Oxygen Plasma Cleaning.JPG
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Oxygen Plasma Cleaning, Oxygen glow
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Oxygen Plasma Cleaning, The surface of a MEMS device is cleaned with bright, blue Oxygen Plasma in a Plasma Etcher to rid it of carbon contaminants.  (100mTorr, 50W RF), Fig. 1. The surface of a MEMS device is cleaned with bright, blue oxygen plasma in a plasma etcher to rid it of carbon contaminants. (100mTorr, 50W RF)
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酸素プラズマ洗浄、酸素グロー
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ja
酸素プラズマ洗浄 MEMSデバイスの表面は、プラズマエッチャーで明るい青色の酸素プラズマで洗浄され、炭素汚染物質が除去される(100mTorr、50W、RF)。MEMS装置の表面は、プラズマエキゾースト中の明るい青色の酸素血で洗浄され、炭素汚染物質を除去します。(100mTorr、50W RF)
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oxygen oxygenize plasma physics plasma display panel glow contaminant