ما هو النانومتر ؟
النانومتر هي وحدة لقياس الأطوال، تستعمل لقياس الأطوال القصيرة جدا ً ومقدارها -910 من المتر. أي 1 مليمتر يحتوي مليون نانو ،لها استخدامات كثيرة في الفيزياء والكيمياء .
لكن في نهاية المطاف، وأصبح خط عرض المطلوب أضيق مما كان ممكنا باستخدام مصابيح الزئبق، وبالقرب من منتصف العقد الماضي، وصناعة أشباه الموصلات تحركت صوب steppers أن يعمل الكريبتون، فلوريد (ينتج KrF) ليزر تنتج 248 نانومتر ضوء. ويجري حاليا مثل هذه النظم التي تستخدم لإنتاج خطوط في نطاق نانومتر 110. يجري حلها خطوط منخفضة تصل إلى 32 نانومتر بواسطة steppers قادرة على إنتاج واستخدام الأرجون، فلوريد (آسيان) ليزر التي ينبعث منها ضوء مع طول موجة من 193 نانومتر. على الرغم من الفلورايد (F2) الليزر متوفرة التي تنتج 157 نانومتر ضوء، فهي ليست عملية بسبب قوتها منخفضة ولأنها تتحلل بسرعة المواد التي استخدمت لصنع العدسات في السائر.