Title: 반도체 제조에 친환경 오존 사용 / YTN Description: 앵커 그동안 반도체 제조 공정에는 표면처리나 세정을 위해 유해 화학물질이 사용되고 있는데 환경오염 우려도 함께 제기돼 왔습니다. 그래서 액체 화학물질 대신 친환경적인 오존을 사용하는 방법이 새롭게 주목받고 있는 데요. 전량 수입에 의존하던 오존생성장치를 국내 연구진에 개발했습니다. 이정우 기자입니다. 기자 반도체나 디스플레이 등 전자부품산업의 Tags: YTN, 뉴스, 과학 Category: News
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