Title: 반도체 공정, Chemical delivery system에 적용 가능한 인스트루먼트 제품 (KR) Description: Parker의 PFA & PTFE 제품은 반도체 제조(Fab) 장비 연결을 포함하여 초 고순도 (UHP) 및 부식성 화학물질 취급 시스템에 사용 하도록 제작되었습니다. 초고순도(UHP) PFA 또는 PTFE로 제작되어 표면미립자, 총 유기탄소(TOC) 및 음이온 발생을 최소화 하여 청결공정이 중요한 작업에서 뛰어난 성능과 신뢰성 있는 결과를 보장합니다. Tags: PFA, PTFE, TEFLON, UHP, 다이아프램, Category: Science
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