Năm 1654 , Otto von Guericke đã phát_minh ra máy_bơm chân_không đầu_tiên và tiến_hành thí_nghiệm Magdeburg_Hemispheres nổi_tiếng của mình , cho thấy các đội ngựa không_thể tách hai bán_cầu mà không_khí được sơ_tán một phần .Robert_Boyle đã cải_thiện thiết_kế của Guericke và với sự giúp_đỡ của Robert_Hooke tiếp_tục phát_triển công_nghệ bơm_chân_không .Sau đó , nghiên_cứu về chân không một phần mất hiệu_lực cho đến năm 1850 khi Toepler tháng 8 đã phát_minh ra bơm Toepler và Heinrich_Geissler đã phát_minh ra máy_bơm dịch_chuyển thuỷ_ngân vào năm 1855 , đạt được khoảng trống một phần khoảng 10 PA ( 0,1 Torr ) .Một_số tính_chất điện_trở nên có_thể quan_sát được ở mức_độ chân không này , giúp gia_hạn sự quan_tâm trong nghiên_cứu thêm .
Điều gì lần đầu_tiên được phát_minh bởi Otto von Guerere ?
bơm_chân_không