Есть ли софт для отслеживания процесса, пробуждающего систему?
Чтобы процесс пробудил систему, этот процесс должен работать. Процессы работают под управлением операционной системы. Значит операционная система должна работать. Значит она не спит, будить не нужно.
Вывод: любой процесс не может пробудить систему. Это так не работает. Пробуждают аппаратные прерывания (от клавиатуры, от сетевой карты, от таймера, и т.п.).

А вот какой процесс установил таймер - IMHO, это надо отслеживать в момент установки таймера, т.е. до засыпания системы. Софт посмотрите здесь: https://docs.microsoft.com/ru-ru/sysinternals/down...
Если еще актуально тут краткое решение 
https://blog.hqcodeshop.fi/archives/459-Windows-10...
Тут полное
https://superuser.com/questions/1513150/why-does-s...

з.ы.
Если и они вдруг не помогут то попробуй
1) Перейти в Панель управления\Все элементы панели управления\Электропитание\Изменение параметров схемы (выбери предварительно включенную схему)
2) Сон-> разрешить таймеры пробуждения -> отключить