تم صنع أول مجهر إلكتروني عملي في عام 1938، في جامعة تورنتو بواسطة إلي فرانكلين بورتون والطلاب كيسل هول، جيمس هيلير وألبرت بريبس، وقامت شركة سيمنز بإنتاج أول نسخة تجارية من المجهر الإلكتروني النافذ في عام 1939.