压力传感器的种类及原理
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压力传感器的种类及原理
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常用的压力传感器有应变片压力传感器、压阻式压力传感器、扩散硅压力传感器、蓝宝石压力传感器、压电压力传感器。压力传感器按用途分类主要是压力监视、压力测量和压力控制及转换成其他量的测量。按供电方式分为压阻型和压电型传感器，前者是被动供电的，需要有外电源。后者是传感器自身产生电荷，不需要外加电源，根据不同领域对压力测量的精度不同分为低精度和高精度的压力传感器。
传统的压力传感器以机械结构型的器件为主，以弹性元件的形变指示压力，但这种结构尺寸大、质量重，不能提供电学输出。随着半导体技术的发展，半导体压力传感器也应运而生。其特点是体积小、质量轻、准确度高、温度特性好。特别是随着技术的发展，半导体传感器向着微型化发展，而且其功耗小、可靠性高。
半导体压电阻型：半导体压电阻抗扩散压力传感器是在薄片表面形成半导体变形压力，通过外力（压力）使薄片变形而产生压电阻抗效果，从而使阻抗的变化转换成电信号。
静电容量型：静电容量型压力传感器，是将玻璃的固定极和硅的可动极相对而形成电容，将通过外力（压力）使可动极变形所产生的静电容量的变化转换成电气信号。
压力传感器的工作原理通常是基于电阻、电容、电感或半导体等原理。压力传感器是一种用于测量压力的设备。它通常由一个弹性元件和一个传感器组成。当外部施加压力到传感器上时，弹性元件会发生形变。这种形变会导致弹性元件内部的电阻、电容、电感等物理量发生变化。传感器会将这种物理量的变化转化为电信号。常见的转换方式有电阻变化、电容变化、电感变化等。接下来，传感器将电信号转化为数字信号，以便与其他设备进行通信或进一步处理。最后，通过分析这些电信号，我们可以得到外部施加到传感器上的压力值。
基本压力传感器的调节电路: