Đồng_hồ đo ion được sử_dụng trong chân không cao .Chúng có hai loại : cực âm nóng và cực âm lạnh .Trong phiên_bản cực âm nóng , một dây_tóc được làm nóng bằng điện tạo ra một chùm electron .Các electron di_chuyển qua các phân_tử khí và ion_hoá xung_quanh chúng .Các ion kết_quả được thu_thập tại một điện_cực âm .Dòng_điện phụ_thuộc vào số_lượng ion , phụ_thuộc vào áp_suất trong máy đo .Đồng_hồ đo cực âm nóng là chính_xác từ 10 − 3 Torr đến 10 − 10 Torr .Nguyên_tắc đằng sau phiên_bản cực âm lạnh là như nhau , ngoại_trừ các electron được sản_xuất trong một chất phóng_điện được tạo ra bởi một lượng điện điện_áp cao .Đồng_hồ đo cực âm lạnh là chính_xác từ 10 − 2 torr đến 10 − 9 Torr .Hiệu chuẩn đo ion_hoá rất nhạy_cảm với hình_học xây_dựng , thành_phần hoá_học của khí được đo , ăn_mòn và lắng_đọng bề_mặt .Hiệu chuẩn của chúng có_thể được vô_hiệu_hoá bằng cách kích_hoạt ở áp_suất khí_quyển hoặc chân không thấp .Thành_phần của khí ở chân không cao thường sẽ không_thể đoán trước được , do_đó phải sử_dụng máy quang_phổ khối_lượng cùng với thước_đo ion_hoá để đo chính_xác .
Tại_sao máy quang_phổ khối cần được sử_dụng với máy đo để chính_xác khi đo khí chân không cao ?
Thành_phần của khí ở chân không cao thường sẽ không_thể đoán trước được