022\n1 2.228767e−028 0.000000e+000\n3 −1.154892e−028 0.000000e+000\n5 −9.723939e−025 0.000000e+000\n7 −6.319119e−026 0.000000e+000\n9 −9.723939e−025 0.000000e+000\n10 −6.218030e−031 0.000000e+000\n13 4.085249e−034 0.000000e+000\n14 2.645246e−029 0.000000e+000\n16 −1.119411e−027 0.000000e+000\n18 2.645246e−029 0.000000e+000\n21 −8.319497e−028 0.000000e+000\n23 −3.173836e−029 0.000000e+000\n24 −3.681475e−028 0.000000e+000\n26 1.411746e−026 0.000000e+000\n28 −4.378158e−025 0.000000e+000\n1 245.198 40.746 1.56000\n2 565.312 378.944\n4 −553.813 2.806\n5 −383.608 −2.806 −1.0 M1\n6 −553.813 −15.000 −1.56 LN1\n7 −198.743 −358.732 −1.0\n8 6976.362 386.889 M2\n9 355.685 51.490 1.56000 FL1\n10 −12321.788 369.283\n11 −1028.093 −343.512 −1.0 FM1\n12 730.908 −15.000 −1.56 LF\n14 −1023.030 0.070 FM2\n15 −1511.630 15.000 1.56000 LF\n17 0.0 (stop) 39.007\n21 618.670 8.713 β = ⅛\n23 391.950 8.285 L = 1190 mm\n25 80.944 14.809 NA = 0.6\n1 0.000000e+000 2.707002e−008 −8.717359e−013\n3 0.000000e+000 −1.2825216e−008 −4.644289e−012\n5 1.853481e+000 −5.942386e−009 −1.921556e−012\n7 0.000000e+000 −1.2825216e−008 −4.644289e−012\n8 4.692105e+000 6.776075e−009 −1.213133e−013\n9 0.000000e+000 −7.268271e−009 3.352308e−015\n11 1.213373e+000 −1.515625e−010 −6.598956e−015\n12 0.000000e+000 2.663004e−009 −5.964634e−012\n14 3.818120e+000 −5.339360e−008 −6.525763e−012\n16 0.000000e+000 2.663004e−009 −5.964634e−012\n20 0.000000e+000 −4.537132e−008 −1.444034e−012\n22 0.000000e+000 2.258810e−008 −2.784423e−012\n25 0.000000e+000 1.033200e−007 −6.071918e−012\n26 0.000000e+000 −2.135939e−008 −6.495251e−012\n1 1.291774e−017 −8.046083e−023 0.000000e+000\n3 −1.098284e−015 4.074896e−020 0.000000e+000\n5 −3.991601e−016 3.066166e−020 0.000000e+000\n7 −1.098284e−015 4.074896e−020 0.000000e+000\n8 2.083756e−018 −3.379785e−023 0.000000e+000\n9 −1.357278e−019 −1.824547e−024 0.000000e+000\n11 2.230167e−019 −3.018642e−024 0.000000e+000\n12 −3.132031e−015 3.139422e−019 0.000000e+000\n14 −2.026068e−015 1.112273e−019 0.000000e+000\n16 −3.132031e−015 3.139422e−019 0.000000e+000\n20 −6.237537e−017 −1.225622e−020 0.000000e+000\n22 −4.694218e−017 4.207858e−020 0.000000e+000\n25 −2.7589843e−015 −3.195258e−019 0.000000e+000\n26 −2.642392e−015 −2.963340e−019 0.000000e+000\n1 248.654 45.879 1.56000\n2 2498.279 433.450\n4 1258.317 2.793\n5 −320.814 −2.793 −1.0 M1\n6 1258.317 −17.451 −1.56 LN1\n7 −430.357 −170.466 −1.0\n8 −566426.061 200.710 M2\n9 −1563.039 37.005 1.56000 FL1\n10 −250.953 361.172\n11 −765.976 −329.940 −1.0 FM1\n12 244.884 −15.000 −1.56 LF\n14 −701.208 6.201 FM2\n15 549.490 15.000 1.56000 LF\n17 0.0 (stop) 46.600\n22 145.732 37.036 1.56000 β = 1/10\n24 111.587 15.000 1.56000 L = 1190 mm\n26 75.408 49.617 1.56000 NA = 0.6\n1 0.000000e+000 −2.521478e−009 −8.451485e−014\n3 0.000000e+000 −3.993741e−008 2.044280e−012\n5 4.706536e+000 −4.082512e−008 −1.158264e−011\n7 0.000000e+000 −3.993741e−008 2.044280e−012\n8 5.000000e+000 −3.971095e−009 −7.223454e−014\n9 0.000000e+000 −4.759165e−009 1.313843e−014\n11 3.289899e−001 −3.568080e−010 −1.380316e−015\n12 0.000000e+000 −2.613402e−008 −9.198710e−013\n14 −4.000000e+000 −3.882997e−008 −1.433855e−012\n16 0.000000e+000 −2.613402e−008 −9.198710e−013\n20 0.000000e+000 −4.145601e−008 −2.245516e−012\n22 0.000000e+000 1.029827e−008 −4.482490e−015\n25 0.000000e+000 1.056111e−007 8.819533e−012\n26 0.000000e+000 −3.282437e−008 3.472717e−012\n1 5.214505e−019 −2.685571e−023 0.000000e+000\n3 1.954603e−014 4.016803e−018 0.000000e+000\n5 7.155566e−015 −2.269483e−019 0.000000e+000\n7 1.954603e−014 4.016803e−018 0.000000e+000\n8 −1.084017e−018 6.587792e−024 0.000000e+000\n9 1.109392e−019 −1.230866e−024 0.000000e+000\n11 1.016681e−020 −6.587533e−026 0.000000e+000\n12 −1.784868e−016 2.018156e−020 0.000000e+000\n14 −1.916913e−016 4.859577e−022 0.000000e+000\n16 −1.784868e−016 2.018156e−020 0.000000e+000\n20 −8.585230e−017 −7.216150e−021 0.000000e+000\n22 1.152103e−017 1.349052e−020 0.000000e+000\n25 3.490901e−016 2.003722e−020 0.000000e+000\n26 −3.391125e−016 −1.465019e−019 0.000000e+000\nUS6213610 * Sep 17, 1999 Apr 10, 2001 Nikon Corporation Catoptric reduction projection optical system and exposure apparatus and method using same\nUS6262836 * Oct 25, 2000 Jul 17, 2001 Russell Hudyma High numerical aperture ring field projection system for extreme ultraviolet lithography\nU.S. Classification 359/649, 359/730, 359/731, 359/727\nInternational Classification G02B9/00, G02B17/08, H01L21/027, G02B13/18, G02B3/00, G03F7/20\nCooperative Classification G02B13/24, G02B17/0844, G02B17/0892, G02B17/0621, G02B13/143, G03F7/70275, G02B17/0852, G02B17/0856, G03F7/70225, G02B17/0812\nEuropean Classification G03F7/70F2, G03F7/70F12, G02B17/06A3, G02B13/24, G02B13/14B, G02B17/08F, G02B17/08M, G02B17/08C2, G02B17/08U, G02B17/08A2\nFree format text: ASSIGNMENT OF ASSIGNORS INTEREST;ASSIGNORS:TERASAWA, CHIAKI;ISHII, HIROYUKI;KATO, TAKASHI;REEL/FRAME:012005/0143


64,08 CHF inkl. MwSt. 71,20 CHF Regulärer Preis Als Premium-Mitglied sparst du: 7,12 CHF\n64,08 CHF inkl. MwSt. 71,20 CHF inkl. MwSt. Versandkosten: 4,95 CHF Kostenloser Versand Nicht auf Lager.\nNike - Zoom Cage 3 Rafa Herren Tennisschuh (orange) 102,90 CHF 146,95 CHF


Die Lehrveranstaltung fokussiert auf die Vermittlung theoretischer Grundlagen und Typologien im raumplanerischen Entwerfen. Die Studierende erwerben die Kompetenz, planerische, städtebauiche, freiraumplanerische und gestalterische Sachverhalte auf unterschiedlichen räumlichen und inhaltichen Ebenen analytisch zu verarbeiten und zu bewerten\nDo. 16:30 - 18:00 07.03.2019 Hörsaal W4 Vorlesung Typologien von Stadt und Raum\nDo. 16:30 - 18:00 14.03.2019 - 27.06.2019 Hörsaal W4 Vorlesung Typologien von Stadt und Raum\nDo. 07.03.2019 16:30 - 18:00 Hörsaal W4 Vorlesung Typologien von Stadt und Raum\nDo. 14.03.2019 16:30 - 18:00 Hörsaal W4 Vorlesung Typologien von Stadt und Raum\nDo. 21.03.2019 16:30 - 18:00 Hörsaal W4 Vorlesung Typologien von Stadt und Raum\nDo. 28.03.2019 16:30 - 18:00 Hörsaal W4 Vorlesung Typologien von Stadt und Raum\nDo. 04.04.2019 16:30 - 18:00 Hörsaal W4 Vorlesung Typologien von Stadt und Raum\nDo. 11.04.2019 16:30 - 18:00 Hörsaal