Title: 반도체 제조 혁신: 알루미늄-CNT 복합 정전척 개발 (정전척, 반도체 제조, 디스플레이 제조) Description: 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 기존 정전척은 내구성과 성능 저하 문제로 생산성에 영향을 미칩니다. 국립부경대학교 권한상 교수 연구팀은 알루미늄-탄소나노튜브(CNT) 복합 분말을 활용하여 새로운 정전척을 개발했습니다. 알루미늄과 CNT 분말을 혼합한 후, 이를 다층 빌렛으로 압출하고, 대기 플라즈마 용사법으로 유전층을 코팅했습니다. CNT의 우수한 특성 Tags: 기술이전, 기술사업화, 기술창업, 기술전시회, 기술박람 Category: Science
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