Найпоширенішими мікроелектронними складниками є напівпровідникові транзистори, хоча всі основні електронні компоненти (резистори, конденсатори тощо) можуть бути створені на мікроскопічному рівні. Наноелектроніка — це подальше зменшення пристроїв до нанометрового рівня. Сучасні мікроелектронні вироби вже працюють у нанометровому режимі, де обробка нижче 100 нм є звичайною приблизно з 2002 року.