W4 Vorlesung Typologien von Stadt und Raum\nDo. 02.05.2019 16:30 - 18:00 Hörsaal W4 Vorlesung Typologien von Stadt und Raum\nDo. 09.05.2019 16:30 - 18:00 Hörsaal W4 Vorlesung Typologien von Stadt und Raum\nDo. 16.05.2019 16:30 - 18:00 Hörsaal W4 Vorlesung Typologien von Stadt und Raum\nDo. 23.05.2019 16:30 - 18:00 Hörsaal W4 Vorlesung Typologien von Stadt und Raum\nDo. 06.06.2019 16:30 - 18:00 Hörsaal W4 Vorlesung Typologien von Stadt und Raum\nDo. 13.06.2019 16:30 - 18:00 Hörsaal W4 Vorlesung Typologien von Stadt und Raum\nDo. 27.06.2019 16:30 - 18:00 Hörsaal W4 Vorlesung Typologien von Stadt und Raum\nDer Leistungsnachweis erfolgt in Form einer mündlichen Prüfung. Pro Prüfungsgespräch (30 min.) werden zwei Studierende zugelassen. Die Anmeldung für die Termine erfolgt via Tuwel. Bitte jeweils nur für einen Prüfer und Termin anmelden.\n18.02.2019 00:00 28.03.2019 22:59


Nov 27, 2019 - Detroit Pistons 101 at Charlotte Hornets 102 - RealGM NBA Box Score\nDetroit 101, Charlotte 102\nOfficials: J.T. Orr, Karl Lane, Tom Washington\nTeam Rebounds: Detroit (10) Charlotte (8)\nTechnicals: Detroit (1 (Bench)) Charlotte (1 (Coach))\nDET (6-12) 32 28 20 21 101\nCHA (7-12) 31 24 31 16 102\nDET 89 113.1 114.3\nCHA 89 114.3 113.1\nDET .523 0.090 0.196 0.102\nCHA .483 0.034 0.244 0.193\n0 Andre Drummond Starter C 37:56 6-11 0-0 2-5 21.9 3.0 18 21 7 5 1 0 4 14\n5 Luke Kennard Starter SF 34:58 6-12 2-5 2-3 8.1 0.0 3 3 1 2 0 0 0 16\n9 Langston Galloway Starter SG 28:53 4-9 1-5 1-1 3.4 0.0 0 0 2 1 0 0 1 10\n23 Blake Griffin Starter PF 30:44 9-21 4-11 4-5 14.1 3.0 3 6 2 1 0 0 1 26\n6 Bruce Brown, Jr. Starter PG 22:45 4-5 0-1 0-0 7.8 0.0 2 2 1 2 1 1 0 8\n17 Tony Snell Bench SG 19:31 0-2 0-1 0-0 -0.2 0.0 3 3 0 2 0 0 0 0\n19 Svi Mykhailiuk Bench SF 12:38 1-3 1-3 0-0 -0.5 0.0 1 1 0 2 0 0 1 3\n35 Christian Wood Bench C 10:04 2-4 0-0 0-1 3.4 1.0 3 4 0 1 0 0 0 4\n8 Markieff Morris Bench PF 17:16 3-6 1-2 0-0 9.0 1.0 4 5 2 1 0 1 0 7\n25 Derrick Rose Bench PG 25:15 6-15 1-4 0-0 9.2 1.0 0 1 8 1 0 0 1 13\n240 41-88 10-32 9-15 88.1 9 37 56 23 18 2 2 9 101\n46.6% 31.3% 60.0%\n8 Bismack Biyombo Starter C 34:00 8-11 0-0 3-5 17.4 3.0 6 9 1 4 0 2 0 19\n0 Miles Bridges Starter SF 30:22 7-14 1-6 0-0 11.5 0.0 6 6 3 1 1 0 1 15\n4 Devonte' Graham Starter SG 37:04 6-15 3-6 1-1 23.1 0.0 7 7 15 1 0 0 1 16\n25 P.J. Washington Starter PF 21:00 7-11 0-2 3-4 11.0 0.0 5 5 0 4 0 2 0 17\n12 Terry Rozier Starter PG 34:28 3-11 3-6 3-3 7.9 1.0 1 2 3 1 1 1 1 12\n5 Nicolas Batum Bench SF 30:57 4-7 0-2 5-5 12.9 4.0 2 6 1 3 0 2 0 13\n9 Willy Hernangomez Bench C 06:18 0-3 0-0 0-0 -1.2 0.0 2 2 0 1 0 0 0 0\n2 Marvin Williams Bench PF 24:20 3-6 0-3 0-0 4.0 1.0 2 3 0 2 1 0 0 6\n1 Malik Monk Bench SG 16:30 1-7 0-4 2-2 2.0 1.0 0 1 3 0 0 0 0 4\n11 Cody Martin Bench SG 05:01 0-3 0-1 0-0 -1.8 0.0 0 0 1 1 0 0 0 0\n240 39-88 7-30 17-20 78.8 10 31 49 27 18 3 7 4 102\n44.3% 23.3% 85.0%\n7.7p, 4r, 3.6a Langston Galloway\n12.8p, 2.1r, 1.8a Luke Kennard\n16.5p, 3.7r, 4.4a Blake Griffin\n20.2p, 5.3r, 3.3a Andre Drummond\n17.6p, 17r, 3.2a\n16.2p, 1.8r, 5.4a Tony Snell\n8.6p, 1.6r, 1.6a