Đường kính silicon không được vượt quá 1400mm vì khi đó làm giảm lực ly tâm để kéo theo các hạt bụi tới tường silicon , ta có thể cho khí qua 1 hay nhiều silicon cùng 1 lúc.
Đườn kính silicon không được vượt quá 1400mm vì khi đó làm giảm lực ly tâm để kéo theo các hạt bụi tới tường silicon , ta có thể cho khí qua 1 hay nhiều silicon cùng 1 lúc.
Đường kính silicon không được vượt quá 1400mm và khi đó làm giảm lực ly tâm để kéo theo các hạt bụi tới tường silicon , ta có thể cho khí quá 1 hay nhiều silicon cùng 1 lúc.