यह एक भौतिक वाष्प एकत्रीकरण ( डिपोजीशन ) तकनीक है जिसमें ऊर्जायुक्त आयनों का उपयोग परमाणुओं या अणुओं को वांछित ' लक्ष्य ' सामग्री से अलग करने और उन्हें एक सब्सट्रेट पर एकत्रित करने के लिए किया जाता है।