Svi Mykhailiuk\n4.6p, 1.1r, 1.2a Markieff Morris\n10.7p, 3.8r, 1.6a Christian Wood\n8.2p, 4.2r, 0.4a\n17.2p, 3.9r, 4.4a Devonte' Graham\n18p, 3.6r, 7.5a Miles Bridges\n12.7p, 5.3r, 1.9a P.J. Washington\n11.3p, 5.2r, 1.4a Bismack Biyombo\n8p, 3.8r, 0.7a\n10.2p, 2.6r, 2.3a Nicolas Batum\n4.2p, 4.9r, 3.9a Marvin Williams\n7.4p, 2.5r, 0.6a\n2.9p, 2.2r, 1.1a\nAndre Drummond 34.3\nChristian Wood .600\nSvi Mykhailiuk .474\nBlake Griffin 20.2\nBismack Biyombo .634


258 42.07872 +...\nResult of VizieR Search within 10'' of 02 58 42.07872 +00 19 41.7756 (J2000=02:58:42.1+00:19:42)\n1 0.389 02 58 42.09888 +00 19 42.0204 02 56 08.15748 +00 07 45.5085 176.25890818 -48.90654422 0900-00692309 044.675412 +00.328339 18.8 18.2 1955.807\n1 0.259 02 58 42.09336 +00 19 41.9124 02 56 08.15198 +00 07 45.4002 176.25891625 -48.90658164 EO1453-0162963 044.675389 +00.328309 18.40 -1 1.80 6.4 0.18 20.02 1 4.65 6.6 1.62\n1 0.256 02 58 42.07944 +00 19 42.0312 02 56 08.14603 +00 07 45.3667 176.25881862 -48.90659993 0903-0030496 044.675331 +00.328342 71 100 1978.2 0 0 5 19.77 18.22 19.58 19.19 18.43\n1 0.255 02 58 42.079344 +00 19 42.03012 02 56 08.145933 +00 07 45.36558 176.258818519 -48.906600430 0903-0030809 .. 044.6753306 +00.3283417 B 0.0 0.0 0.0 0.0 19.580 B 19.190 B\n1 0.323 02 58 42.09120 +00 19 42.0384 02 56 08.14843 +00 07 45.4790 176.25886865 -48.90656356 044.675380 +00.328344 2.8 -2.1 19.77 19.58 18.22 19.19 18.43 5 0\n1 0.205 02 58 42.085656 +00 19 41.95200 02 56 08.162634 +00 07 45.12331 176.258870107 -48.906596854 1148 044.6753569 67.00 +00.3283200 84.00 63744+0001474 4 -3.1 2.9 3.3 3.7 9 42.081 18.474 19.690 18.052 18.807\n1 0.029 02 58 42.07814 +00 19 41.8027 02 56 08.15477 +00 07 45.1886 176.25888067 -48.90664975 1 3 J025842.07+001941.8 20.612 0.116 19.519 0.017 19.017 0.016 18.668 0.017 18.519 0.061 044.675324 +00.328278 2001.8899 3\n2 0.048 02 58 42.08248 +00 19 41.8356 02 56 08.15908 +00 07 45.3217 176.25889126 -48.90663837 2 3 J025842.08+001941.8 20.733 0.146 19.517 0.017 18.949 0.033 18.634 0.026 18.484 0.045 044.675337 +00.328281 2008.0006 2\n3 3.255 02 58 42.29472 +00 19 41.4588 02 56 08.36143 +00 07 44.8052 176.25994699 -48.90607098 1 3 J025842.29+001941.4 25.019 1.486 23.775 0.457 21.689 0.108 21.438 0.119 22.579 1.003 044.676228 +00.328183 2001.8899 3\n1 0.547 02 58 42.09984 +00 19 41.3292 02 56 08.15859 +00 07 44.8173 176.25912096 -48.90667582 J025842.09+001941.3 044.675416 +00.328147 0.179 0.164 Im 16.065 0.061 15.908 0.172 11.719 0.174 8.974 0.392 0000 0 1nnn 2M\n1 0.892 02 58 42.11136 +00 19 41.0304 02 56 08.17018 +00 07 44.5191 176.25926224 -48.90669968 044.675464 +00.328064 21.360 0.329 0.461264 1 0 0 0 0 13.30\n1 0.061 02 58 42.08160 +00 19 41.8190 02 56 08.14024 +00 07 45.3062 176.25889222 -48.90663479 044.675340 +00.328283 15 9 0.021 18.915 0.072 0.075 0.068 -0.573 0.264 2710 6\n2 0.178 02 58 42.06864 +00 19 41.8692 02 56 08.12727 +00 07 45.3557 176.25881955 -48.90666357 J025842.06+001941.8 2 044.675286 +00.328297 18.119 0.046 2008.8733 1\n1 0.088 02 58 42.01436 +00 19 42.3106 02 56 07.56743 +00 07 49.1216 