Помогите разобраться в терминологии
Как так вариант «размером не приветствуется»? 

«Главными характеристиками ЦПУ являются: тактовая частота, производительность, энергопотребление, нормы литографического процесса используемого при производстве (для микропроцессоров) и архитектура.» wiki; микро, нано это характеристики размерности литографии.

Я так понял, что вас интересует механизм используемый для вычислительных возможностей, тогда процессор — это транзисторы, микропроцессор — это транзисторы на графитовой подложке, нанопроцессор — это графеновые транзисторы, однако и там есть предел возможностей, для этого рекомендую ознакомиться с понятием Half Shrink

Для увеличения вычислительной мощности скорее всего нужно смотреть в сторону квантовых вычислительных систем.
У нас в институте классификация велась (на процессоры и микропроцессоры) по плотности и количеству транзисторов (тех. процессу)