Как создать файл и каталоги в пути к нему?
mkdir 
с опцией --parents можно создать и все промежуточные каталоги, если их нет.
вам выше правильно написали, делайте по юникc-вей, всё остальное от лукавого:$ mkdir -p /путь/к/файлу/
$ touch /путь/к/файлу/ФАЙЛ
или одной строкой:$ mkdir -p /путь/к/файлу/ && touch /путь/к/файлу/ФАЙЛ
если надо с переходом в каталог:$ mkdir -p /путь/к/файлу/ && cd  /путь/к/файлу/ && touch ФАЙЛ
через ssh:$ ssh <USER>@<IP> 'mkdir -p /путь/к/файлу/ && touch /путь/к/файлу/ФАЙЛ'