176.25844541 -48.90673915 J025842.08+001941.8 1 044.675342 +00.328291 18.441 0.035 17.418 0.057 2006.6047 153.8 -70.1 1\n2 0.178 02 58 42.06864 +00 19 41.8692 02 56 08.13527 +00 07 45.2041 176.25881955 -48.90666357 J025842.06+001941.8 2 044.675286 +00.328297 18.119 0.046 2008.8733 1\n1 0.584 02 58 42.102264 +00 19 41.31012 02 56 08.161022 +00 07 44.79835 176.259137475 -48.906672323 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-48.90664897 044.675330 +00.328273 2 3 J025842.07+001941.7 * 2002.7747 3 20.665 0.107 19.444 0.016 19.000 0.018 18.575 0.018 18.542 0.078\n4 0.022 02 58 42.08016 +00 19 41.7720 02 56 08.13881 +00 07 45.2591 176.25890001 -48.90664822 044.675334 +00.328270 2 3 J025842.08+001941.7 * 2000.7513 3 20.645 0.085 19.545 0.016 19.010 0.015 18.673 0.017 18.517 0.058\n5 0.026 02 58 42.07824 +00 19 41.8008 02 56 08.13689 +00 07 45.2878 176.25888280 -48.90664832 044.675326 +00.328278 2 3 J025842.07+001941.8 * 1998.7172 3 20.534 0.079 19.463 0.016 18.934 0.015 18.628 0.018 18.394 0.064\n6 0.027 02 58 42.08040 +00 19 41.7864 02 56 08.13905 +00 07 45.2735 176.25889673 -48.90664470 044.675335 +00.328274 2 3 J025842.08+001941.7 * 2000.9042 3 20.592 0.088 19.470 0.015 18.952 0.015 18.627 0.016 18.519 0.063\n7 0.027 02 58 42.07800 +00 19 41.8008 02 56 08.13665 +00 07 45.2878 176.25888173 -48.90664904 044.675325 +00.328278 2 3 J025842.07+001941.8 * 2001.8900 3 20.692 0.107 19.575 0.017 19.078 0.017 18.736 0.017 18.522 0.055\n8 0.028 02 58 42.08016 +00 19 41.7576 02 56 08.13882 +00 07 45.2447 176.25890435 -48.90665102 044.675334 +00.328266 2 3 J025842.08+001941.7 * 2004.8415 2 20.540 0.159 19.460 0.025 18.916 0.020 18.595 0.020 18.440 0.063\n9 0.029 02 58 42.07968 +00 19 41.8008 02 56 08.13833 +00 07 45.2879 176.25888919 -48.90664404 044.675332 +00.328278 2 3 J025842.07+001941.8 * 2001.7177 3 20.628 0.088 19.485 0.015 18.993 0.015 18.668 0.016 18.489 0.054\n10 0.040 02 58 42.07896 +00 19 41.8152 02 56 08.13760 +00 07 45.3022 176.25888165 -48.90664338 044.675329 +00.328282 2 3 J025842.07+001941.8 * 2002.8511 3 20.755 0.098 19.491 0.016 19.008 0.018 18.642 0.021 18.596 0.078\n1 0.259 002 58 42.095999999999 +00 19 41.772000000000 002 56 08.154653894590 +00 07 45.259908454976 176.2589703290918521 -48.9066011036460964 — SDSSJ025842.07+001941.7 — — G 044.67540000000000 0.32827000000000 578.09600000000000 0.123331801666000 2 0\n1 0.01 02 58 42.0792 +00 19 41.772 02 56 08.1379 +00 07 45.259 176.2588957 -48.9066511 1237666301090005167 49 7 044.67533 +00.32827 0.126 0.129 0.000 0.123 0.126 0.225 20.1620 20.0445 19.2100 18.7800 18.4900 18.3383 18.7704 19.1433 Sloan\n1 0.021 02 58 42.0781752 +00 19 41.795436 02 56 08.1368241 +00 07 45.282436 176.2588841284 -48.9066495601 044.67532573 +00.32827651 53 19.888 19.841 19.689 19.459 19.394 19.594 16.027 20.4 15.945 7.0 11.614 5.5 9.045 2.2 0.21935 0.14116 -0.11298 -0.36760 -0.13627 0.99878 0.070 108390446752214291 J025842.10+001941.3 ---\n1 0.029 02 58 42.07776 +00 19 41.8008 02 56 08.13641 +00 07 45.2878 176.25888067 -48.90664975 2235 044.675324 +00.328278 19.017 