APPARATUS FOR TRANSPORTING SUBSTRATES
Bei einer Vorrichtung für den Transport von Substraten bei Vakuum-Beschichtungsanlagen mit mehreren Stationen, mit Substrathaltern (16) mit etwa plattenförmiger Konfiguration, die in lotrechter Stellung entlang eines vorgegebenen Transportweges durch die Stationen bewegbar sind, und die mit Schienen (13, 14) zusammenwirken, die jeweils im Bereich ihres Fußteils (15) unterhalb der an den Substrathaltern (16) befestigbaren Substraten (22, 23) vorgesehen sind, ist das Fußteil (15) des Substrathalters (16) mit einem Paar paralleler und im Abstand zueinander verlaufender, in einer lotrechten Ebene angeordneter Schienen (13, 14) versehen, deren einander zugekehrte Schmalseiten Längsnuten (13a, 14a) aufweisen, die mit Rollen (7, 8) oder Gleitsteinen korrespondieren, die ortsfest am Bodenteil der Vorrichtung gelagert sind und die jeweils in Reihen entsprechend dem Verlauf der Nuten (13a, 14a) in übereinander liegenden, vertikalen Ebenen im Abstand zueinander vorgesehen sind, wobei der Substrathalter (16) eine sich von oben her bis in den Bereich seines Fußteils (15) in Längsrichtung erstreckende schachtförmige Aussparung (24) aufweist, in die beim Durchlauf durch die Station ein oberhalb des Substrathalters (16) angeordneter, flacher, sich lotrecht nach unten zu erstreckender Heizkörper hineinragt, wobei der Substrathalter (16) diesen Heizkörper (11) U-förmig umgreift.