अभिकर्मक गैस पहले आयनीकरण होती है और अभिकर्मक गैस द्वारा उत्पादित आयन बाद में सब्सट्रेट के साथ प्रतिक्रिया करते हैं, सब्सट्रेट आयन का उत्पादन करते हैं और उस तकनीक को रासायनिक आयनीकरण तकनीक कहा जाता है।