587731513153945748 3 3 2 DR7\n1 0.029 02 58 42.07773 +00 19 41.8010 02 56 08.13638 +00 07 45.2880 176.25888049 -48.90664979 1237666301090005167 587731513153945748 044.675324 +00.328278 1.07762e-01 1 -10.8502 Sloan\n2 3.256 02 58 42.29473 +00 19 41.4590 02 56 08.35345 +00 07 44.9570 176.25994699 -48.90607090 1237666301090005168 587731513154011211 044.676228 +00.328183 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14. August 2012 26. August 2020 ps4info179Leave a Comment on FIFA13 – Demo-release und Gamescom Trailer veröffentlicht


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anlässe 2015 - Turnverein Bärau\nAm Samschtig 12. Dezämber 2015, sy am Autjahrshöck ir Sunne trotz paarne Entschuudigunge gliich no 20 Pärsone erschine. O das Jahr hei us gsundheitliche Gründ nid au bym Chegle mitgmacht, aber 14 Männerriegeler heis gliich wöue wüsse. Ds Ergäbniss isch aber nid grad beruschend gsy u meh weder e Sächserschitt het by keim usegluegt. Gäng wie gäng isch am sibni für Znacht ungerbroche worde. Früsch gschterkt isch nächhär mit em Jassturnier wytergange. D‘Erstellig vor Ranglischte het du no e chli z’Brichte gäh. I has aber mit viu Gummele du doch no chönne errangge u das Jass-u Cheguturnier mit 4 Rangpunkt gwunne, vor Dellenbach Hans, punktgliich mit Zaugg Fritz mit 7 Rangpunkt. Um die 1. Plätz isch es auso o das Jahr äng zue gange. Scho glii einisch sy die Erschte müed u zfriden heizu tschöttelet. Es isch wider einisch gmüetlich u z’friden gsy!\nam wuchenänd vom 06./07. novämber 2015 isch i ds sportpanorama im bärau yglade worde. dä alass isch e suuper erfoug gsy für d’turnvereine bärau. sogar fasch der haub gmeindrat u süsch no e huufe prominänti verträtter us angerne vereine oder gschäft vo langnau sy unger de zueschouer gsy. i ha vo aune site nume viu gueti u positivi rückmäudige übercho. es het aber e grosse ysatz vo aune brucht, o bsungers vo üs männerriegler. mit em yrichte isch bereits am mittwuche agfange worde u es sy a beidne aabe totau guet 120 nase im ysatz gschtange um dä ganz aalass chönne z’stemme. e härzliche dank a aui wo vor mr mitgmacht hei.\n04.07.2015 bräteln bei chrigu\n14 männerriegeler hei sich am namittag by chrigun uf der bäregg zum spiele u brätle troffe. zwöi riis hei gjasset so guet dass sie's hei chönne u die angere hei probiert boule z'spile. es isch eine vo de heissischte tage gsy u entsprächend sprützig hei mir üs o bewegt. am füfi het's langsam afa nach feine grillade schmöcke u ds jasse u chügele isch ungerbroche worde. es paar hei sich leider gly druf müesse usklinke, wiu sie no öppis angers los hei gha u so isch dä gmüetlich namittag langsam usplampet. chrigu u brigitte danke viu mau, es isch gäng e super namittag by öich!!\n28.05.2015 platzgen beim turm\na eim vo de erschte warme summeraabe sy am 28. mai 2015, 17 männerriegler zum gmüetliche platzge bym turm ytroffe! es isch schön, we o die eutere a däm aalass mitmache, o we aube nid au zäme am platzge teilnäh. 12 nase heis aber du wöue wüsse u sie hei dä wettkampf i aagriff gnoh. es isch nid grad aune glich guet gange u d’platzge sy mängisch rächt im züg ume gumpet. könu het das turnier suverän mit 1‘756 punkt vor mir mit 1‘750 u aeschbacher wernu mit 1‘732 punkt gwunne! es feins fittnesstäuer, es glässeli u es gut gschunggets platzgerkafi hei dä gmüetlich aabe abgrundet. es härzlichs "dank heigisch" a platzgerfroue u-manne für ihre ysatz.\nmännerriegereise pfäffikersee auffahrt 2015\nar uffahrt vom 14.05.2015 het der summer-car bis i truebschache 31 pärsone ygsammlet gha. by gäbigem wätter sy mir über luzern - hirzel nach schöneberg zuegfahre. nach eme kafihaut isch es via rapperswil üsem ziu am pfäffikersee zuegange. öppe d'heufti het der schön wanderwäg dür ds naturschutzgebiet ume see i aagriff gnoh u di angere hei sich zyt im restaurant oder am see vertribe. am drü sy mir mit em car via autobahn zürich - aarau richtig reiden gfahre. nach eme bislihaut sy mir müed u zfriden über huttwil wider am bärau zuetuckeret, wo mir dä wunderbar tag wie gäng ir sunne abgschlosse hei!\nam 09. apriu 2015 het der scl daheim ds 4. spiu ume ufstig gwunne u isch i d’nati a ufgschtige. 7 männerriegeler het das aber nid kratzet u sie hei im bowling-zänter ume meischter kämpft! nach zwo rundine isch no aus rächt äng binang gsy, aber nächär het moser jürgu du no e super rundi häregleit u dä aabe ganz klar zu sine gunschte entschide. nach em obligate glässeli u me kafi sy mir du no vor em ufstiegsklamauk hei zue. übrigens härzlechi gratulation de scl tigers u am natürlich o am bowlingmeischter.\nam gründonnerstag, 02. april 2015 traffen sich 12 männerriegeler und chrigus brigitte zum kutteln-essen im hirschen. am anfang war es etwas sehr laut zu und her gegangen, weil sich gleichzeitig der lions-club zum apéro in der gaststube niedergelassen hat. nach einiger zeit wurde es aber wieder etwas ruhiger und wir konnten die feinen kutteln geniessen. es war wieder ein gemütlicher abend und manche anekdote von füher wurde erzählt. müde und zufrieden kehrten wir am späteren abend wieder nach hause zurück.\ntrotz 10 entschuldigungen konnte der präsi 19 mitglieder an der hv begrüssen. das protokoll der letzten hv, der sehr lange und ausführliche jahresbericht des präsi und die erfreuliche rechnung wurden alle mit grossem aplaus genehmigt. der schreiber christian gerber, kassier jürg berger und rechnugsrevisor jürg moser haben sich für eine neue legislatur bereit erklärt. auch sie wurden mit grossem aplaus bestätigt. das umfangreiche tätigkeitsprogramm wurde genehmigt. die mr-reise am auffahrtstag geht dieses jahr an den pfäffikersee. für den 2-tägigen veloausflug stellt uns konrad friedli sein ferienhaus in salavaux zur verfügung. es ist ebenfalls geplant, verschiedenste faustballturniere zu bestreiten. aber auch die geselligen anlässe wie bowling, platzgen, bräteln etc. sind wieder eingeplant. für das neue vereinsjahr soll ein neuer trainer und ein spieldress angeschafft werden. nach der hv wurde der abend mit einem gemütlichen essen abgeschlossen. ein herzlicher dank geht an alle, die sich auch im neuen vereinjahr für die männerriege bärau einsetzen.


BeschreibungSpezial Lautsprechermikrofon für Wintec LP Funkgeräte mit eingebauter roter LED Flash Light Lampe, zur optischen Anzeige bei eingehenden Funkanrufen. Mit Ohrhöreranschluss (3,5mm) und verstellbarem Gürtelclip. Passend für WINTEC LP-4502 / LP-45V / LP-45U


BGH, Urteil vom 6. Oktober 2009, VI ZR 314/08 - Kanzlei Prof. Schweizer Rechtsanwaltsgesellschaft mbH\nBGH, Urteil vom 6. Oktober 2009, VI ZR 314/08


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Hesekiel第44章(German: Elberfelder (1905));Arcana Coelestia (Elliott translation)#3706;2 Koenige第16章:18(German: Elberfelder (1905))- 中文用户界面\n3706. 'And to your seed' means truth also. This is clear from the meaning of 'seed' as the truth of faith, dealt with in 255, 880, 1025, 1447, 1610, 2848, 3038, 3310, 3373.\n(参考: Ezekiel 44:1-2; Genesis 28:13)\nArcana Coelestia 3707\n第1章 第2章 第3章 第4章 第5章 第6章 第7章 第8章 第9章 第10章 第11章 第12章 第13章 第14章 第15章 第16章 第17章 第18章 第19章 第20章 第21章 第22章 第23章 第24章 第25章\n18 Und den bedeckten Sabbathgang, den man am HauseHause gebautgebaut hatte, und den äußeren Eingang des KönigsKönigs veränderte er am HauseHause JehovasJehovas wegen des KönigsKönigs von Assyrien.\n1 Chronik 9:18


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Mitgliederversammlung 2020/2021 – Spielverein 1911 St. Tönis e.V.\n13. Oktober 2021 /von Michael Lessenich\nhttps://sv-sttoenis.de/wp-content/uploads/2019/07/sv-logo-300x138.png 0 0 Michael Lessenich https://sv-sttoenis.de/wp-content/uploads/2019/07/sv-logo-300x138.png Michael Lessenich2021-10-13 09:34:292021-10-26 22:03:30Mitgliederversammlung 2020/2021\nOSV Meerbusch 2:3 SV St. TönisQualifizierungsangebot 2022


Gesundheit - Mit der Depression schwindet die Erinnerung - UNTERNEHMEN-HEUTE.de\n11. Juni 2018, 09:47 Uhr\n20. Februar, 01:04 Uhr


Oralchirurg Dr. med. Paul Berlage aus Gelsenkirchen mit 020926046 | Score Telefonnummer: 2 - 020926046 tellows\nOralchirurg Dr. med. Paul Berlage\nM-Tu 8am-12pm, 2:30pm-5pm, W 8am-12pm, Th 8am-12pm, 2:30pm-5pm, F 8am-12pm, Sa-Su Closed\nBewertung für 020926046\nAbgegebene Bewertungen zu 020926046\nNeue Bewertung zu Nummer 020926046\nOralchirurg Firmen in Deutschland\nPraxis für Mund-, Kiefer- und Gesichtschirurgie Udo E. Novacek, M.Sc. & Dr. Claudia Novacek in Deggendorf\n09913830300 mit 29 Aufrufen\nDr. Dr. Gregor Risse in Dormagen\n02133214146 mit 2 Aufrufen\nKieferchirurgie Hoffmann Bötel Roßmann in Flensburg\n0461310405 mit 90 Aufrufen\nMKG im Carrè in Göttingen\n055147314 mit 62 Aufrufen\nMKG am Tibarg - Dr. Dr. med. Schwartz & Dr. med. Franzen in Hamburg\n040581420 mit 45 Aufrufen\nDr. med. Roberto Städtler in Annaberg-Buchholz\n0373321001 mit 25 Aufrufen\nZahnwelt Blankenfelde Dr. Yvonne Wehner und Partner in Blankenfelde-Mahlow\n03379371880 mit 97 Aufrufen\nDr. Klaus-Willy Erdmann, Dr. Thomas Hüttner, Dr. Anja Christina Erdmann & Partner GbR in Duisburg\n0206612081 mit 71 Aufrufen\nDr. med. dent. Heiner Bammel Zahnarzt in Essen\n0201673031 mit 6 Aufrufen\nDr. Romeo G. Brezeanu, Dr. Dr. Helmut W. Dellmann in Gelsenkirchen\n02091487750 mit 5 Aufrufen\nPraxis für Mund-Kiefer-Gesichtschirurgie Dr. med. Jochen Sänger in Hofheim\n06192901046 mit 3 Aufrufen\nDr. med. dent. Hannes-Werner Schlagkamp in Hörstel\n05978250 mit 60 Aufrufen\nDr. Dr. Bernd Cöln - Praxis für Implantologie & Mund-, Kiefer- und Gesichtschirurgie Hürth in Hürth\n02233977272 mit 44 Aufrufen\nDental Family Dr. Dr. Andreas Pohl in Jahnsdorf\n0372136005 mit 64 Aufrufen\nDr.med.dent. Christopher Laban Facharzt f. in Kelheim\n09441703595 mit 14 Aufrufen\nDr. Thomas Jäger - Zahnarzt in Konstanz\n0753165653 mit 45 Aufrufen